KR100394786B1 - 에어필터용 부품, 그 패키지 및 그 패키징 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 패키징된 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 억제하는 것을 목적으로 하는 것으로, 이 에어필터용 부품은 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재(濾材)를 가지는 것이며, 사용 전의 필터 여재 1g당 디부틸프탈레이트 함유량은 1.0㎍ 이하이다.
Description
본 발명은 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재를 가지는 에어필터용 부품, 그 패키지 및 그 패키징 방법에 관한 것이다.
반도체, 액정 표시 장치 등의 전자 부품 제조가 이루어지는 클린룸 및 반도체 제조 장치에는, 보다 미세한 부유 미립자를 포획할 수 있도록 높은 포집(捕集)효율을 가지는 에어필터 유닛, 예를 들면 HEPA(high efficiency particulate air) 필터, ULPA(ultra low penetration air) 필터가 사용되고 있다. 이러한 종류의 에어필터 유닛으로 고포집형의 필터 여재와, 이 필터 여재가 수납되는 프레임을 구비한 것이 있다. 필터 여재는 예를 들면 폴리테트라플루오로에틸렌(이하, PTFE라고 함)으로 형성된 다공막(多孔膜)과, PTFE 다공막을 양측으로부터 협지하도록 배치된 부직포가 라미네이트됨으로써 형성되어 있다. 또, 필터 여재는 소정의 형상으로 가공되어 프레임의 내측에 수납되어 있다.
이와 같은 에어필터 유닛을 클린룸의 통기구에 설치하여 운전을 개시하면, 클린룸 외측의 공기가 에어필터 유닛을 통과하여 통기구로부터 클린룸 내로 스며든다. 이 때, 공기 중의 부유 미립자는 필터 여재의 섬유에 충돌함으로써 필터 여재에 포획된다.
이 종류의 에어필터 유닛은 일반적으로 제조 후에 폴리에틸렌(이하, PE라고 함) 등의 수지로 이루어진 봉투에 포장되고, 다시 골판지 등에 패키징되어 출하된다. 또, 필터 여재나 필터 여재를 소정 형상으로 가공한 것(이하, 에어필터 플리트 팩이라고 함)도, 각각 단독으로 PE 봉투, 골판지 등으로 패키징된 상태로 출하되는 경우가 있다.
그런데, 클린룸 내에는 부유 미립자만이 아니라 클린룸 벽의 도료 등으로부터 발생한 가스 형태의 유기물 성분도 미량 부유하고 있으며, 이러한 물질이 반도체 소자, 웨이퍼 등에 부착되면 전기 특성이 손상되는 등 제품의 품질 저하를 초래한다. 특히, 디옥틸프탈레이트, 디부틸테레프탈레이트(이하, DOP, DBP라고 함),탄소수 15 이상의 탄화수소 등의 고비점(高沸點) 성분은 잘 휘발되지 않기 때문에, 일단 제품에 부착되면 제거하기가 곤란하게 된다. 이로 인해, 클린룸에서는 이러한 유기물 성분을 제거하기 위해, 케미칼 필터(chemical filter)를 설치하는 등 그 부유량이 소정의 기준 이하로 억제되어 있다.
그러나, 본원 출원인에 의한 최근의 연구에서, 이러한 유기 물질은 클린룸 내에서 발생할 뿐 아니라, 클린룸에 설치한 에어필터 유닛 자체로부터도 발생하고 있다는 것을 알게 되었다. 또한, 이러한 유기 물질은 외기, 그리고 특히 패키징재인 골판지로부터 발생되어 필터 여재에 흡착된 것이며, 또 유기 물질은 PE 봉투로부터도 발생할 수 있다는 것도 명확해졌다.
상기한 종래의 패키징 형태에서는 에어필터 유닛과 골판지 사이에 PE 봉투 등의 필름재가 배치되어 있지만, 골판지로부터 발생한 유기 물질은 PE 봉투를 투과하기 때문에, 사용 전에 이미 유기 물질이 필터 여재에 부착된 상태가 된다. 이것과 동일한 문제는 필터 여재나 에어필터 플리트 팩이 각각 단독으로 패키징된 경우에도 발생한다. 그리고, 특히 PTFE 다공막을 사용한 고포집형의 필터 여재에서는 종래의 유리 필터 여재에 비해 이와 같은 유기 물질을 흡착하기 쉽다.
본 발명의 목적은 패키징된 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 억제함에 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예가 채용된 에어필터 유닛 패키지를 도시한 사시도.
도 2는 상기 에어필터 유닛 패키지의 에어필터 유닛을 도시한 사시도.
도 3은 실험예 1의 방법을 도시한 설명도.
도 4는 실험예 2의 실험 중의 샘플을 도시한 종단면도.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1：에어필터 유닛 패키지, 3：에어필터 유닛, 5：패키징재, 9：프레임, 11：필터 여재, 13：필름재, 15：케이스재
청구항 1에 기재된 에어필터용 부품은 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터여재를 가지는 것이며, 사용 전의 필터 여재 1g당 DBP 함유량이 1.0㎍ 이하이다.
본 발명의 "에어필터용 부품"에는 예를 들면 필터 여재, 에어필터 플리트 팩 및 에어필터 유닛(모두 후술함)이 포함된다. 그리고, 이하의 설명에서는 에어필터용 부품으로 주로 에어필터 유닛을 예로 들어 설명한다.
클린룸 내에는 전술한 바와 같이 클린룸 벽의 도료 등으로부터 발생한 DBP, DOP, 탄소수 15 이상의 탄화수소 등의 가스 형태의 유기물 성분도 미량 부유하고 있고, 이와 같은 유기 물질을 제거하기 위해 클린룸에서는 케미칼 필터를 설치하는 등 그 부유량이 소정의 기준 이하로 억제되어 있다.
그러나, 본원 출원인의 연구에 의해 이와 같은 유기 물질은 클린룸 내에서 발생할 뿐 아니라 클린룸 및 반도체 제조 장치 등에 설치된 에어필터 유닛 자체로부터도 발생하고 있다는 것을 알게 되었다. 또한, 에어필터 유닛은 사용이 개시되기 전에 이미 이러한 유기 물질로 오염된 상태인 것이 본원 출원인의 연구에 의해 명확해졌다.
따라서, 이 에어필터용 부품은 사용 전의 필터 여재 1g당 DBP 함유량을 소정량 이하로 하고 사용 전의 에어필터용 부품이 클린룸에 설치된 경우에, 클린룸 내를 오염시키는 것을 억제하도록 하고 있다.
그리고, "사용 전"이란 예를 들면 에어필터용 부품이 패키징되어 있는 경우에 그 패키징을 풀었을 때를 말한다. 또, 사용 전의 필터 여재 1g당 DBP 함유량은 바람직하게는 0.2㎍／g 이하이다.
또, 유기 물질의 함유량이 소정량 이하로 억제된 에어필터용 부품으로 일본국 특개평(特開平) 10(1998)－286415호 공보에 개시된 에어필터 유닛이 이미 제안되어 있다.
이 공보에 개시된 에어필터 유닛에서는 유기 물질의 함유량 측정이 퍼지 앤 트랩(purge and trap) 방식에 의해 이루어진다. 이 방식에서는 에어필터 유닛에 대해 40℃의 공기를 소정의 유량으로 블로잉하고, 이 에어필터 유닛을 투과하는 공기 중에서 검출되는 유기 물질의 양을 측정함으로써 에어필터 유닛에 포함되는 유기 물질의 양이 측정된다.
그러나, 이 방식으로는 비교적 저비점의 유기 물질에 대해서는 효과적으로 측정할 수 있지만, 비점이 270℃를 넘는 고비점의 유기 물질에 대해서는 측정 조건이 엄격하지 않기 때문에 에어필터 유닛으로부터 충분히 유리(遊離)시킬 수 없어 DBP, DOP 등의 고비점 성분의 함유량을 효과적으로 측정할 수 없다.
따라서, 이 에어필터용 부품에서는 퍼지 앤 트랩 방식에 비해 고비점의 유기 물질에서도 충분한 양을 유리시킬 수 있는 헥산 추출법(후술함) 등의 측정 방법에 의해 DBP, DOP 등의 고비점 성분의 함유량 측정을 행하는 것이 바람직하다.
청구항 2에 기재된 에어필터용 부품은 청구항 1의 에어필터용 부품에서, 사용 전의 필터 여재 1g당 DOP 함유량이 1.0㎍ 이하이다.
이 에어필터용 부품은 사용 전에 필터 여재 1g당 DOP 함유량이 소정량 이하로 되어 있다. 이에 따라, 사용 전의 에어필터용 부품이 클린룸에 설치된 경우에 클린룸 내를 오염시키는 것을 억제할 수 있다.
그리고, 사용 전의 필터 여재 1g당 DOP 함유량은 바람직하게는 0.2㎍／g 이하이다.
청구항 3에 기재된 에어필터용 부품은 청구항 1 또는 2의 에어필터용 부품에서, 사용 전의 필터 여재 1g당 탄소수 15 이상의 탄화수소 함유량이 50㎍ 이하이다.
이 에어필터용 부품은 사용 전에 필터 여재 1g당 탄소수 15 이상의 탄화수소 함유량이 소정량 이하로 되어 있다. 이에 따라, 사용 전의 에어필터용 부품이 클린룸에 설치된 경우에 클린룸 내를 오염시키는 것을 억제할 수 있다.
또, 사용 전의 필터 여재 1g당 탄소수 15 이상의 탄화수소 함유량은 바람직하게는 20㎍／g 이하이다.
청구항 4에 기재된 에어필터용 부품은 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항의 에어필터용 부품에서, 필터 여재는 PTFE로 이루어지는 여과층, 및 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지고 있다.
유리 필터 여재 등의 종래의 에어필터용 여재는 섬유가 굵고 섬유간의 공극(空隙)도 크다. 이로 인해, 유리 필터 여재는 DBP, DOP 등의 가스 형태의 유기 물질의 흡착이 비교적 작다.
이에 대해, PTFE 다공막을 사용한 고포집형의 필터 여재에서는, 종래의 유리 필터 여재에 비해 섬유가 가늘고 섬유간의 공극도 작다.
그러나, 상기 PTFE 다공막을 사용한 고포집형 필터 여재는 미세한 섬유 직경을 가지고 있기 때문에, DBP, DOP 등의 가스 형태의 유기 물질을 종래의 유리 필터 여재에 비해 흡착하기 쉽다.
따라서, 이 에어필터용 부품에서는 특히 PTFE 다공막을 사용한 에어필터용 부품에서, 사용 전의 필터 여재 1g당 DBP, DOP 등의 유기 물질 함유량이 소정량 이하로 되어 있다. 이로 인해, PTFE 다공막을 사용한 에어필터용 부품이 클린룸에 설치된 경우에도 클린룸 내를 오염시키는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
청구항 5에 기재된 에어필터용 부품은 청구항 1 내지 4 중의 어느 한 항의 에어필터용 부품에서, 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 DOP를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：
［수학식 1］
PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100
(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))
에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이다.
필터 여재의 성능을 나타내는 특성으로 포집 효율과 압력 손실이 있으며, 이러한 2가지 특성의 균형도를 보기 위한 척도로 PF(Performance Factor) 값이 종종 사용된다. 필터 여재는 이 PF 값이 클수록 포집 효율이 높으며 압력 손실이 작은 여재로 간주된다.
그리고, PTFE 다공막을 사용한 고포집형 필터 여재는 전술한 바와 같이 DBP, DOP 등의 유기 물질을 흡착하기 쉽지만, PF 값이 높은 필터 여재는 특히 이와 같은 유기 물질을 흡착하는 경향이 강하다.
따라서, 이 에어필터용 부품은 특히 PF 값이 소정치 이상인 에에필터용 부품에서, 사용 전의 DBP, DOP 등의 유기 물질 함유량이 소정량 이하로 되어 있다. 이로 인해, PF 값이 높은 에어필터용 부품이 클린룸에 설치된 경우에도 클린룸 내를 오염시키는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 에어필터용 부품은 PF 값이 클수록 DBP, DOP 등의 유기 물질을 흡착하기 쉬운 구조로 되어 있다. 그 이유를 설명하면, 에어필터로 사용되는 PTFE 다공막의 섬유 직경은 통상 0.05∼0.2㎛로 가늘고, 또 PF 값이 커질수록 섬유 직경은 가늘어지고, PF 값이 22를 넘는 것이면 섬유 직경은 0.14㎛ 이하, 또한 0.05∼0.1㎛ 정도가 되기 때문이다. 따라서, 에어필터용 부품의 PF 값은 바람직하게는 22를 넘는 것이다.
따라서, 청구항 6에 기재된 에어필터용 부품은 청구항 5의 에어필터용 부품에서, 필터 여재는 PF 값이 22를 넘는 것으로 되어 있다.
청구항 7에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 1 내지 6 중의 어느 한 항에 따른 에어필터용 부품, 및 에어필터용 부품이 외기로부터 차단되도록 배치되는 패키징재를 구비하고 있다.
에어필터 유닛 등의 에어필터용 부품은 전술한 바와 같이 제조 후에는 PE 등의 수지로 이루어진 봉투에 넣어지고, 다시 골판지 등에 패키징되어 출하된다. 에어필터용 부품은 사용시까지 이와 같이 외기로부터 차단됨으로써 공장에서 제조되었을 때의 청정한 상태를 유지할 수 있다고 생각되었다.
그러나, 전술한 바와 같이, 특히 높은 PF 값을 가지는 PTFE 다공막을 사용하여 이루어지는 에어필터용 부품은 사용 전에 이미 DBP, DOP 등의 유기 물질로 오염되어 있는 것이 명확해졌다. 그리고, 본원 출원인의 연구에 의해, 이러한 유기 물질은 외기, 그리고 특히 패키징재인 골판지로부터 발생하고, 또한 PE 봉투를 투과함으로써 에어필터용 부품에 흡착될 수 있음을 알게 되었다. 또, 이러한 유기 물질은 PE 봉투로부터도 발생할 수 있다는 것도 본원 출원인의 연구에 의해 명확해졌다.
따라서, 이 에어필터용 부품 패키지에서, 에어필터용 부품은 패키징재에 의해 외기로부터 차단되도록 패키징되어 있고, 이 패키징된 에어필터 유닛은 예를 들면 패키징한 후 일정 기간이 경과한 후 그 패키징이 풀린 경우에도 DBP, DOP 등의 유기 물질의 함유량이 소정량 이하로 되어 있다.
따라서, 여기에서는 패키징된 상태의 에어필터용 부품에 대한 DBP, DOP 등의 유기 물질의 부착이 억제되어 있다.
청구항 8에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 7의 패키지에서, 패키징재는 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 제1 부재를 가지고 있다.
이 에어필터용 부품 패키지에서, 패키징재에 포함되는 제1 부재는 DOP, DBP 등의 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 폴리에스테르 필름층을 가지고 있다. 이로 인해, 외기 중의 유기 물질은 제1 부재를 투과하여 제1 부재의 내측에 거의 침입하지 않는다. 따라서, 여기에서도 패키징된 상태의 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착이 억제되어 있다.
그리고, 폴리에스테르 필름층은 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트(이하, PET라고 함)로 이루어지는 필름층이다.
청구항 9에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재를 가지는 에어필터용 부품, 및 에어필터용 부품이 외기로부터 차단되도록 배치되는 패키징재를 구비하고 있다. 패키징재는 산소 투과도가 20000ml／(m2·day·Mpa) 미만인 제1 부재를 가지고 있다.
전술한 바와 같이, 에어필터용 부품은 패키징재에 의해 사용시까지 외기로부터 차단됨으로써 공장에서 제조되었을 때의 청정한 상태를 유지할 수 있다고 생각되고 있었지만, 본원 출원인의 연구에 의해, 이러한 유기 물질은 외기, 그리고 특히 패키징재인 골판지로부터 발생되어 PE 봉투를 투과함으로써 흡착된 것이며, 또 이러한 유기 물질은 PE 봉투로부터도 발생할 수 있다는 것도 명확해졌다.
따라서, 이 에어필터용 부품 패키지에서는 에어필터용 부품을 산소 투과도가 소정의 값보다 낮은 제1 부재로 패키징하는 것으로 하고, 이에 따라 외기 중의 가스 형태의 물질이 제1 부재를 투과하는 것이 억제되어 있다. 따라서, 여기에서도 패키징된 상태의 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착이 억제되어 있다.
그리고, 제1 부재는 바람직하게는 산소 투과도가 10000ml／(m2·day·Mpa) 미만이고, 더욱 바람직하게는 산소 투과도가 0∼5000ml／(m2·day·Mpa)의 범위에 있고, 특히 바람직하게는 0∼2700ml／(m2·day·Mpa)의 범위에 있다. 그리고, 산소 투과도는 JIS 규격에 따른 측정 방법(JIS－Z－1707)에 의해 측정되는 값이다.
청구항 10에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 9의 패키지에서, 필터여재는 PTFE로 이루어지는 여과층, 및 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지고 있다.
이 필터 여재는 바람직하게는 양면에 열 융착 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지고 있다.
청구항 11에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 9 또는 10의 패키지에서, 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 DOP를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：
［수학식 1］
PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100
(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))
에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이다.
청구항 12에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 11의 패키지에서, 필터 여재는 PF 값이 22를 넘는 것이다.
청구항 13에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 9 내지 12 중 어느 한 항의 패키지에서, 제1 부재는 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지고 있다.
이 에어필터용 부품 패키지에서, 패키징재에 포함되는 제1 부재는 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 폴리에스테르 필름층을 가지고 있다. 이로 인해, 외기 중의 유기 물질은 제1 부재를 투과하여 제1 부재의 내측에 거의 침입하지 않는다. 따라서, 여기에서도 패키징된 상태의 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착이억제되어 있다.
그리고, 폴리에스테르 필름층은 바람직하게는 PET로 이루어지는 필름층이다.
청구항 14에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 적어도 일부에 필터 여재를 가지는 공기 청정 가능한 에어필터용 부품, 및 에어필터용 부품이 외기로부터 차단되도록 배치되는 패키징재를 구비하고 있다. 패키징재는 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 제1 부재를 가지고 있다. 또, 폴리에스테르 필름층은 1㎛ 이상의 두께를 가지고 있다.
전술한 바와 같이, 에어필터용 부품, 특히 높은 PF 값을 가지는 PTFE 다공막을 사용하고 있는 에어필터용 부품은 패키징재에 의해 사용시까지 외기로부터 차단됨으로써 공장에서 제조되었을 때의 청정한 상태를 유지할 수 있다고 생각되고 있었지만, 본원 출원인의 연구에 의해, 이러한 유기 물질은 외기, 그리고 특히 패키징재인 골판지로부터 발생하여 PE 봉투를 투과함으로써 흡착된 것이며, 또 이러한 유기 물질은 PE 봉투로부터도 발생할 수 있다는 것도 명확해졌다.
따라서, 이 에어필터용 부품 패키지에서는 제1 부재로 1㎛ 이상의 두께를 가지는 폴리에스테르 필름층을 가지는 것을 사용함으로써, 산소 투과도를 소정의 값보다 낮게 억제하고, 따라서 가스 형태의 물질이 제1 부재를 투과하는 것을 억제하고 있다. 따라서, 여기에서도 패키징된 상태의 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착이 억제되어 있다.
청구항 15에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 14의 패키지에서, 필터 여재는 PTFE로 이루어지는 여과층, 및 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지고 있다.
청구항 16에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 14 또는 15의 패키지에서, 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 DOP를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：
［수학식 1］
PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100
(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))
에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이다.
청구항 17에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 16의 패키지에서, 필터 여재는 PF 값이 22를 넘는 것이다.
청구항 18에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 14 내지 17 중 어느 한 항의 패키지에서, 폴리에스테르 필름층은 9㎛ 이상의 두께를 가지고 있다.
이 에어필터용 부품 패키지에서 제1 부재는 9㎛ 이상의 두께를 가지는 폴리에스테르 필름층을 가짐으로써 산소 투과도가 더욱 낮다. 이로 인해, 외기 중의 가스 형태의 물질이 제1 부재를 투과하는 것을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다. 또, 폴리에스테르 필름층은 일정값 이상의 두께를 가지고 있기 때문에 제1 부재를 용이하게 제조할 수 있다.
그리고, 폴리에스테르 필름층은 바람직하게는 9㎛ 이상 50㎛ 이하의 두께를 가지고, 더욱 바람직하게는 9㎛ 이상 20㎛ 이하의 두께를 가지고 있다. 또, 이 폴리에스테르 필름층은 바람직하게는 PET로 이루어지는 필름층이다.
청구항 19에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 8, 13 내지 18 중 어느 한 항의 패키지에서, 폴리에스테르 필름층은 제1 부재의 가장 내측에 배치되어 있다.
이 에어필터용 부품 패키지에서, 폴리에스테르 필름층은 에어필터용 부품에 가장 가까운 위치에 배치되어 있기 때문에, 예를 들면 제1 부재의 다른 층이 유기 물질을 발생시킬 수 있는 경우에도 유기 물질이 폴리에스테르 필름층을 거의 투과하지 않는다. 따라서, 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 더욱 확실하게 억제할 수 있다.
청구항 20에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 19의 패키지에서, 제1 부재는 PE 필름층을 추가로 가지고 있다.
이 에어필터용 부품 패키지에서, 에어필터용 부품은 유기 물질을 발생시킬 수 있는 PE 필름층을 가지는 제1 부재에 의해 패키징되어 있지만, 이 제1 부재는 동시에 가장 내측 층으로 폴리에스테르 필름층을 가지고 있기 때문에, PE 필름층으로부터 유기 물질이 발생해도 유기 물질이 제1 부재를 완전하게 투과하는 것을 억제할 수 있다.
청구항 21에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 8 내지 20 중 어느 한 항의 패키지에서, 패키징재는 제1 부재의 외측에 배치되는 제2 부재를 추가로 가지고 있다.
이 에어필터용 부품 패키지에서, 에어필터용 부품은 제1 부재에 의해 패키징되고, 제1 부재의 외측으로부터 다시 제2 부재에 의해 패키징되어 있다.
여기에서, 제1 부재는 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 폴리에스테르 필름층을 가지고 있기 때문에, 제2 부재가 유기 물질을 발생시킬 수 있는 경우에도 제2 부재로부터 발생한 유기 물질이 제1 부재를 거의 투과하지 않는다. 따라서, 이와 같은 패키징 형태라도 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 억제할 수 있다.
청구항 22에 기재된 에어필터용 부품 패키지는 청구항 21의 패키지에서, 제2 부재는 골판지이다.
이 에어필터용 부품 패키지에서, 에어필터용 부품은 제1 부재에 의해 패키징되고, 제1 부재의 외측으로부터 다시 골판지로 패키징되어 있다.
여기에서, 제1 부재는 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 폴리에스테르 필름층을 가지고 있기 때문에, 골판지로부터 DOP, DBP 등의 유기 물질이 발생한 경우에도 제2 부재로부터 발생한 유기 물질이 제1 부재를 거의 투과하지 않는다. 따라서, 이와 같은 패키징 형태라도 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 억제할 수 있다.
청구항 23에 기재된 에어필터용 부품의 패키징 방법은 제1 공정과 제2 공정과 제3 공정을 포함하고 있다. 제1 공정에서는 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재를 가지는 에어필터용 부품을 제조한다. 제2 공정에서는 에어필터용 부품이 외기로부터 차단되도록 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 제1 부재로 에어필터용 부품을 패키징한다. 제3 공정에서는 제1 부재로 패키징된 에어필터용 부품을 다시 외기로부터 차단되도록 제2 부재로 패키징한다.
전술한 바와 같이, 에어필터용 부품은 패키징재에 의해 사용시까지 외기로부터 차단됨으로써 공장에서 제조되었을 때의 청정한 상태를 유지할 수 있다고 생각되고 있었지만, 본원 출원인의 연구에 의해, 이러한 유기 물질은 패키징재인 골판지로부터 발생하여 PE 봉투를 투과함으로써 흡착된 것이며, 또 이러한 유기 물질은 PE 봉투로부터도 발생할 수 있다는 것도 명확해졌다.
따라서, 이 에어필터용 부품의 패키징 방법에서는 에어필터용 부품과 제2 부재 사이에 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 제1 부재를 배치하는 것으로 하고, 이에 따라 제2 부재로부터 유기 물질이 발생한 경우에도 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 억제하고 있다.
그리고, 폴리에스테르 필름층은 바람직하게는 PET로 이루어지는 필름층이다.
청구항 24에 기재된 에어필터용 부품의 패키징 방법은 청구항 23의 패키징 방법에서, 에어필터용 부품은 PTFE로 이루어지는 여과층, 및 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지는 필터 여재를 구비하고 있다.
청구항 25에 기재된 에어필터용 부품의 패키징 방법은 청구항 23 또는 24의 패키징 방법에서, 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 DOP를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：
［수학식 1］
PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100
(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))
에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이다.
청구항 26에 기재된 에어필터용 부품의 패키징 방법은 청구항 25의 패키징 방법에서, 필터 여재는 PF 값이 22를 넘는 것이다.
청구항 27에 기재된 에어필터용 부품의 패키징 방법은 청구항 23 내지 26 중 어느 한 항의 패키징 방법에서, 폴리에스테르 필름층은 제1 부재의 가장 내측에 배치되어 있다.
이 방법에서, 폴리에스테르 필름층은 에어필터용 부품에 가장 가까운 위치에 배치되기 때문에, 예를 들면 제1 부재의 다른 층이 유기 물질을 발생시킬 수 있는 경우에도 유기 물질이 폴리에스테르 필름층을 거의 투과하지 않는다. 따라서, 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 더욱 확실하게 억제할 수 있다.
청구항 28에 기재된 에어필터용 부품의 패키징 방법은 청구항 23 내지 27 중 어느 한 항의 패키징 방법에서, 제2 부재는 골판지이다.
이 방법에서, 제1 부재로 패키징된 에어필터용 부품은 제1 부재의 외측으로부터 다시 골판지로 패키징된다.
여기에서는, 제1 부재가 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 폴리에스테르 필름층을 가지고 있기 때문에, 골판지로부터 DOP, DBP 등의 유기 물질이 발생한 경우에도 제2 부재로부터 발생한 유기 물질이 제1 부재를 거의 투과하지 않는다. 따라서, 이와 같은 패키징 형태라도 에어필터용 부품에 대한 유기 물질의 부착을 억제할 수 있다.
그리고, 이 폴리에스테르 필름층은 바람직하게는 PET로 이루어지는 필름층이다.
［실시예］
［에어필터 유닛 패키지］
도 1에 본 발명의 일 실시예가 채용된 에어필터 유닛 패키지(1)를 도시한다. 에어필터 유닛 패키지(1)는 에어필터 유닛(3)과, 필름재(13)와, 케이스재(15)를 가지고 있다.
에어필터 유닛
도 2에 에어필터 유닛 패키지(1)에 사용되는 에어필터 유닛(3)을 도시한다. 에어필터 유닛(3)은 필터 여재(11)와, 필터 여재(11)가 수납되는 프레임(9)을 구비하고 있다.
필터 여재(11)는 PTFE 다공막과, PTFE 다공막을 양측으로부터 협지하도록 배치된 2매의 통기성 지지재가 열 융착 라미네이트되어 이루어지는 시트재이며, PTFE 다공막의 두께가 1∼60㎛ 정도이고, 섬유 직경이 0.05∼0.2㎛, 바람직하게는 0.05∼0.14㎛, 특히 바람직하게는 0.05∼0.1㎛이고, PF 값은 바람직하게는 20 이상이고, 특히 바람직하게는 22를 넘는다. 통기성 지지재로는 메쓰케(METSUKE；1평방미터당 섬유량)가 15∼100g／m2(바람직하게는 20∼70g／m2)인 부직포, 바람직하게는 코어／클래드 구조의 섬유로 이루어지는 부직포가 사용된다. 이 필터 여재(11)는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실이 98∼980Pa, 입자직경이 0.10∼0.12㎛의 DOP의 포집 효율이 99.0% 이상, 바람직하게는 99.9% 이상, 특히 바람직하게는 99.99% 이상으로 되어 있다.
또, 이 필터 여재(11)는 사용 전의 DOP, DBP 함유량이 1.0㎍／g 이하, 바람직하게는 0.2㎍／g 이하이다. DOP, DBP 함유량은 후술하는 헥산 추출법에 의해 검출된 DOP, DBP의 검출량이다.
그리고, 필터 여재(11)는 15∼150mm의 폭마다 번갈아 되접혀져 파형(波型) 형상으로 되고, 인접한 되접힌 부분의 간격이 스페이서(19) 또는 파형 형상의 세퍼레이터에 의해 2∼15mm 정도로 유지되어 있다. 이 상태를 에어필터용 플리트 팩이라고 한다.
프레임(9)은 4개의 알루미늄으로 이루어진 프레임 부재가 조립되어 이루어지고, 내측의 공간에 필터 여재(11)가 스페이서(19)에 의해 소정의 형상으로 유지된 상태에서 수납된다. 프레임(9)과 필터 여재(11)는 기밀성을 유지하기 위해 접착제 등에 의해 밀봉되어 에어필터 유닛이 된다.
필름재
필름재(13)는 에어필터 유닛(1)의 외측을 덮도록 배치되는 수지로 이루어진 봉투(우베휘루무사 제조 "슈페렌")이다. 이 필름재(13)는 내측(에어필터 유닛(1) 측) 및 외측(외기측)의 2개의 필름층과, 양 필름층 사이의 중간층으로 이루어진다. 내측의 층은 PET 필름층이고 에어필터 유닛(1)에 가장 가까운 층이다. 외측의 층은 리니어 저밀도 PE(이하, LLDPE라고 함) 필름층이다. 중간층은 2개의 필름층을 접착하기 위한 층이고 접착성 수지(：Adhesive Plastic, 이하 ADH라고 함)로 이루어진다. 필름재(13)의 각 층의 두께는 내측 층, 중간층, 외측 층 순으로 15㎛, 10㎛, 30㎛이다.
그리고, 이 필름재는 이와 같은 구성의 봉투에 한정되지 않고, 예를 들면 내측의 층의 PE 필름층과 외측의 층의 PET 필름층이 앵커 코트(：Anchor Coat, 이하 AC라고 함)제로 접착되어 이루어지는 필름재(후지모리고교사 제조의 "무지대(無地袋)")를 뒤집은 것일 수도 있다. 이 필름재의 각 층의 두께는 PET 필름층, PE 필름층 순으로 12㎛, 50㎛이다(AC제 층은 실질적으로 0㎛임).
케이스재
케이스재(15)는 필름재(13)로 패키징된 에어필터 유닛(1)의 외측을 다시 패키징하기 위한 것이며, 이 실시예에서는 골판지가 사용되고 있다. 그리고, 케이스재(15)는 골판지 이외에 예를 들면 수지로 이루어진 플라스틱 케이스일 수도 있다.
이와 같이 구성된 에어필터 유닛 패키지(1)에서는, 필름재(13)가 DOP, DBP 등의 유기 물질의 투과를 차단할 수 있는 PET 필름층을 가지고 있다. 이로 인해, 골판지로부터 이러한 유기 물질이 발생해도 필름재(13)를 투과하여 필름재(13)의 내측에 거의 침입하지 않는다. 따라서, 이 에어필터 유닛 패키지(1)에서는 에어필터 유닛(3)이 패키징된 상태에서의 필터 여재에 대한 유기 물질의 부착이 억제되어 있다.
또, 이 에어필터 유닛 패키지(1)의 패키징이 풀리고 에어필터 유닛(3)이 클린룸의 통기구 및 반도체 제조 장치에 설치된 경우, 클린룸 외측의 공기는 필터 여재(11)를 통과하여 클린룸 내로 스며든다. 이 때, 공기 중의 부유 미립자는 PTFE다공막의 섬유에 충돌함으로써 필터 여재에 포획되어 공기 중의 부유 미립자는 서서히 저감된다.
(실험예 1)
도 3에 본 발명의 에어필터 유닛 패키지(1)에 사용하는 필터 여재(11)의 유기 물질 추출 시험의 개요를 나타낸다. 여기에서는, 필터 여재(11) 중의 유기 물질을 다음에 설명하는 헥산 추출법에 의해 추출하였다.
그리고, 종래의 유기 물질의 함유량 측정은 퍼지 앤 트랩 방식에 의해 행해지고 있었다. 이 방식에서는 에어필터 유닛에 대해 40℃의 공기를 소정의 유량으로 블로잉하고 이 에어필터 유닛을 투과하는 공기 중에서 검출되는 유기 물질의 양을 측정함으로써 에어필터 유닛에 포함되는 유기 물질의 양이 측정된다.
그러나, 이 방식으로는 비교적 저비점의 유기 물질에 대해서는 효과적으로 측정할 수 있지만, 비점이 270℃를 넘는 고비점의 유기 물질에 대해서는 측정 조건이 엄격하지 않기 때문에 에어필터 유닛으로부터 충분히 유리시킬 수 없고, 그 결과 실제로는 DBP, DOP 등의 고비점 성분을 많이 포함하고 있어도 외관상 이러한 성분이 포함되어 있지 않은 듯한 측정 결과밖에 얻어지지 않는다.
따라서, 이 실험예에서는 퍼지 앤 트랩 방식에 비해 고비점의 유기 물질에서도 충분한 양을 유리시킬 수 있는 헥산 추출법에 의해 필터 여재에 포함되는 DBP, DOP 등의 고비점 성분의 함유량 측정을 행하는 것으로 하였다.
또, 이 실험예에서 사용하는 필터 여재(11)는 본원 출원인에 의해 이미 제안되어 있는 일본국 특원평(特願平) 11(1999)－286664호의 실시예 4에 나타낸 방법에의해 제조하였다. 여기에서 그 제조 방법을 설명한다.
수 평균 분자량 620만의 PTFE 파인 파우더(다이킨고교가부시키가이샤 제조의 폴리플론파인파우더 F－104U) 100중량부에 압출 조제(助劑)로서의 탄화 수소 기름(엣소세키유가부시키가이샤 제조의 아이소파) 25중량부를 첨가하여 혼합하였다.
이 혼합물을 페이스트 압출에 의해 둥근 봉 형상으로 성형하였다. 이 둥근 봉 형상의 성형체를 70℃로 가열한 캘린더 롤에 의해 필름 형태로 성형하여 PTFE 필름을 얻었다. 이 필름을 250℃의 열풍 건조로에 통과시켜 압출 조제를 증발 제거하고 평균 두께 200㎛, 평균 폭 150mm의 미소성(未燒成) 필름을 얻었다.
다음에, 이 미소성 PTFE 필름을 연신 장치를 사용하여 길이 방향으로 5배의 연신 배율로 연신하였다. 이 때의 연신 온도는 250℃이었다. 얻어진 길이 방향 연신 필름을 연속 클립으로 사이에 끼울 수 있는 장치(텐터(tenter))를 사용하여 폭 방향으로 30배의 연신 배율로 연신하고 열 고정하였다. 이 때의 연신 온도는 290℃, 열 고정 온도는 360℃, 또 연신 속도는 330%／초이었다.
이와 같이 하여 얻은 PTFE 다공막의 양면에 폴리에틸렌／폴리에스테르로 이루어진 열 융착성 부직포(상면：상품명 에루베스 T0703WDO(유니티카 제조)；하부：상품명 에루휫토 E0353WTO(유니티카 제조))를 닙 롤(nip roll) 없이(실질적으로 두께 방향으로 압력을 가하지 않고) 열 융착하여 필터 여재(11)를 얻었다. 이 때의 열 융착 조건은 다음과 같다.
롤 19 가열 온도：160℃
라인 속도：15m／분
풀 때의 장력：50g／cm(부직포를 풀 때의 장력)
감을 때의 장력：250g／cm
그리고, 이와 같이 하여 얻은 필터 여재(11)로부터 여재 조각을 잘라내고, 이 여재 조각에 대해 PF 값의 측정을 행한 결과, PF 값은 26이었다. 이 PF 값은 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때의 압력 손실(단위：pa)과, 입자 직경이 0.10∼0.12㎛의 DOP를 사용하여 측정되는 포집 효율(단위：%)로부터 다음 식：
［수학식 1］
PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100
(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))
에 의해 구하였다. 단, 이하에 설명하는 유기물 함유량의 측정에는 이 PF 값 26의 필터 여재(11) 중, PF 값의 측정을 행한 곳은 사용하지 않고 PF 값의 측정을 행하지 않은 곳을 사용하였다(실험예 2도 동일함).
다음에 헥산 추출법에 의한 필터 여재(11)의 유기물 함유량의 측정 방법에 대해 설명한다.
전술한 바와 같이 하여 얻은 필터 여재(11)에 대해
1) 패키징 전의 것(참고용)
2) 전술한 필름재(후지모리고교사 제조 "무지대"를 뒤집은 것)에 의해 패키징하고 50시간 이상 반송(搬送)한 후에 패키징을 푼 것(실시예 1)
3) 종래의 필름재(LLDPE 필름층만으로 이루어지는 필름재)로 패키징하고 50시간 이상 반송한 후에 패키징을 푼 것(비교예 1)
의 3종류를 준비하고, 이들 필터 여재(11)로부터 필터 여재 조각 1.0g을 샘플로 잘라내고 각각 샘플 병에 넣었다. 다음에, 각 샘플 병에 헥산 20ml을 넣고 초음파 세정기에 의해 10분간 초음파 세정을 행하였다. 초음파 세정 종료 후, 각 샘플 병으로부터 샘플을 꺼내어 N2분위기에서 상온으로 헥산을 증발시킨 후, 새로 헥산 100μl의 첨가하였다. 각 헥산 용액으로부터 2μl을 샘플링하고, 가스 크로마토그래피에 의해 유기 물질의 각 성분(탄소수가 15 이상인 탄화수소, DOP, DBP)의 함유량을 측정하였다. 이 측정 결과를 표 1에 나타낸다.
［표 1］
| 샘플 | 탄화수소㎍／g | DBP㎍／g | DOP㎍／g |
| 1 여재만(참고용) | 20 이하 | 0.05 | 0.19 |
| 2 실시예 1 | 20 이하 | 0.06 | 0.19 |
| 3 비교예1 | 50 이상 | 1.06 | 0.72 |
표 1에 나타낸 바와 같이, 비교예 1의 필터 여재에서는 패키징 전의 필터 여재에 비해 유기 물질의 함유량이 대폭 증가되어 있다. 이에 대해, 실시예 1의 필터 여재의 유기 물질의 함유량은 패키징 전의 필터 여재와 대략 동일한 정도로 되어 있다. 따라서, 실시예 1의 필터 여재는 비교예 1의 필터 여재에 비해 패키징 중의 유기 물질의 부착이 억제되어 있는 것을 알 수 있다.
(실험예 2)
도 4에 본 발명의 에어필터 유닛 패키지(1)의 가스 차단성 평가 실험의 샬레(17) 내의 샘플을 나타낸다. 여기에서는, 필터 여재(11)를 필름재(13)만으로 패키징한 것과 필름재(13) 및 골판지(15)로 패키징한 것의 유기 물질의 함유량을비교하였다.
먼저, 필터 여재(11)로부터 소정의 크기의 필터 여재 조각 5개를 샘플로 잘라냈다. 이들 샘플 중 4개를 유기물에 대한 대책을 한(케미칼 필터의 설치, 유기 물질 발생원의 배제 등을 한) 클린룸 내에서 표 2에 나타낸 4종의 필름재로 각각 포장하고, 공기가 유통되지 않도록 필름재(13)의 개구 부분을 2∼3회 되접었다. 다음에, 필름재로 포장한 샘플을 각각 골판지판(15)으로 사이에 끼워 샬레(17)에 넣고, 다시 불순물을 발생시키지 않는 다른 필름재로 샬레(17)마다 포장하여 밀봉하고(실시예 2, 3, 비교예 2, 3), 60℃의 오븐 속에서 3일간 가열하였다. 가열 종료 후 필터 여재(11)를 오븐으로부터 꺼내고, 헥산 추출법에 의해 필터 여재(11)에 포함되는 유기 불순물의 양을 측정하였다. 또, 실시예 2, 3, 비교예 2, 3에서 골판지판(15)으로 사이에 끼우지 않은 것에 대해서도 비교를 위해 동일한 측정을 행하였다. 이 측정 결과를 표 3에 나타낸다. 또, 이 측정 결과로부터 판단되는 필터 여재(11)의 사용 가부(필터 여재(11)의 청정도 및 가스 차단성)에 대한 판정 결과도 아울러 표 3에 나타낸다. 그리고, 표 2 중의 "평가 결과"는 측정 결과로부터 판단되는 각 필름재(13)에 대한 가스 차단성 및 불순물 발생량(○는 발생량이 적은 것을 나타내고 ×는 발생량이 많은 것을 나타냄)을 나타낸 것이다.
［표 2］
| 샘플 | 실시예 2 | 실시예 3 | 비교예 2 | 비교예 3 | |
| 구성(내／중／외) | PE／AC／PET | PET／ADH／PE | LLDPE | 고순도 LLDPE | |
| 두께 ㎛(내／중／외) | 50／0／12 | 15／10／30 | 50 | 80 | |
| 평가 결과 | 가스차단성 | ○ | ○ | × | × |
| 불순물발생량 | ○ | ○ | × | × |
［표 3］
| 필름재만으로 패키징 | 필름재 및 골판지로 패키징 | 사용 가부 판정 | ||||||
| 탄화수소㎍／g | DBP㎍／g | DOP㎍／g | 탄화수소㎍／g | DBP㎍／g | DOP㎍／g | 청정도 | 가스 차단성 | |
| 1 여재만(참고용) | 20이하 | 0.1 | 0.3 | － | － | － | － | － |
| 2 비교예 2 | 50이상 | 1.0 | 0.9 | 50이상 | 10.2 | 1.2 | × | × |
| 3 실시예 2 | 20이하 | 0.1 | 0.4 | 20이하 | 0.1 | 0.3 | ○ | ○ |
| 4 실시예 3 | 20이하 | 0.2 | 0.4 | 20이하 | 0.1 | 0.5 | ○ | ○ |
| 5 비교예 3 | 50이상 | 0.3 | 0.3 | 50이상 | 3.5 | 0.4 | × | × |
표 3에 나타낸 바와 같이, 비교예 2, 3에서는 골판지로 사이에 끼운 경우의 유기 물질의 검출량이 골판지로 사이에 끼우지 않은 경우에 비해 대폭 증가되어 있다. 따라서, 비교예 2, 3에 사용한 필름재에서는 골판지에서 발생한 유기 물질이 투과되어 필터 여재에 흡착되어 있는 것으로 생각된다. 이에 대해, 실시예 2, 3에서는 골판지로 사이에 끼운 경우의 유기 물질의 함유량이 골판지로 사이에 끼우지 않은 경우와 동일한 정도로 되어 있다. 따라서, 실시예 2, 3에서 사용한 필름재에서는 골판지에서 발생한 유기 물질을 효과적으로 차단하고 있다고 생각된다.
［에어필터 유닛의 패키징 방법］
본 발명의 일 실시예가 채용되는 에어필터 유닛(3)의 패키징 방법은 유닛 제조 공정과 봉투 포장 공정과 상자 포장 공정을 포함하고 있다.
유닛 제조 공정에서는 에어필터 유닛(3)이 제조된다. 에어필터 유닛(13)은 전술한 바와 같이 PTFE 다공막과 통기성 지지재로 이루어지는 필터 여재(11)를 소정의 형상으로 가공한 것을 프레임(9) 내에 수납하고, 필터 여재(11)와 프레임(9) 사이를 접착제에 의해 밀봉함으로써 제조된다.
봉투 포장 공정에서는, 에어필터 유닛(3)의 필터 여재(11)가 외기로부터 차단되도록 필름재(13)로 패키징된다. 필름재(13)로는 전술한 필름재(13)가 사용된다.
상자 포장 공정에서는 필름재(13)로 패키징된 에어필터 유닛(3)이 다시 외기로부터 차단되도록 케이스재(15)로 패키징된다. 케이스재(15)로는 전술한 골판지가 사용된다. 그리고, 케이스재(15)는 골판지 이외에 예를 들면 수지로 이루어진 플라스틱 케이스일 수도 있다.
［다른 실시예］
(a) 필터 여재(11)는 PTFE 다공막을 사용한 것에 한정되지 않고 다른 수지로 이루어진 다공막을 사용한 필터 여재일 수도 있고, 또 유리 섬유로 이루어지는 유리 여재 등의 필터 여재일 수도 있다.
(b) 에어필터 유닛 패키지(1)는 에어필터 유닛(3) 전체를 포장하도록 패키징한 것에 한정되지 않고, 예를 들면 필터 여재(11)가 노출되는 부분만을 덮도록 에어필터 유닛(3)의 공기 도입구(표면) 및 공기 배출구(이면)의 2개소에 필름재(13)를 붙인 것일 수도 있다.
(c) 상기 실시예에서는 에어필터 유닛(3)으로의 형태로 패키징한 경우에 대해 설명하였지만, 필터 여재(11), 에어필터 플리트 팩으로서의 형태로 패키징한 경우에도 외기 중의 유기 물질의 부착을 억제할 수 있다.
본 발명에 의하면, 에어필터용 부품은 외기 중의 유기 물질을 차단할 수 있는 패키징재에 의해 패키징되기 때문에, 패키징된 상태에서의 유기 물질의 부착이 억제된다. 그리고, 이와 같은 유기 물질의 부착 억제 효과는 특히 필터 여재가 높은 PF 값의 PTFE 다공막을 가지고 있는 경우에 우수하다.
Claims (28)
- 일부 또는 전부에 공기 청정 가능한 필터 여재(濾材)를 가지는 에어필터용 부품에 있어서,사용 전의 상기 필터 여재 1g당 디부틸프탈레이트 함유량이 1.0㎍ 이하인에어필터용 부품.
- 제1항에 있어서,사용 전의 상기 필터 여재 1g당 디옥틸프탈레이트 함유량이 1.0㎍ 이하인 에어필터용 부품.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,사용 전의 상기 필터 여재 1g당 탄소수 15 이상의 탄화수소 함유량이 50㎍ 이하인 에어필터용 부품.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 필터 여재는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 여과층, 및 상기 여과층의 한쪽 면 또는 양쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지는 에어필터용 부품.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 디옥틸프탈레이트를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：［수학식 1］PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이고 26 이하인 에어필터용 부품.
- 제5항에 있어서,상기 필터 여재는 PF 값이 22 이상 26 이하인 에어필터용 부품.
- 제1항에 따른 에어필터용 부품, 및상기 필터 여재가 외기로부터 차단되도록 배치되는 패키징재를 구비하는 에어필터용 부품 패키지.
- 제7항에 있어서,상기 패키징재는 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 제1 부재를 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재를 가지는 에에필터용 부품, 및상기 필터 여재가 외기로부터 차단되도록 배치되는 패키징재를 구비하고,상기 패키징재는 산소 투과도가 20000ml／(m2·day·Mpa) 미만인 제1 부재를 가지는에어필터용 부품 패키지.
- 제9항에 있어서,상기 필터 여재는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 여과층, 및 상기 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 제9항 또는 제10항에 있어서,상기 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 디옥틸프탈레이트를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：［수학식 1］PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이고 26 이하인 에어필터용 부품 패키지.
- 제11항에 있어서,상기 필터 여재는 PF 값이 22 이상이고 26 이하인 에어필터용 부품 패키지.
- 제9항에 있어서,상기 제1 부재는 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재를 가지는 에어필터용 부품, 및상기 필터 여재가 외기로부터 차단되도록 배치되는 패키징재를 구비하고,상기 패키징재는 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 제1 부재를 가지며, 상기 폴리에스테르 필름층은 1∼60 ㎛의 두께를 가지는에어필터용 부품 패키지.
- 제14항에 있어서,상기 필터 여재는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 여과층, 및 상기 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 제14항 또는 제15항에 있어서,상기 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 디옥틸프탈레이트를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：［수학식 1］PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이고 26이하인 에어필터용 부품 패키지.
- 제16항에 있어서,상기 필터 여재는 PF 값이 22 이상이고 26 이하인 에어필터용 부품 패키지.
- 제14항에 있어서,상기 폴리에스테르 필름층은 9∼60 ㎛의 두께를 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 제8항, 제13항, 제14항, 제15항 및 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 폴리에스테르 필름층은 상기 제1 부재의 가장 내측에 배치되는 에어필터용 부품 패키지.
- 제19항에 있어서,상기 제1 부재는 폴리에틸렌 필름층을 추가로 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 제8항, 제9항, 제10항, 제13항, 제14항, 제15항 및 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패키징재는 상기 제1 부재의 외측에 배치되는 제2 부재를 추가로 가지는 에어필터용 부품 패키지.
- 제21항에 있어서,상기 제2 부재는 골판지인 에어필터용 부품 패키지.
- 적어도 일부에 공기 청정 가능한 필터 여재를 가지는 에어필터용 부품을 제조하는 제1 공정,상기 에어필터용 부품이 외기로부터 차단되도록 적어도 일부에 폴리에스테르 필름층을 가지는 제1 부재로 상기 에어필터용 부품을 패키징하는 제2 공정, 및상기 제1 부재로 패키징된 상기 에어필터용 부품을 다시 외기로부터 차단되도록 제2 부재로 패키징하는 제3 공정을 가지는 에어필터용 부품의 패키징 방법.
- 제23항에 있어서,상기 필터 여재는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 여과층, 및 상기 여과층의 적어도 한쪽 면에 라미네이트되는 통기성 지지재를 가지는 에어필터용 부품의 패키징 방법.
- 제23항 또는 제24항에 있어서,상기 필터 여재는 53mm／초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때 발생하는 압력 손실과 입자 직경이 0.10㎛ 이상 0.12㎛ 이하인 디옥틸프탈레이트를 사용하여 측정되는 포집 효율로부터 다음 식：［수학식 1］PF＝［－log(투과율(%)／100)／(압력 손실(pa)／9.8)］×100(여기에서, 투과율(%)＝100－포집 효율(%))에 의해 산출되는 PF 값이 20 이상이고 26 이하인 에어필터용 부품 패키징 방법.
- 제25항에 있어서,상기 필터 여재는 PF 값이 22 이상이고 26이하인 에어필터용 부품의 패키징 방법.
- 제23항 또는 제24항에 있어서,상기 폴리에스테르 필름층은 상기 제1 부재의 가장 내측에 배치되는 에어필터용 부품의 패키징 방법.
- 제23항 또는 제24항에 있어서,상기 제2 부재는 골판지인 에어필터용 부품의 패키징 방법.
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