JPH08193963A - 検査装置の視野位置表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はＸ線を照射する位置と、範囲を設定
し、配置するだけで被検査物上のＸ線視野位置と範囲を
判別することができるようにすることを目的とする。 【構成】 Ｘ線源の周囲に２個のスリット光プロジェク
タを、被検査物上で各々のスリット光が直角に交差する
様に、配置した検査装置用視野位置指示装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、各種検査装置等におい
て、検査位置あるいは視野位置をオペレータに指示する
視野位置指示する視野位置表装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図２、図３はそれぞれＸ線検査装置にお
ける従来方式を示す図である。

【０００３】図２において１はＸ線源、２は被検査物、
３は撮像部、４はポイントレーザプロジェクタである。

【０００４】Ｘ線源１より発射されたＸ線は被検査物２
を透過し撮像部３に入射する。この際、Ｘ線が被検査物
２を透過する位置を、肉眼でも確認できるようにポイン
トレーザプロジェクタ４で直接斜方から照射し、表示す
る。

【０００５】図３の例においてはにおいて１はＸ線源、
２は被検査物、３は撮像部、４はポントレーザプロジェ
クタ、６はミラーである。

【０００６】Ｘ線源１より発射されたＸ線はミラー６及
び被検査物２を透過し、撮像部３に入射する。この際Ｘ
線源１と被検査物２との間のミラー６によりＸ線が被検
査物２を透過する位置を、ミラー６による反射レーザ光
で照射し、肉眼で確認できるように表示する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術には次
のような問題点を有する。

【０００８】図２の例において、被検査物を搭載するス
テージに幾何学倍率可変用のＺステージを用いた場合、
矢印Ｚの方向にステージを駆動した時には、ポイントレ
ーザプロジェクタ照射位置が変化してしまう。

【０００９】また、図３の例においては、ミラーによる
物理的なデッドゾーンにより、Ｘ線源１と被検査物２を
密着もしくは、接近させることができない。このため、
幾何学倍率が少なくなる。さらにまた、ミラー６による
Ｘ線の減弱が起きる。

【００１０】そして、図２、図３共にポイントレーザに
より視野位置は判るが、視野エリアまでは表示できな
い、などの問題を有する。

【００１１】本発明はこれらの欠点を除去し、幾何学倍
率可変用Ｚステージを駆動した時にも指示位置が変化し
ないこと、また、エリア表示によって視野範囲が判別で
きるようにしたことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、スリット光が被検査物上で９０°に交差す
る様に２個のスリット光プロジェクタを９０°ピッチで
配置する。 また、エリア表示の場合には、スリットレ
ーザ光の幅を広く設定するようにしたものである。

【００１３】

【作用】スリット光プロジェクタからのスリット光を２
つ、９０°に交差させることにより、被検査物の平行な
上下運動の際でも、上下軸（Ｚ）方向のスリット光の交
差位置は変わらず、視野位置を判別することができる。

【００１４】また、Ｚステージ駆動時に、焦点と撮像部
とを結ぶ視野角によって生じる視野範囲の変化はスリッ
ト光に広がり角を持たせその角度を設定することによ
り、変化する視野範囲、エリアの判別を行う。

【００１５】

【実施例】以下この発明の実施例をＸ線検査装置を例と
して、図１により説明する。

【００１６】１はＸ線を発射するＸ線源、２は被検査物
で主に電子回路基板などが多く、その表裏及び内層のパ
ターンや実装部品のはんだ付状態などが検査される。３
は撮像部で被検査物２を透過してきたＸ線から被検査物
の状態を外部のモニタ（図示せず）などに出力する装
置、５はスリットレーザプロジェクタで、被検査物２上
に作る９０°に交差するスリットレーザ光を照射する装
置である。

【００１７】スリットレーザプロジェクタ５ａ、５ｂに
よって作られた、破線で示す直交する２つのスリットレ
ーザ光ａ、ｂは、被検査物２が平行に上下運動を行う際
にお互いのスリットレーザ光がスリット長手方向には、
ずれていく事にはなる。しかしながら、スリット短手方
向にはずれないため、スリットレーザ光の交差位置（交
差位置はＸ線の中心点を示す）は被検査物２上において
動かない事になる。この原理から直交する２つのスリッ
トレーザ光を用いてＸ線の視野中心位置を判別すること
ができる。

【００１８】また、被検査物２が平行に上下運動を行う
際に、Ｘ線焦点と撮像部とを結ぶ視野角によって生じる
Ｘ線視野範囲の変化すなわち、広がりは実線ａ１、ａ
２、ｂ１、ｂ２で示すように予めスリットレーザプロジ
ェクタ５の照射スリットレーザ光にレンズ、あるいは振
動ミラー等の光学的手法で広がり角をもたせ、Ｘ線視野
範囲の変化に対応させることができる。

【００１９】これらによって検査中の被検査物２のＸ線
視野位置及び視野範囲が被検査物２の平行な上下運動に
影響を受けずに判別することが可能となる。

【００２０】また、ミラーによる物理的なデッドゾーン
がないため、Ｘ線源と被検査物が密着もしくは、接近さ
せることができる。このため、幾何学倍率を大きくとる
ことができる。また、ミラーによるＸ線の減衰は発生し
ない。

【００２１】以上述べた実施例はＸ線検査装置の場合で
あるが、通常のテレビカメラを用いた検査装置において
も有効なことは説明するまでもない。例えば、テレビカ
メラにより撮像された被検査物体の中心が正しく画面中
央に位置するかをモニタ上の映像を見ずとも確認するこ
とが出来る。

【００２２】また、この実施例ではスリット光を得る手
段としてレーザ光源を用いたが、必ずしもレーザである
必要は無く、例えば通常のスポット光線を回転ミラー、
振動ミラー等によって走査するようにしても良い。

【００２３】

【発明の効果】このように本発明ではスリット光線は、
被検査物の平行な上下運動には影響されずいかなる場合
でも同一ラインを照射し続ける。その結果、被検査物の
平行な上下運動に際して、いかなる場合においても、視
野の中心位置及び範囲を正しく表示することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の全体構成図。

【図２】従来技術構成図。

【図３】従来技術構成側面図。

【符号の説明】

１ Ｘ線源、２ 被検査物、３ 撮像部、４ ポイント
レーザプロジェクタ、５ スリットレーザプロジェク
タ、６ ミラー

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つのスリット光プロジェクタを被検査
   物上で各々のスリット光が９０°に交差する様に配置し
   たをすることを特徴とする検査装置の視野位置指示装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の視野位置指示装置で、視
   野角に対しスリット光の広がり角が等しくなるスリット
   光プロジェクタを用いることを特徴とする検査装置の視
   野位置指示装置。
3. 【請求項３】 請求項１記載のスリット光プロジェクタ
   はレーザ光線プロジェクタであることを特徴とする検査
   装置の視野位置表示装置