JP2008226011A - 図形データの距離測定方法及び距離測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表示装置に表示される図形データのエッジ間の距離の測定を容易に行い得る図形データの距離測定方法を提供する。
【解決手段】表示装置に表示される図形データのエッジＥ１，Ｅ２上にルーラＲの一対の端点ｔ１，ｔ２を位置させ、該端点間の距離を算出することにより図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する図形データの距離測定方法であって、表示装置上の一つの座標を入力してルーラＲを移動させ、該ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２間の距離を測定する。
【選択図】図１６

Description

この発明は、表示装置上に表示される図形データのエッジ間の距離を測定する距離測定方法及び距離測定装置に関するものである。
近年、半導体集積回路の製造において、露光工程後の形状をシミュレーションする光強度シミュレーションで作成したウェハイメージ等をビュアー等の表示装置に図形データとして表示し、そのウェハイメージを目視により検査する図形検査が行われている。そして、このような図形検査の効率化が必要となっている。

光強度シミュレーションで作成したウェハイメージあるいはその他の図形データを表示装置に表示して、図形検査を行う場合には、検査用ツールの一機能であるルーラ（ｒｕｌｅｒ）を使用して図形データの距離の測定が行われる。

例えば、図形データの間隔あるいは幅を測定する場合には、表示画面上の当該図形データの測定位置で、ルーラの始点と終点とをマウスでクリックして指定すると、その始点と終点間の距離が表示される。そして、このような始点と終点の指定を繰り返すことにより、種々の図形データの間隔あるいは幅の測定が行われる。

Ｘ軸方向及びＹ軸方向の直線のみで構成される矩形パターンの間隔あるいは幅を測定する場合には、上記のようなルーラの始点と終点を矩形パターンに直交する方向に指定することにより、図形データの間隔あるいは幅が容易に測定可能である。また、図形データのエッジ上に始点を指定すれば、その始点を含むＸ軸方向あるいはＹ軸方向の測定線と交差する他のエッジとの距離を測定可能となっている。

そして、測定された距離が仕様を満足しない場合には、シミュレーション条件を変更してウェハイメージが生成され、同様な距離測定作業が行われる。
特許文献１には、カーソルデバイスによりディジタイザー上の２点を指示すると、この２点を両端とする直線をディジタイザー上に表示する機能を備えた入力装置が開示されている。
特開平３−１５９３１号公報

光強度シミュレーションで作成したウェハイメージは、エッジが曲線で表示される部分が多く、その曲線部分は多数の斜め辺を繋いで曲線に近似した図形データとして表示される。このような図形データでは、エッジ間の最大距離あるいは最小距離を測定するポイントを特定することが難しく、その最大距離あるいは最小距離となるポイントはＸ軸方向あるいはＹ軸方向の測定線上に位置するとは限らない。

このため、最大距離あるいは最小距離を測定するためには、複数の測定ポイントでルーラの始点及び終点を指定して距離を測定する必要がある。また、測定された距離が真に最大値あるいは最小値であるか判定するためには、多数の測定ポイントで距離を測定する必要がある。従って、最大距離あるいは最小距離を測定するためには、ルーラの始点及び終点の指定を多数回繰り返す必要があり、測定作業が煩雑となる。

この発明の目的は、表示装置に表示される図形データのエッジ間の距離の測定を容易に行い得る図形データの距離測定方法及び図形データの距離測定装置を提供することにある。

上記目的は、表示装置に表示される図形データのエッジ上にルーラの一対の端点を位置させ、該端点間の距離を算出することにより前記図形データのエッジ間の距離を測定する図形データの距離測定方法で、前記表示装置上の一つの座標を入力して前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定する図形データの距離測定方法により達成される。

また、上記目的は、図形データを格納する外部記憶装置と、前記図形データを表示する表示装置と、前記表示装置上で任意の座標を選択する入力装置と、前記図形データのエッジ間に位置させたルーラの一対の端点間の距離を測定する制御部とを備えた図形データの距離測定装置で、前記表示装置上で選択された一つの座標に基づいて前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定する測定制御部を備えた図形データの距離測定装置により達成される。

本発明によれば、表示装置に表示される図形データのエッジ間の距離の測定を容易に行い得る図形データの距離測定方法及び図形データの距離測定装置を提供することができる。

以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。図１は、距離測定装置の概要を示す。入力装置１は、マウス、キーボード等であり、その操作信号は入力制御部２を介して主制御部３に出力される。

外部記憶装置４には、あらかじめレイアウトデータが格納されている。このレイアウトデータは、光強度シミュレーションを行った結果の図形データであり、半導体装置を製造するためのレイアウトデータと所定のパラメータに基づいて光強度シミュレーションを行った結果得られる図形データである。

メモリ５には図形データの距離を測定するために必要とするデータがあらかじめ格納されている。そのデータは、移動方法を設定するためのデータと、測定機能を設定するためのデータと、基準値を設定するためのデータと、許容範囲を設定するためのデータ等である。

測定制御部６は、前記主制御部３の制御に基づいて動作し、外部記憶装置４に格納されているレイアウトデータと、メモリ５に格納されているデータとに基づいて図形データの距離の測定処理を行う。

前記主制御部３は、前記入力制御部２の出力信号に基づいて前記測定制御部６を制御し、測定制御部６による処理動作を出力制御部７に出力する。出力制御部７は、入力された信号に基づいて測定制御部６の処理動作を表示装置８に表示する。

次に、上記のような図形データの距離測定装置の主制御部３及び測定制御部６による図形データの距離測定処理を説明する。図２に示すように、主制御部３は処理動作の開始に基づいてルーラの移動方法の設定を行う（ステップ１）。ステップ１の詳細を図３に従って説明すると、まず表示装置８にプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ１-ａ）、そのメニューの中からルーラの端点の移動方法を選択可能となる（ステップ１-ｂ）。その移動方法は、例えば図１６（ａ）に示すように、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間を結ぶルーラＲの端点ｔ１，ｔ２のいずれか一方の端点をエッジＥ２に沿って移動させるか、あるいは図１６（ｂ）に示すように、ルーラＲを平行移動させて端点ｔ１，ｔ２を各エッジＥ１，Ｅ２に沿って移動させるかのいずれかである。

そして、ステップ１-ｂによる選択により、端点移動モード（ステップ１-ｃ）あるいは平行移動モード（ステップ１-ｄ）のいずれかが設定される。
ステップ１で移動モードの設定を行った後、ステップ２では設定された移動モードを判定し、端点移動モードが設定されていればステップ３に移行し、平行移動モードが設定されていれば、ステップ４に移行する。

ステップ３では端点の設定が行われる。その詳細を図４に従って説明すると、まずプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ３-ａ）、そのメニューで例えば図１６（ａ）に示すルーラＲの始点である端点ｔ１と、ルーラＲの終点である端点ｔ２とのいずれかを選択可能となる（ステップ３-ｂ）。そして、始点である端点ｔ１を選択すると、端点ｔ１を移動可能とするモードが設定され（ステップ３-ｃ）、終点である端点ｔ２を選択すると、端点ｔ２を移動可能とするモードが設定される（ステップ３-ｄ）。

ステップ４では移動方向の設定が行われる。その詳細を図５に従って説明すると、まずプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ４-ａ）、そのメニューでルーラＲの方向の選択が可能となる（ステップ４-ｂ）。

ルーラＲの方向は、図１６（ｃ）に示すように、ｘ軸に平行となる方向と、同図（ｄ）に示すように、ｙ軸に平行となる方向と、同図（ｂ）に示すように、ｘ軸あるいはｙ軸に対し左上となる斜め４５度方向と、ｘ軸あるいはｙ軸に対し右上となる斜め４５度方向と、任意方向のいずれかから選択される。

そして、ステップ４-ｃ〜４-ｆで選択された方向が設定され、次いでステップ４-ｈでルーラの基点の座標を指定すると、指定された座標と選択された方向とに基づいてルーラＲが更新される（ステップ４-ｉ）。ここで、ルーラの基点の座標はルーラの始点あるいは終点のいずれかとなるエッジ上の点である。また、ステップ４-ｇが選択された場合には、ステップ４-ｈ，４-ｉはパスする。

ステップ３，４に次いで、移動方法の変更があるか否かが判別され（ステップ５）、変更がある場合にはステップ１に復帰し、変更がない場合にはステップ６に移行する。ステップ６では、端点の設定あるいは移動方向の設定に変更があるか否かを判定し、変更がある場合にはステップ２に移行し、変更がない場合にはステップ７に移行する。ステップ７では、測定機能の変更を行うか否かを選択し、変更を行う場合にはステップ８に移行し、行わない場合にはステップ９に移行する。

ステップ８では測定機能の設定が行われる。その詳細を図６に従って説明する。まずプルダウンメニューの表示が行われ（ステップ８-ａ）、そのメニューで測定機能の選択が可能となる（ステップ８-ｂ）。測定機能の内訳は、差分表示の設定（ステップ８-ｃ）と、マーキングの設定（ステップ８-ｄ）と、機能解除（ステップ８-ｅ）である。

ステップ８-ｃの差分表示の設定の詳細を図７に従って説明する。差分表示の設定は、図形データの距離を測定する場合に、当該距離と基準値との差分を表示する機能であり、ステップ８-ｃ-ａでは差分表示の選択を行う。差分表示の選択は、差分を演算するための基準値を選択する処理であり、基準値をあらかじめ登録するか、あるいは任意の測定値を基準値として登録するかを選択する。

そして、基準値をあらかじめ登録する場合にはステップ８-ｃ-ｂに移行して入力装置１で基準値を入力し、その基準値を登録する（ステップ８-ｃ-ｃ）。
また、測定値を基準値として登録する場合には、ステップ８-ｃ-ｄに移行して現在の距離、すなわちルーラの両端子間の距離を基準値として登録する。

ステップ８-ｄのマーキングの設定の詳細を図８に従って説明する。マーキングの設定は、図形データの距離を測定する場合に、当該測定値が最大値の場合、最小値の場合あるいはあらかじめ設定された許容範囲内の場合に表示装置８上にマーキングを表示するための設定である。そして、ステップ８-ｄ-ａでは最大値でマーキングを表示するか、最小値でマーキングを表示するか、あるいはあらかじめ設定された許容範囲を外れるときマーキングを表示するかを選択する。

ステップ８-ｄ-ａにおいて最大値でマーキングを表示する設定が選択されると、ステップ８-ｄ-ｂに移行して、測定値が最大値となったときその測定値を表示する機能を設定する。また、ステップ８-ｄ-ａにおいて最小値でマーキングを表示する設定が選択されると、ステップ８-ｄ-ｃに移行して、測定値が最小値となったときその測定値を表示する機能を設定する。

また、ステップ８-ｄ-ａにおいて許容範囲内でマーキングを表示する設定が選択されると、ステップ８-ｄ-ｄに移行して、許容範囲内でマーキングを表示する機能を設定する。そして、入力装置１で基準値を入力すると（ステップ８-ｄ-ｅ）、その基準値が登録され（ステップ８-ｄ-ｆ）、入力装置１で許容範囲を入力すると（ステップ８-ｄ-ｇ）、その許容範囲が登録される（ステップ８-ｄ-ｈ）。

ステップ８-ｂで機能解除が選択されると、ステップ８-ｅに移行し、ステップ８-ｃ，ステップ８-ｄで設定された機能を解除する。以上の処理によりステップ８が終了すると、ステップ５に復帰する。

ステップ７で測定機能の変更が選択されない場合には、ステップ９に移行してルーラの移動が指定されたか否かを判定し、ルーラの移動が指定された場合にはステップ１０に移行してルーラの移動と距離の測定及びその表示を行う。

ステップ１０の詳細を図９〜図１５に従って説明する。図９に示すように、まずステップ８で設定された測定機能を参照する（ステップ１０-ａ）。そして、設定されている測定機能に対応して、距離の表示の設定（ステップ１０-ｂ）と、差分表示の設定（ステップ１０-ｃ）と、最大値表示の設定（ステップ１０-ｄ）と、最小値表示の設定（ステップ１０-ｅ）と、許容範囲表示の設定（ステップ１０-ｆ）の少なくともいずれかを行う。

ステップ１０-ｂの距離の表示の設定の詳細を図１０に従って説明する。まず表示装置８上でカーソルを所望位置に移動させた状態でマウスボタンを押し下げると（ステップ１０-ｂ-ａ）、当該カーソル位置の座標が取り込まれ（ステップ１０-ｂ-ｂ）、ステップ１０-ｂ-ｃに移行する。

ステップ１０-ｂ-ｃでは測定線の移動が行われ、その詳細を図１１に示す。ステップ１０-ｂ-ｃ-ａでは、まず移動方法の参照を行う。すなわち、ステップ１-ｃで端点移動モードが設定され、ステップ３-ｃで始点を移動可能とする設定がなされている場合には、ステップ１０-ｂ-ｃ-ｂに移行して、ステップ１０-ｂ-ｂで取り込まれた座標と終点とを結ぶ線を測定線として設定する。

また、ステップ１-ｃで端点移動モードが設定され、ステップ３-ｄで終点を移動可能とする設定がなされている場合には、ステップ１０-ｂ-ｃ-ｃに移行して、ステップ１０-ｂ-ｂで取り込まれた座標と始点とを結ぶ線を測定線として設定する。

また、ステップ１-ｄで平行移動モードが設定されていると、ステップ４で設定された移動方向に従って、ステップ１０-ｂ-ｂで取り込まれた座標上に平行移動する（ステップ１０-ｂ-ｃ-ｄ）。

ステップ１０-ｂ-ｃで測定線の移動が行われた後、ステップ１０-ｂ-ｄでは測定線と図形データのエッジとが交差するか否かを判別する。そして、交差する場合には測定線とエッジとの交点座標を算出し（ステップ１０-ｂ-ｅ）、始点あるいは終点との距離を算出する（ステップ１０-ｂ-ｆ）。また、ステップ１０-ｂ-ｄで測定線と図形エッジが交差しない場合には、ステップ５に復帰する。

次いで、測定線の移動にともなってルーラの表示を更新し（ステップ１０-ｂ-ｇ）、ルーラの端点間の距離を表示し（ステップ１０-ｂ-ｈ）、ステップ１０-ｂ-ａに復帰して次のマウスボタンの押し下げを待つ状態となる。なお、ステップ１０-ｂ-ａでマウスボタンの押し下げを終了すると、ステップ５に復帰する。

ステップ１０-ｃの差分表示の設定の詳細を図１２に従って説明する。ステップ１０-ｃでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、差分の計算を行う（ステップ１０-ｃ-ａ）。

この差分の計算は、ステップ８-ｃで設定された基準値に基づいて行われる。そして、測定線の移動にともなってルーラの表示を更新し（ステップ１０-ｃ-ｂ）、ルーラの端点間の距離と差分を表示し（ステップ１０-ｃ-ｃ）、処理Ａに復帰して次のマウスボタンの押し下げを待つ状態となる。

ステップ１０-ｄの最大値表示の設定の詳細を図１３に従って説明する。ステップ１０-ｄでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、その測定値と最大値との比較を行う（ステップ１０-ｄ-ａ）。つまり、マウスボタンの押し下げに基づいて算出される測定値とそれ以前の測定値の中の最大値とを比較する。

そして、新たな測定値がそれまでの最大値より小さい場合には処理Ａを繰り返し、新たな測定値がそれまでの最大値より大きい場合には、ステップ１０-ｄ-ｂに移行して、最大値情報を更新し、最大値となるルーラを表示するマーキングの更新を行う（ステップ１０-ｄ-ｃ）。

ステップ１０-ｅの最小値表示の設定の詳細を図１４に従って説明する。ステップ１０-ｅでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、その測定値と最小値との比較を行う（ステップ１０-ｅ-ａ）。つまり、マウスボタンの押し下げに基づいて算出される測定値とそれ以前の測定値の中の最小値とを比較する。

そして、新たな測定値がそれまでの最小値より大きい場合には処理Ａを繰り返し、新たな測定値がそれまでの最小値より小さい場合には、ステップ１０-ｅ-ｂに移行して、最小値情報を更新し、最小値となるルーラを表示するマーキングの更新を行う（ステップ１０-ｅ-ｃ）。

ステップ１０-ｆの許容範囲表示の設定の詳細を図１５に従って説明する。ステップ１０-ｆでは、図１０に示すステップ１０-ｂ-ａ〜ステップ１０-ｂ-ｆの処理Ａと同様な処理を行ってルーラの端点間の距離を測定した後、その測定値が許容範囲内であるか否かを判定する。すなわち、ステップ８-ｄで設定された最小値及び最小値と測定値とを比較し、測定値が最小値と最大値との間の許容範囲内であるか否かを判定する。そして、許容範囲内であればステップ１０-ｆ-ｄに移行してマーキング中であるか否かを判定し、マーキング中でない場合には処理Ａを繰り返す。

この状態から、測定値が許容範囲外となると、ステップ１０-ｆ-ｂに移行してマーキング中であるか否かを判定し、マーキング中ではない場合にはマーキングの最初の線分（図２０のＬ１）を設定し（ステップ１０-ｆ-ｃ）、処理Ａに復帰する。マーキング中である場合には、処理Ａに復帰する。

次いで、再び許容範囲内となると、ステップ１０-ｆ-ｄに移行し、マーキング中である場合にはマーキングの最後の線分（図２０のＬ２）を設定し（ステップ１０-ｆ-ｅ）、最初の線分と最後の線分との間、すなわち許容範囲外になる区間を塗りつぶし（ステップ１０-ｆ-ｆ）、処理Ａに復帰する。

ステップ９でルーラの移動の指定が終了すると、ステップ１１に移行する。ステップ１１においてすべての測定処理が終了していないときにはステップ５に復帰し、終了している場合にはこの距離測定装置の動作を終了する。

次に、上記のように構成された図形データの距離測定装置による測定動作を説明する。図１６（ａ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２のうち終点であるｔ２をエッジＥ２に沿って移動させ、端点ｔ２の移動にともなって端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。

この場合には、ステップ１で端点移動を設定し（ステップ１-ｃ）、ステップ３で終点の移動を設定し（ステップ３-ｄ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲが端点ｔ１を中心として回動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１６（ｂ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲを平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を任意方向で設定し（ステップ４-ｇ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲが平行移動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１６（ｃ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲをＸ軸方向に維持した状態で平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４でＸ軸方向を設定し（ステップ４-ｃ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲがＸ軸方向に維持されながら平行移動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１６（ｄ）は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲをＹ軸方向に維持した状態で平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させる測定方法を示す。

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４でＹ軸方向を設定し（ステップ４-ｄ）、ステップ１０で距離の表示を設定する（ステップ１０-ｂ）。

すると、マウスボタンをクリックする毎にルーラＲがＹ軸方向に維持されながら平行移動する状態となり、各状態で端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが表示される。
図１７は、ステップ１０において、ルーラＲを移動させる場合の処理を示す。同図（ａ）は、ステップ１で端点の移動が設定された場合の処理を示し、端点ｔ１を固定した状態で端点ｔ２をエッジＥ２上で移動させる場合を示す。

ルーラＲは測定線Ｌと図形データＥ１，Ｅ２との交点間の線分として表示され、各交点が前記端点ｔ１，ｔ２となる。そして、マウスボタンがクリックされた座標と固定された端点ｔ１とを結ぶ測定線Ｌが算出され、その測定線ＬとエッジＥ２との交点を端点ｔ２とする。

図１７（ｂ）は、ステップ１で平行移動が設定された場合の処理を示す。測定線Ｌは例えばＸ軸あるいはＹ軸に対し４５度方向の斜辺として設定され、任意の位置でマウスボタンクリックされると、当該クリック位置の座標を含む平行な測定線Ｌａが算出され、その測定線ＬａとエッジＥ１，Ｅ２との交点が新たなルーラＲの端点ｔ１，ｔ２となる。なお、測定線Ｌ，ＬａはルーラＲを算出するために設定されるものであり、表示装置８上には表示されない。

図１８は、図形データのエッジＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、ルーラＲを平行移動させて端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄを表示させるとともに、差分を表示する測定方法を示す。

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を任意方向で設定し（ステップ４-ｇ）、ステップ８で差分表示の設定を行い（ステップ８-ｃ）、ステップ１０で差分表示を設定する（ステップ１０-ｃ）。

そして、図１８（ａ）に示すように、マウスボタンのクリックにより基準となるルーラＲ１を設定すると、そのルーラＲ１の端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄ１が表示される。次いで、マウスボタンのクリックにより、同図（ｂ）に示すようにルーラＲ１を平行移動させて新たなルーラＲ２を設定すると、ルーラＲ２の端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄ２と、距離Ｄ２の差分Ｄ３を表示する。この差分Ｄ３は、正の値あるいは負の値として表示する。

図１９は、ルーラを平行移動させて図形データＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、距離が最小値となるルーラあるいは最大値となるルーラをマーキングして表示する方法を示す。

この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を設定し、ステップ８でマーキングの設定を行い（ステップ８-ｄ）、ステップ１０で最大値表示あるいは最小値表示を設定する（ステップ１０-ｄ、ステップ１０-ｅ）。

図１９（ａ）はステップ１０で最小値表示を設定した場合を示す。ルーラＲを平行移動させると、各ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２間の距離が測定値として順次算出される。そして、測定値が最小と成るルーラＲminはマーキングされて表示し続けられるとともにその距離Ｄminが表示される。

図１９（ｂ）はステップ１０で最大値表示を設定した場合を示す。ルーラＲを平行移動させると、各ルーラＲの端点ｔ１，ｔ２間の距離が測定値として順次算出される。そして、測定値が最大と成るルーラＲmaxはマーキングされて表示し続けられるとともにその距離Ｄmaxが表示される。

図２０は、ルーラを平行移動させて図形データＥ１，Ｅ２間の距離を測定する場合に、当該距離が許容範囲を超える場合にマーキングして表示する方法を示す。
この場合には、ステップ１で平行移動を設定し（ステップ１-ｄ）、ステップ４で例えばルーラＲの方向を設定し、ステップ８でマーキングの設定を行い（ステップ８-ｄ）、ステップ１０で許容範囲表示を設定する（ステップ１０-ｆ）。

そして、図２０（ａ）に示すようにルーラＲを設定し、このルーラＲを平行移動させると、端点ｔ１，ｔ２間の距離Ｄが許容範囲外となる部分がマーキングの線分Ｌ１，Ｌ２で囲まれ、その線分Ｌ１，Ｌ２間が塗りつぶされて表示される。

上記のように構成された図形データの距離測定装置では、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）ルーラの始点及び終点である端点ｔ１，ｔ２の一方を移動させる端点移動を行なってｔ１，ｔ２間の距離を測定し、あるいはルーラを平行移動させてｔ１，ｔ２間の距離を測定することができる。従って、端点ｔ１，ｔ２間の最大値あるいは最小値を測定する場合に、ルーラの始点及び終点を繰り返し設定する必要はないので、測定作業を容易に行うことができる。
（２）ルーラの始点あるいは終点のいずれか一方を固定し、他方をエッジに沿って移動させて始点と終点との間の距離を測定し、かつその測定値を表示することができる。従って、ルーラの始点と終点との間の距離の最小値及び最大値を容易に測定することができる。
（３）ルーラを平行移動させて、その始点と終点との間の距離を測定し、かつその測定値を表示することができる。従って、ルーラの始点と終点との間の距離の最小値及び最大値を容易に測定することができる。
（４）ルーラを平行移動させるとき、ルーラの角度を選択することができる。従って、図形データのエッジ間距離の最大値あるいは最小値を容易に測定することができる。
（５）ルーラの始点と終点との間の距離を表示するとき、あらかじめ設定した基準値に対する差分を表示することもできる。
（６）マーキングの設定により、ルーラの始点と終点との間の距離が最大となる位置あるいは最小となる位置でルーラを固定して表示することができる。従って、ルーラの始点と終点との間の距離が最大となる位置あるいは最小となる位置を容易に検出し、かつその距離を測定することができる。
（７）許容範囲表示の設定により、ルーラを平行移動させるとルーラの始点と終点との間の距離が許容範囲外となる部分を表示することができる。従って、図形データのエッジ間の距離が許容範囲外となる部分を容易に識別することができる。

上記実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・端点を移動させて距離を測定しながら、差分を表示するようにしてもよい。
・端点を移動させて距離を測定しながら、測定値が最大あるいは最小となるルーラをマーキングしてもよい。

距離測定装置を示すブロック図である。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 距離測定装置の動作を示すフローチャートである。 （ａ）〜（ｄ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。 （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。 （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。 （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。 （ａ）（ｂ）は距離測定装置の表示を示す説明図である。

符号の説明

１ 入力装置
３ 主制御部
６ 測定制御部
８ 表示装置
Ｅ１，Ｅ２ エッジ
Ｒ ルーラ
ｔ１，ｔ２ 端点

Claims (9)

1. 表示装置に表示される図形データのエッジ上にルーラの一対の端点を位置させ、該端点間の距離を算出することにより前記図形データのエッジ間の距離を測定する図形データの距離測定方法であって、
   前記表示装置上の一つの座標を入力して前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定することを特徴とする図形データの距離測定方法。
2. 前記端点の一方を固定し、入力した座標と前記一方の端点を結ぶ測定線を算出し、該測定線と前記図形データのエッジとの交点を他方の端点とすることを特徴とする請求項１記載の図形データの距離測定方法。
3. 前記座標の入力に基づいて、該座標を含み、かつあらかじめ設定した基準ルーラと平行となる測定線を算出し、該測定線と前記図形データのエッジとの交点を前記ルーラの端点とすることを特徴とする請求項１記載の図形データの距離測定方法。
4. 前記ルーラの端点間の距離を測定値として表示装置に表示することを特徴とする請求項２又は３記載の図形データの距離測定方法。
5. 前記基準ルーラの角度を選択可能としたことを特徴とする請求項３記載の図形データの距離測定方法。
6. 前記測定値とあらかじめ設定した基準値との差分を表示装置に表示することを特徴とする請求項４又は５記載の図形データの距離測定方法。
7. 前記測定値が最大あるいは最小となるルーラと該測定値とをマーキングすることを特徴とする請求項４又は５記載の図形データの距離測定方法。
8. 前記測定値があらかじめ設定した許容範囲を超えるとき、当該領域をマーキングすることを特徴とする請求項４又は５記載の図形データの距離測定方法。
9. 図形データを格納する外部記憶装置と、
   前記図形データを表示する表示装置と、
   前記表示装置上で任意の座標を選択する入力装置と、
   前記図形データのエッジ間に位置させたルーラの一対の端点間の距離を測定する制御部と
   を備えた図形データの距離測定装置であって、
   前記表示装置上で選択された一つの座標に基づいて前記ルーラを移動させ、該ルーラの端点間の距離を測定する測定制御部を備えたことを特徴とする図形データの距離測定装置。

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