JP3362730B2 - エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法 - Google Patents
エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法Info
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Description
内、液晶または半導体製造装置内部等の空気洗浄に使用
されるエアフィルター濾材、これを用いたエアフィルタ
ーパック及びエアフィルターユニットに関する。
装置内部等の空気清浄に使用される高性能エアフィルタ
ー濾材として、ポリテトラフルオロエチレン(以下、P
TFE)からなる多孔膜を利用したものがある。このP
TFE多孔膜は、強度を向上させ取り扱い性を良くする
ために、一般に、PTFE多孔膜を両側から狭持するよ
う配置された通気性支持材と積層される。
ター濾材の性能を示す特性として捕集効率と圧力損失と
がある。PTFE多孔膜は、従来のガラスフィルター濾
材に比べ繊維が細いため高い捕集効率を有するととも
に、圧力損失は低く抑えられている。
ミネートされる際やラミネート後に所定形状に加工され
る際に、不織布からの圧接力を受けて繊維構造が変化し
てしまう。この結果、エアフィルター濾材に欠陥が生じ
たり、エアフィルター濾材の圧力損失が上昇したり捕集
効率が低下する等の問題が生じる。
力損失の上昇及び捕集効率の低下等の程度を抑えること
により、性能が高いエアフィルター濾材、エアフィルタ
ーパック及びエアフィルターユニットを提供することに
ある。
/1000)+0.11 を満たす範囲にある。
ダメージの大きさには、エアフィルター濾材に用いられ
る不織布の硬さが寄与していることが本願出願人の研究
により明らかとなった。そして、この不織布の硬さを決
定する要素として不織布の見掛け密度があることも本願
出願人の研究により見出された。
FE多孔膜の少なくとも片面に、不織布として見掛け密
度が所定量未満であるものを積層している。すなわち、
PTFE多孔膜には従来に比べ柔らかい不織布が積層さ
れている。これにより、PTFE多孔膜がラミネート時
等に不織布から受けるダメージの程度が低減され、エア
フィルター濾材の圧力損失の上昇、捕集効率の低下等の
程度が抑えられ、高い性能のエアフィルター濾材が得ら
れる。
請求項1のエアフィルター濾材において、少なくとも片
面側の不織布は、圧縮率が次式: 〔数2〕 圧縮率(%)<0.2×目付(g/m2)+66 圧縮率(%)=(d1000(μm)/d20(μm))×10
0 (ここで、d1000(μm)=荷重98(kPa)での厚
み(μm)、d20(μm)=荷重1.96(kPa)で
の厚み(μm))を満たす範囲にある。
支持材料としての不織布として比較的硬いものが用いら
れていたためにPTFE多孔膜が受けるダメージが大き
くなっていた。そして、このような不織布の硬さを決定
する要素として不織布の圧縮率があることが本願出願人
の研究により判明した。
FE多孔膜の少なくとも片面に、不織布として圧縮率が
所定量未満であるものを積層している。すなわち、PT
FE多孔膜には従来に比べ柔らかい不織布が積層されて
いる。これにより、PTFE多孔膜がラミネート時等に
不織布から受けるダメージの程度は低減され、エアフィ
ルター濾材の圧力損失の上昇、捕集効率の低下等の程度
が抑えられ、高い性能のエアフィルター濾材が得られ
る。
請求項1または2のエアフィルター濾材において、少な
くとも片面側の不織布は、芯部と鞘部とを有する芯鞘構
造の複合繊維からなり、芯部は鞘部の材料より融点が高
い材料からなる。
繊維からなる不織布は、PTFE多孔膜に熱ラミネート
される際、鞘部分が多数の細かい点でPTFE多孔膜に
接着されることにより、剥がれにくい接着層が形成され
るとともに、エアフィルター濾材に目詰まりが生じるの
を抑えられることが見出された。また、芯鞘複合繊維か
らなる不織布は、ラミネート時に熱収縮がほとんど発生
しないことも本願出願人の研究により明らかとなった。
に、芯鞘複合繊維からなる不織布を用いたエアフィルタ
ー濾材において、不織布の見掛け密度等が所定量未満の
ものを用いている。
ラミネート時に殆ど熱収縮しないため、PTFE多孔膜
がラミネート時等に不織布から受けるダメージの程度を
より有効に抑えることができる。
造方法は、請求項1から3のいずれかのエアフィルター
濾材を製造するための製造方法であって、第1工程と第
2工程とを含んでいる。第1工程では多孔膜を製造す
る。第2工程では、非粘着処理を行った加熱ロール上
で、多孔膜に不織布を積層する。
いて、PTFE多孔膜に不織布を熱ラミネートする工程
では、一般に、PTFE多孔膜と不織布とは、加熱ロー
ル上で加熱されることにより互いに熱融着される。
の不織布は、加熱ロールにより加熱されて粘性を帯びる
ことにより、加熱ロールとの間で粘着力が発生し、不織
布とPTFE多孔膜の間で剥離が生じ、その結果、PT
FE多孔膜がダメージを受けるため、エアフィルター濾
材に欠陥が生じたり、性能の低下が生じたりする。
着処理を施した加熱ロール上で多孔膜に不織布を積層さ
せることとしている。これにより、PTFE多孔膜に不
織布を熱ラミネートする際に、不織布と加熱ロールとの
間に粘着力が発生するのが抑えられ、エアフィルター濾
材の欠陥の発生や、圧力損失の上昇、捕集効率の低下等
の程度をより有効に抑えることができ、高い性能のエア
フィルター濾材が得られる。
シート状の強化繊維材料層に非粘着性を有する有機高分
子材料を含浸させた非粘着シートを加熱ロール上に貼り
付けたものや、ロール表面が非粘着性を有する有機高分
子材料によりコーティングされたものや、ロール表面が
非粘着性高分子材料を含有するゴム類から形成されたも
のなどが例示できる。
しては、特に制限はないが、フッ素系樹脂、シリコン系
樹脂、オレフィン系樹脂などの合成樹脂や前記合成樹脂
を含有するゴム類、エラストマー等を例示できる。
ル系合成繊維、ナイロン系合成繊維、アラミド繊維、ガ
ラス繊維、炭素繊維、セラミック繊維等が例示できる。
請求項5に記載のエアフィルター濾材の製造方法は、請
求項4の製造方法において、加熱ロールには非粘着性シ
ートが貼り付けられており、非粘着性シートはガラス繊
維材料からなるシートに非粘着性のフッ素系樹脂材料を
含浸させてなる。
記非粘着性シートを貼り付けた場合は、不織布と加熱ロ
ールとの間に殆ど粘着力が発生せず、不織布の剥離性に
優れることが見出された。
ロールに前記非粘着シートを貼り付けている。これによ
り、熱ラミネート後に不織布を加熱ロールから容易に剥
離させることができ、PTFE多孔膜が不織布から受け
るダメージの程度を小さくすることができる。また、加
熱ロールの清掃や非粘着シートの張替えが容易になる。
は、請求項1から3のいずれかに記載のエアフィルター
濾材が所定の形状に加工されてなる。エアフィルター濾
材は、主としてエアフィルターユニット(後述)の構成
部品として用いられるが、このために、例えば、所定間
隔ごとに交互に折り返された波型形状等の所定の形状に
加工される(この状態のエアフィルター濾材をエアフィ
ルターパックという)。
不織布として、見掛け密度等が所定値より小さいもの、
すなわち従来に比べ柔らかいものが用いられているた
め、濾材が所定の形状に加工される時にPTFE多孔膜
が受けるダメージが低減され、エアフィルターパックの
欠陥が抑えられる。
は、エアフィルターパックと枠体とを備えている。エア
フィルターパックは請求項6に記載のものである。枠体
はエアフィルターパックが収納される。
ィルター濾材に用いる不織布として、見掛け密度等が所
定値より小さいもの、すなわち従来に比べ柔らかいもの
が用いられているため、ユニットに加工する時にPTF
E多孔膜が不織布から受けるダメージが低減され、ユニ
ットの欠陥を抑えられる。
の一実施形態に係るエアフィルターユニットは、エアフ
ィルター濾材とエアフィルター濾材が収納される枠体と
を備えている。
と、PTFE多孔膜を両側から狭持するよう配置された
2枚の通気性支持材とが熱融着ラミネートされてなるシ
ート材である。
μm程度であり、繊維径が0.05〜0.2μm(好ま
しくは0.05〜0.14μm、さらに好ましくは0.
05〜0.1μm)であり、PF値が22(好ましくは
25)を超えるものが用いられる。
0g/m2(好ましくは20〜70g/m2)である不織
布が用いられる。また、この不織布は、見掛け密度が次
式: 〔数1〕 見掛け密度(g/cm3)<1.5×(目付(g/m2)
/1000)+0.11 を満たす範囲にあり、圧縮率が次式: 〔数2〕 圧縮率(%)<0.2×目付(g/m2)+66 圧縮率(%)=(d1000(μm)/d20(μm))×10
0 (ここで、d1000(μm)=荷重98(kPa)での厚
み(μm)、d20(μm)=荷重1.96(kPa)で
の厚み(μm))を満たす範囲にある。この不織布は、
例えば、ポリエチレン,ポリプロピレン等のポリオレフ
ィン、ポリエステル、エチレン−酢酸ビニル系共重合
体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等の熱可塑性
樹脂からなるものであってもよく、また、鞘成分がこれ
らの熱可塑性樹脂からなり、芯成分が鞘成分の材料より
融点の高い材料からなるものであってもよい。
は、53mm/秒の流速で空気を透過させたときに生じ
る圧力損失が98〜980pa、粒子径が0.10〜
0.12μmのDOPの捕集効率が99.0%以上(好
ましくは99.9%以上、より好ましくは99.99%
以上)となっている。
0mmの幅ごとに交互に折り返されて波型形状にされエ
アフィルターパックとなる。エアフィルターパックは、
隣接する折り返し部分の間隔が、スペ−サもしくは波型
形状のセパレータにより2〜15mm程度に保たれてい
る。
み立てられてなり、内側のスペースに、エアフィルター
パックが収納される。枠体とエアフィルター濾材とは、
気密性を保持すべく接着剤等によりシールされ、エアフ
ィルターユニットとなる。[エアフィルター濾材の製造
方法]本発明の一実施形態に係るエアフィルター濾材の
製造方法は、前述のエアフィルター濾材を製造するため
の製造方法であり、第1工程と第2工程とを含んでい
る。
第2工程では、非粘着処理を行った加熱ロール(図3の
符号19参照)上で、PTFE多孔膜に不織布を熱融着
ラミネートする。加熱ロールには非粘着性シートが貼り
付けられている。この非粘着性シートは、強化繊維材料
(好ましくはガラス繊維材料)からなるシートに非粘着
性の有機高分子材料(好ましくはフッ素系樹脂材料)を
含浸させてなるものである。
しては、フッ素系樹脂、シリコン系樹脂、オレフィン系
樹脂やそれらの樹脂を含有するゴム、エラストマー等が
ある。また、本実施形態で用いられる強化繊維材料とし
ては、ポリエステル系樹脂、ナイロン系樹脂、アラミド
繊維、ガラス繊維、炭素繊維、セラミック繊維等の繊維
材料がある。
ては、吸引時間を長くしサンプリング空気量を多くして
測定を行った。例えば、吸引時間を10倍にすると、下
流側のカウント粒子数が10倍に上がり、測定感度が1
0倍になった。 [PTFE多孔膜及びエアフィルター濾材の透過率
(%)]PTFE多孔膜及びエアフィルター濾材の透過
率は下式により求めた。 〔数4〕 透過率(%)=100−捕集効率(%) [PTFE多孔膜及びエアフィルター濾材のPF値]PT
FE多孔膜及びエアフィルター濾材のPF1値(Perform
ance Factor)は、PTFE多孔膜及びエアフィルター
濾材の圧力損失及び透過率を下式に代入して求めた。 〔数5〕 PF1値=[-log(透過率(%)/100)/(圧力損失
(Pa)/9.8)]×100 [不織布の見掛け密度]不織布の見掛け密度は下式により
求めた。 〔数6〕 見掛け密度(g/cm3)=目付(g/m2)/ 厚み
(μm) [不織布の圧縮率]不織布の圧縮率は下式により求めた。
ここでは、まず、10cm×10cmの大きさのサンプ
ルを4枚重ねたものに対し、測定機(株式会社興亜商会
社製「加圧式厚さ圧縮測定機」 加圧子としては10m
mφのものを使用)により98kPa及び1.96kP
aの荷重を与え、このときの中心部の厚みの測定値を4
で割った値を1枚当たりの不織布の厚みとし、この測定
を2回行って得られた値の平均値を荷重98kPa及び
1.96kPaでの不織布の厚みとして用いた。 〔数7〕 圧縮率(%)=(d1000(μm)/d20(μm))×10
0 (ここで、d1000(μm)=荷重98(kPa)での厚
み(μm)、d20(μm)=荷重1.96(kPa)で
の厚み(μm)) [エアフィルターユニットの圧力損失(Pa)]図1に示
した装置を用いて、エアフィルターユニットを装着後エ
アフィルター濾材を透過する風速が1.4cm/秒にな
るように調整し、その時のエアフィルターユニット前後
の圧力損失をマノメーターで測定した。 [エアフィルターユニットの捕集効率(%)]図1に示し
た装置を用いて、エアフィルターユニットを装着後エア
フィルター濾材を透過する風速が1.4cm/秒になる
ように調整し、この状態で上流側に粒子径が0.1〜
0.12μmで濃度が1×109/ft3のDOP粒子を流
し、下流側の粒子径0.1〜0.12μmの粒子数をパ
ーティクルカウンターで測定し、上流側と下流側の粒子
の比率を求めた。すなわち、上流の粒子濃度をCi、下
流粒子濃度をCoとしたとき下式により得られる測定エ
アフィルターユニットの捕集効率を求めた。
2,32’はHEPAフィルター、33は試験用粒子導
入管、34,34’は整流板、35は上流側試験用粒子
採取管、36は静圧測定孔、37は供試エアフィルター
ユニット、38は下流側試験用粒子採取管、39は層流
型流量計をそれぞれ示す。 〔数8〕 捕集効率(%)=(1−Co/Ci)×100 [エアフィルターユニットの透過率(%)] エアフィルターユニットの透過率は下式より求めた。 〔数9〕 透過率(%)=100−捕集効率(%) [エアフィルターユニットのPF値] エアフィルターユニットのPF2値(Performance Facto
r)は下式により求めた。 〔数10〕 PF2値=[-log(透過率(%)/100)/(圧力損失(Pa)/9.8)]× 100 [PTFE多孔膜の製造] <参考例> 数平均分子量が620万のPTFEファインパウダー
(ダイキン工業株式会社製「ポリフロンファインパウダ
ーF−104U」)100重量部に、押出し助剤として
炭化水素油(出光石油化学株式会社製「IP-202
8」)28重量部を加えて混合した。
に成形した。この丸棒状成形物を70℃に加熱したカレ
ンダーロールによりフィルム状に形成し、PTFEフィ
ルムを得た。このPTFEフィルムを200℃の熱風乾
燥炉に通して押出し助剤を乾燥除去し、平均厚み200
μm、平均幅155mmのPTFE未焼成フィルムを得
た。
2に示す装置を用いて長手方向に延伸倍率5倍で延伸し
た。未焼成フィルムはロール1にセットし、延伸したフ
ィルムは巻取りロール2に巻き取った。また、延伸温度
は250℃で行った。なお、図2において、3〜5 は
ロール、6,7はヒートロール、8〜12はロールをそ
れぞれ示す。
連続的にクリップで挟むことのできる図3の左半分に示
す装置(テンター)を用いて幅方向に延伸倍率30倍で
延伸し、熱固定を行い、PTFE多孔膜を得た。この時
の延伸温度は290℃、熱固定温度は360℃、また、
延伸速度は330%/秒であった。 [不織布の積層] 以下の実施例1〜4及び比較例1〜4において、参考例
のPTFE多孔膜に対する不織布の積層は、次のように
して行った。
ール22から、また不織布B(加熱ロール19に接する
側の不織布)を巻きだしロール23からそれぞれ巻き出
し、加熱ロール19で上記PTFE延伸膜と熱融着ラミ
ネートした後、巻取りロール21に巻き取った。
きだしロール22に設置されたブレーキ(図示せず)に
より調整し、ここでは、不織布Aの張力を90g/cm
とした。また、ライン速度は10m/分、加熱ロール1
9の温度は160℃であった。そして、加熱ロール19
には、金属ロール面上に、PTFE浸漬ガラスクロステ
ープ(中興化成工業株式会社製「チューコーフローAG
F-400」)を貼り付けることで非粘着処理を施し
た。 <実施例1>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布A,B
を図3に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルタ
ー濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスS0403W
DO」 PET/PE芯/鞘不織布、目付40g/
m2、見掛け密度0.143g/cm3(〔数1〕に目付
け及び見掛け密度を代入したときに右辺の方が大きくな
るもの、以下、ソフトという)、圧縮率70.9%
(〔数2〕に圧縮率及び目付けを代入したときに右辺の
方が大きくなるもの、以下、ソフトという) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスS0403W
DO」 <実施例2>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布A,B
を図3に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルタ
ー濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスS0503W
DO」 PET/PE芯/鞘不織布、目付50g/m2、見掛け
密度0.152g/cm3(ソフト)、圧縮率72.4
%(ソフト) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスS0503W
DO」 <実施例3>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布A,B
を図3に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルタ
ー濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスS0403W
DO」 目付40g/m2、見掛け密度0.143g/cm3(ソ
フト)、圧縮率70.9%(ソフト) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスT0403W
DO」 PET/PE芯/鞘不織布、目付40g/m2、見掛け
密度0.200g/cm3(〔数1〕に見掛け密度及び目
付を代入したときに左辺の方が大きくなるもの、以下、
ハードという)圧縮率75.5%(〔数2〕に圧縮率及び
目付を代入したときに左辺の方が大きくなるもの、以
下、ハードという) <実施例4>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布A,B
を図3に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルタ
ー濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスS0503W
DO」 目付50g/m2、見掛け密度0.152g/cm3(ソ
フト)、圧縮率72.4%(ソフト) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスT0503W
DO」 PET/PE芯/鞘不織布、目付50g/m2、見掛け
密度0.227g/cm3(ハード)、圧縮率77.8%
(ハード) <比較例1>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布A,B
を図3に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルタ
ー濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスT0403W
DO」 目付40g/m2、見掛け密度0.200g/cm3(ハ
ード)、圧縮率75.5%(ハード) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスT0403W
DO」 <比較例2>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布A,B
を図3に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルタ
ー濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスT0503W
DO」 目付50g/m2、見掛け密度0.227g/cm3(ハ
ード)、圧縮率77.8%(ハード) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスT0503W
DO」 <比較例3>参考例 のPTFE多孔膜の両面に、下記の不織布を図3
に示す装置を用いてラミネートし、エアフィルター濾材
を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスT0703W
DO」 PET/PE芯/鞘不織布、目付70g/m2、見掛け
密度0.269g/cm3(ハード)圧縮率84.5%
(ハード) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルフィットE030
3WDO」 目付30g/m2、見掛け密度0.158g/cm3(ハ
ード)圧縮率76.0%(ハード) <比較例4> 図3に示す装置の加熱ロール19に貼り付けたPTFE
含浸ガラスクロスシートを剥がし、加熱ロールに非粘着
処理が施されていないようにしたこと以外は実施例1と
同様にして、下記の不織布をラミネートし、エアフィル
ター濾材を得た。 不織布A:ユニチカ株式会社製「エルベスS0403W
DO」 目付40g/m2、見掛け密度0.143g/cm3(ソ
フト)、圧縮率70.9%(ソフト) 不織布B:ユニチカ株式会社製「エルベスS0403W
DO」 ここで、参考例、実施例1〜4及び比較例1〜4の圧力
損失、捕集効率及びPF1値を表1に示す。
膜の少なくとも片面に柔らかい不織布をラミネートした
濾材では、比較例1〜4の濾材に比べ、参考例からの捕
集効率の低下の程度が小さく、PF1値の低下の程度も
小さく、濾材としては高い性能であることが分かる。ま
た、加熱ロールに非粘着処理を施さずに行った比較例4
では、実施例1と比べて捕集効率の低下の程度が大きく
なっており、このから、非粘着処理を施した加熱ロール
により不織布をラミネートした方が捕集効率の低下の程
度を抑えられるといえる。
の外観が悪く、PTFE多孔膜と不織布Bの間に剥離が
生じている箇所が見られた。 <実施例5> 実施例3で製造したエアフィルター濾材を、レシプロ折
り機で高さ5.5cmにプリーツ加工し、プリーツ後温
度90℃で加熱して折りくせをつけた。この後、プリー
ツされたエアフィルター濾材を一旦開き、ポリアミドホ
ットメルト樹脂製のスペーサーを塗布し、再度プリーツ
状にレシプロ立ち上げ機で立ち上げた後、大きさ58c
m×58cmに切断して、エアフィルターパックを得
た。この時のプリーツ間隔は3.125mm/1プリー
ツであった。
cm×58cm、厚さ6.5cmのアルマイト加工アル
ミニウム製枠を用意し、この枠内にプリーツ加工された
エアフィルターパックを収納し、ウレタン接着剤でエア
フィルターパック周囲とアルミニウム枠とをシールして
エアフィルターユニットを作製した。 <比較例5> 比較例1で製造したエアフィルター濾材を用いたこと以
外は、実施例5と同様にしてエアフィルターユニットを
作製した。
ルターユニットの圧力損失、捕集効率及びPF2値を表
2に示す。
柔らかい不織布をラミネートした濾材を用いてエアフィ
ルターユニットを作製した場合、両面とも硬い不織布を
ラミネートした場合に比べ、高いPF2値が得られるこ
とが分かる。
不織布として柔らかいものを用いているため、ラミネー
ト時等にPTFE多孔膜が不織布から受けるダメージが
低減される。これにより、エアフィルター濾材の圧力損
失の上昇、捕集効率の低下等の程度を抑え、高い性能の
エアフィルター濾材が得られる。
模式図。
置の模式図。
置(左半分)及びPTFEフィルムに通気性支持材料を
ラミネートする装置(右半分)を模式的に示す図。
Claims (7)
- 【請求項1】空気清浄に使用されるエアフィルター濾材
であって、 ポリテトラフルオロエチレンからなる多孔膜と、 前記多孔膜の少なくとも片面に積層される不織布とを備
え、 少なくとも片面側の前記不織布は、見掛け密度が次式: 〔数1〕 見掛け密度(g/cm3)<1.5×(目付(g/m2)
/1000)+0.11を満たす範囲にある、エアフィ
ルター濾材。 - 【請求項2】少なくとも片面側の前記不織布は、圧縮率
が次式: 〔数2〕 圧縮率(%)<0.2×目付(g/m2)+66 圧縮率(%)=(d1000(μm)/d20(μm))×10
0 (ここで、d1000(μm)=荷重98(kPa)での厚
み(μm)、d20(μm)=荷重1.96(kPa)で
の厚み(μm))を満たす範囲にある、請求項1に記載
のエアフィルター濾材。 - 【請求項3】少なくとも片面側の前記不織布は、芯部と
鞘部とを有する芯鞘構造の複合繊維からなり、前記芯部
は前記鞘部の材料より融点が高い材料からなる、請求項
1または2に記載のエアフィルター濾材。 - 【請求項4】請求項1から3のいずれかのエアフィルタ
ー濾材を製造するための製造方法であって、 前記多孔膜を製造する第1工程と、 非粘着処理を行った加熱ロール上で、前記多孔膜に前記
不織布を積層する第2工程と、を含んでいるエアフィル
ター濾材の製造方法。 - 【請求項5】前記加熱ロールには非粘着性シートが貼り
付けられており、 前記非粘着性シートはガラス繊維材料からなるシートに
フッ素系樹脂材料を含浸させてなる、請求項4に記載の
エアフィルター濾材の製造方法。 - 【請求項6】請求項1から3のいずれかに記載のエアフ
ィルター濾材が所定の形状に加工されてなる、エアフィ
ルターパック。 - 【請求項7】請求項6に記載のエアフィルターパック
と、 前記エアフィルターパックが収納される枠体と、を備え
たエアフィルターユニット。
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