JP2012194516A - Colored photosensitive resin composition, patterning process, method for manufacturing color filter, color filter and display device having the same - Google Patents

Colored photosensitive resin composition, patterning process, method for manufacturing color filter, color filter and display device having the same Download PDF

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秀之 中村
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健太 山▲崎▼
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Abstract

【課題】線幅感度が高く、直線性に優れ、現像におけるしわ発生が抑制され、耐熱性に優れた硬化膜が形成され、ポストベーク後の輝度低下が小さいパターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】(A)着色剤、(B)分子内にアリルメタクリレート化合物からなる構造単位、及びN位−置換マレイミド基を有するアクリレート化合物構造単位から選択される構造単位を含むバインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)チオフェンを含むカルバゾール構造を有するオキシム化合物からなる光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、(D)光重合開始剤の含有量が、5質量%〜15質量%である着色感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Colored photosensitive resin capable of forming a pattern having high line width sensitivity, excellent linearity, suppressing generation of wrinkles in development, forming a cured film excellent in heat resistance, and having a small luminance decrease after post-baking Provision of the composition.
A binder resin comprising a structural unit selected from (A) a colorant, (B) a structural unit composed of an allyl methacrylate compound in the molecule, and an acrylate compound structural unit having an N-substituted maleimide group, (C A) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator comprising an oxime compound having a carbazole structure containing thiophene, and (E) a solvent, wherein (D) the content of the photopolymerization initiator is 5% by mass to 15%. A colored photosensitive resin composition having a mass%.
[Selection figure] None

Description

本発明は、着色感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ及びそれを備えた表示装置に関する。   The present invention relates to a colored photosensitive resin composition, a pattern forming method, a color filter manufacturing method, a color filter, and a display device including the same.

近年、液晶表示装置の開発は、画面が比較的小面積であるパソコン、モニターの用途から、画面が大型でしかも高度な画質が求められるテレビ用途にも展開されている。
テレビ用途では、従来のモニター用途に比べて、より高度な画質、すなわち、コントラスト、及び色純度の向上が求められている。コントラスト向上のために、カラーフィルタの形成に用いる着色感光性樹脂組成物に使用する着色剤(有機顔料等)の粒子サイズが、より微小なものが求められている。また、色純度向上のため、該着色感光性樹脂組成物の固形分中に占める着色剤(有機顔料)の含有率としては、より高いものが求められている。
In recent years, the development of liquid crystal display devices has been expanded from the use of personal computers and monitors having a relatively small screen to the use of televisions requiring a large screen and high image quality.
In television applications, higher image quality, that is, improvement in contrast and color purity is required compared to conventional monitor applications. In order to improve contrast, a finer particle size of a colorant (such as an organic pigment) used in a colored photosensitive resin composition used for forming a color filter is required. Moreover, the higher thing is calculated | required as content rate of the coloring agent (organic pigment) which occupies in solid content of this colored photosensitive resin composition for color purity improvement.

上記のような要求に対して、顔料の粒子径をより微細化すると共に、分散性のより高い顔料分散組成物が必要とされる。顔料の分散性を高めるためには、通常、例えばフタロシアニン顔料の表面を、その誘導体化合物で改質しており、改質された表面に吸着しやすい極性官能基を有する低分子量の樹脂などの分散剤を用いて、顔料の分散性および分散安定性を図りつつ、顔料、表面改質剤、分散剤を含む顔料分散組成物を得ている。そして、得られた顔料分散組成物に、更にアルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及びその他成分を添加して感光性組成物とし、これを用いてフォトリソ法などによりカラーフィルタを得ている。   In response to the above requirements, a pigment dispersion composition having a finer particle diameter and higher dispersibility is required. In order to increase the dispersibility of the pigment, for example, the surface of a phthalocyanine pigment is usually modified with a derivative compound thereof, and dispersion of a low molecular weight resin having a polar functional group that is easily adsorbed on the modified surface A pigment dispersion composition containing a pigment, a surface modifier, and a dispersant is obtained using the agent while achieving dispersibility and dispersion stability of the pigment. Further, an alkali-soluble resin, a photopolymerizable compound, a photopolymerization initiator, and other components are further added to the obtained pigment dispersion composition to form a photosensitive composition, and a color filter is obtained by using this to obtain a color filter. ing.

顔料が微細化し、且つ顔料の含有率が高くなると、フォトリソ法で画像パターンを形成したとき、線幅感度が低くなる(線幅が細くなる)などの問題があった。TV用途では特に安価にカラーフィルタを提供することが求められているが、上記した現像工程を中心とした問題は、露光工程において露光量を上げる、即ち露光時間を長くする必要性が生じた。このことにより歩留まりを下げ、生産性を悪化させるので改良が求められていた。
上記の問題点を解決するため、カラーフィルタ用の感光性樹脂組成物に用いる光重合開始剤の改良により線幅感度を向上させる試みが数多く提案されている。例えば、特定の構造のトリアジン系化合物を使用した光重合性組成物(例えば、特許文献1参照。)や、ベンゾフェノン系化合物、アセトフェノン系化合物、チオキサントン系化合物を1つ又は2つ以上混合使用したカラーフィルタ用フォトレジスト(例えば、特許文献2参照。)などが開示されている。
When the pigment becomes finer and the pigment content becomes high, there is a problem that when the image pattern is formed by the photolithography method, the line width sensitivity is lowered (the line width is reduced). In TV applications, it is demanded to provide a color filter at a particularly low cost. However, the above-described problem centering on the development process requires that the exposure amount be increased in the exposure process, that is, the exposure time must be increased. As a result, the yield is lowered and the productivity is deteriorated, so improvement has been demanded.
In order to solve the above problems, many attempts have been made to improve the line width sensitivity by improving the photopolymerization initiator used in the photosensitive resin composition for color filters. For example, a photopolymerizable composition using a triazine compound having a specific structure (for example, see Patent Document 1), a color using one or a mixture of two or more benzophenone compounds, acetophenone compounds, and thioxanthone compounds. A filter photoresist (for example, see Patent Document 2) is disclosed.

また、他の提案として、着色感光性樹脂組成物中のバインダー樹脂と重合性化合物とを合計してなる有機化合物における平均二重結合当量を規定し、さらにバインダー樹脂の分子量を特定することで、焼成により順テーパ形状を形成する技術が開示されている(特許文献3参照。)。
さらに、紫外光レーザーによる露光用の着色感光性樹脂組成物ではないが、アリル基を含むバインダー樹脂を用いることによって、高感度で現像ラチチュードの広い着色樹脂組成物を調製することが提案されている(例えば、特許文献4、5参照。)。また、N−フェニルマレイミド共重合体をバインダー樹脂に用いることによって、色再現の良好な青色カラーフィルタ用感放射線性組成物を提供するが提案されている(例えば、特許文献6参照。)しかしながら、これらの技術では紫外光レーザーによる露光工程、現像工程での生産性が劣り、十分な生産性を確保できず、従ってカラーフィルタの価格を低減できないものであった。
As another proposal, by defining the average double bond equivalent in the organic compound formed by summing up the binder resin and the polymerizable compound in the colored photosensitive resin composition, and further specifying the molecular weight of the binder resin, A technique for forming a forward tapered shape by firing has been disclosed (see Patent Document 3).
Further, although it is not a colored photosensitive resin composition for exposure with an ultraviolet laser, it has been proposed to prepare a colored resin composition with high sensitivity and wide development latitude by using a binder resin containing an allyl group. (For example, refer to Patent Documents 4 and 5.) It has also been proposed to use a N-phenylmaleimide copolymer as a binder resin to provide a radiation-sensitive composition for blue color filters with good color reproduction (see, for example, Patent Document 6). These techniques are inferior in productivity in an exposure process and a development process using an ultraviolet laser, and cannot ensure sufficient productivity, and therefore cannot reduce the price of the color filter.

露光工程、現像工程の生産性を上げるために、レーザー光で露光し、パターン成形することが提案されている(例えば、特許文献7参照。)。レーザーは通常用いられている水銀ランプと異なり、直進性が高く、出力も大きく、また焦点を絞ることも可能であり、露光工程でのパターン形成のマスクが不要であるという特徴を持つものとして期待されている。しかしながら、上記した先行技術をもってしても、現像工程で画素表面が粗くなったり、パターンの線幅感度が十分でなかったり等、着色感光性樹脂組成物に要求される特性を満足するものではなかった。また、カラーフィルタのトータルとしてのコストを下げるという点で、露光装置としては、大きなフォトマスクを使用しないものが提案されている。(例えば、特許文献8、9参照。)。しかし、具体的な材料の提示はなく、それらの装置に適合した材料の提案が望まれていた。   In order to increase the productivity of the exposure process and the development process, it has been proposed to perform pattern formation by exposing with a laser beam (see, for example, Patent Document 7). Unlike mercury lamps that are normally used, lasers are expected to have characteristics that they have high linearity, high output, can be focused, and do not require a mask for pattern formation in the exposure process. Has been. However, even with the above-described prior art, it does not satisfy the characteristics required for the colored photosensitive resin composition, such as a roughened pixel surface in the development process or insufficient line width sensitivity of the pattern. It was. Also, an exposure apparatus that does not use a large photomask has been proposed in terms of reducing the total cost of the color filter. (For example, refer to Patent Documents 8 and 9.) However, no specific material has been presented, and a proposal of a material suitable for these devices has been desired.

また、青色の着色感光性樹脂組成物に於いては、露光領域に青色の着色剤自身の吸収が強く、高感度の開始剤が望まれていた。このような開始剤としてはオキシム系開始剤やケトオキシム系開始剤の使用が考えられるが、開始剤起因の着色によるポストベーク後の輝度低下が大きく、ポストベークを行っても着色を生じない開始剤が要望されていた。   Moreover, in the blue colored photosensitive resin composition, the blue colorant itself has strong absorption in the exposed region, and a highly sensitive initiator has been desired. As such an initiator, use of an oxime-based initiator or a ketoxime-based initiator can be considered, but an initiator that does not cause coloration even after post-baking due to a large decrease in luminance after post-baking due to coloring caused by the initiator. Was requested.

特開平6−289611号公報JP-A-6-289611 特開平9−80225号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-80225 特開2007−93811号公報JP 2007-93811 A 特開平10−20496号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-20296 国際公開2007/29871号パンフレットInternational Publication No. 2007/29871 Pamphlet 特許第3632532号公報Japanese Patent No. 3632532 特開2003−287614号公報JP 2003-287614 A 特開2008−76709号公報JP 2008-76709 A 特開2008−51866号公報JP 2008-51866 A

本発明は、線幅感度が高く、現像におけるレチキュレーション(しわ)発生が生じにくく、硬化した膜は耐熱性に優れ、ポストベーク後の輝度低下が小さく、直線性に優れた着色パターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物、特に、カラーフィルタの着色画素などの形成に好適な紫外光レーザー露光用着色感光性樹脂組成物を提供することを課題とする。
本発明のさらなる課題は、該着色感光性樹脂組成物を用いた、形状と輝度に優れた着色パターンが形成されるパターン形成方法、およびカラーフィルタの製造方法、さらには、パターン形状と輝度が良好な着色パターンを有するカラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた表示装置を提供することにある。
The present invention has a high line width sensitivity, is unlikely to generate reticulation (wrinkle) in development, the cured film has excellent heat resistance, a small luminance drop after post-baking, and forms a colored pattern with excellent linearity It is an object of the present invention to provide a colored photosensitive resin composition for ultraviolet light laser exposure that is suitable for forming a colored photosensitive resin composition, particularly a colored pixel of a color filter.
A further object of the present invention is to provide a pattern forming method for forming a colored pattern excellent in shape and brightness, a method for producing a color filter, and a good pattern shape and brightness using the colored photosensitive resin composition. Another object of the present invention is to provide a color filter having an appropriate coloring pattern and a display device including the color filter.

本発明者は鋭意検討した結果、以下の方法によって、上記課題を解決することを見出した。   As a result of intensive studies, the present inventor has found that the above problems can be solved by the following method.

<1> 少なくとも、(A)着色剤、(B)分子内に(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)下記一般式(III)で表される光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、前記(D)光重合開始剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して5質量%〜15質量%である着色感光性樹脂組成物。 <1> At least (A) a colorant, (B) (B-1) a structural unit represented by the following general formula (I) in the molecule, (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group And (B-3) a binder resin containing at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (II), (C) a polymerizable compound, (D) the following general formula It contains a photopolymerization initiator represented by (III) and (E) a solvent, and the content of the (D) photopolymerization initiator is from 5% by mass to the total solid content of the colored photosensitive resin composition. The colored photosensitive resin composition which is 15 mass%.

一般式(I)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基、又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。 In general formula (I), R 11 to R 15 each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group, or an aryl group, and R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(II)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に炭素数4以下のアルキル基であるか、いずれか一方が水素原子で他方が炭素数4以下のアルキル基であるか、又は、R23及びR24が互いに結合して炭素環を形成する基を表す。 In General Formula (II), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 are each independently an alkyl group having 4 or less carbon atoms, either one is a hydrogen atom and the other is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, or R 23 and R 24 are A group that forms a carbocycle by bonding.

一般式(III)中、X、X、及びXはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Rは−R、−OR、−COR、−SR、−CONRR’、又は−CNを表し、R及びRはそれぞれ独立に、−R、−OR、−COR、−SR、又は−NRR’を表す。R及びR’は、それぞれ独立に、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又は、複素環基を表し、これらの基は、ハロゲン原子及び複素環基からなる群より選択される1以上で置換されていてもよく、該アルキル基、及びアラルキル基におけるアルキル鎖を構成する炭素原子の1以上が、不飽和結合、エーテル結合、又はエステル結合に置き換わっていてもよく、R及びR’は互いに結合して環を形成していてもよい。 In the general formula (III), X 1 , X 2 , and X 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group, and R 1 represents —R, —OR, —COR, —SR, —CONRR 'Or -CN, and R 2 and R 3 each independently represent -R, -OR, -COR, -SR, or -NRR'. R and R ′ each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, or a heterocyclic group, and these groups are substituted with one or more selected from the group consisting of a halogen atom and a heterocyclic group. And one or more carbon atoms constituting the alkyl chain in the alkyl group and the aralkyl group may be replaced with an unsaturated bond, an ether bond, or an ester bond, and R and R ′ are bonded to each other. May form a ring.

<2> さらに、(F)多官能チオール化合物から選ばれる増感剤を含む<1>に記載の着色感光性樹脂組成物。
<3> 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に、(B−1)一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を50モル%〜90モル%と、酸性基を有する構造単位と、を含み、重量平均分子量が10000〜100000の範囲にある樹脂である<1>又は<2>に記載の着色感光性樹脂組成物。
<4> 紫外光レーザー露光用である<1>〜<3>のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。
<2> The colored photosensitive resin composition according to <1>, further comprising (F) a sensitizer selected from polyfunctional thiol compounds.
<3> The (B) binder resin has (B-1) a structural unit represented by the general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group in the molecule, and ( B-3) 50 mol% to 90 mol% of at least one structural unit selected from the group consisting of the structural unit represented by the general formula (II) and a structural unit having an acidic group, and weight The colored photosensitive resin composition according to <1> or <2>, which is a resin having an average molecular weight in the range of 10,000 to 100,000.
<4> The colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <3>, which is for ultraviolet laser exposure.

<5> <1>〜<4>のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様に紫外光レーザーによる露光を行い、露光部を硬化させる露光工程と、前着色層の未硬化部を現像により除去してパターンを形成する現像工程と、を含むパターン形成方法。
<6> 前記紫外光レーザーの露光波長が300nm〜380nmの範囲である<5>に記載のパターン形成方法。
<5> A colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition according to any one of <1> to <4> onto a substrate, and a pattern pattern with respect to the colored layer A pattern forming method comprising: an exposure step of performing exposure with an ultraviolet light laser to cure the exposed portion; and a developing step of removing the uncured portion of the pre-colored layer by development to form a pattern.
<6> The pattern forming method according to <5>, wherein an exposure wavelength of the ultraviolet laser is in a range of 300 nm to 380 nm.

<7> 前記紫外光レーザーが20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーである<5>又は<6>に記載のパターン形成方法。
<8> <5>〜<7>のいずれか1項に記載のパターン形成方法により、基板上に着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。
<9> <8>に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタ。
<10> <9>に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。
<7> The pattern forming method according to <5> or <6>, wherein the ultraviolet laser is a pulsed laser oscillated at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz.
<8> A method for producing a color filter including a step of forming a colored pattern on a substrate by the pattern forming method according to any one of <5> to <7>.
<9> A color filter manufactured by the manufacturing method according to <8>.
<10> A display device comprising the color filter according to <9>.

本発明によれば、線幅感度が高く、現像におけるレチキュレーション(しわ)発生が生じにくく、硬化した膜は耐熱性に優れ、ポストベーク後の輝度低下が小さく、直線性に優れた着色パターンを形成しうる着色感光性樹脂組成物、特に、カラーフィルタの着色画素などの形成に好適な紫外光レーザー露光用着色感光性樹脂組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、該着色感光性樹脂組成物を用いた、形状と輝度に優れた着色パターンが形成されるパターン形成方法、およびカラーフィルタの製造方法、さらには、パターン形状と輝度が良好な着色パターンを有するカラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた表示装置を提供することができる。
According to the present invention, a colored pattern having high line width sensitivity, hardly causing reticulation (wrinkle) in development, excellent heat resistance, small luminance decrease after post-baking, and excellent linearity. It is possible to provide a colored photosensitive resin composition capable of forming a color photosensitive resin composition, particularly a colored photosensitive resin composition for ultraviolet laser exposure suitable for forming colored pixels of a color filter.
Further, according to the present invention, a pattern forming method for forming a colored pattern excellent in shape and brightness, a method for producing a color filter, and a pattern shape and brightness using the colored photosensitive resin composition are provided. A color filter having a good coloring pattern and a display device including the color filter can be provided.

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。
≪着色感光性樹脂組成物≫
本発明の着色感光性樹脂組成物は、少なくとも、(A)着色剤、(B)分子内に(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂(以下、適宜「(B)バインダー樹脂」と称する。)、(C)重合性化合物、(D)下記一般式(III)で表される光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、前記(D)光重合開始剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して5質量%〜15質量%であることを特徴とする。
以下に本発明の着色感光性樹脂組成物の各構成成分について詳述する。
Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail.
≪Colored photosensitive resin composition≫
The colored photosensitive resin composition of the present invention comprises at least (A) a colorant, (B) (B-1) a structural unit represented by the following general formula (I) in the molecule, and (B-2) N-position. -Binder resin containing a structural unit having a substituted maleimide group and (B-3) at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (II) (hereinafter referred to as “( B) binder resin ”), (C) a polymerizable compound, (D) a photopolymerization initiator represented by the following general formula (III), and (E) a solvent. The content of the initiator is 5% by mass to 15% by mass with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition.
Hereinafter, each component of the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail.

<(A)着色剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(A)着色剤の少なくとも1種を含む。
本発明の着色感光性樹脂組成物における(A)着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で15質量%〜60質量%である。(A)着色剤の含有量が、15質量%未満であると、所望の色相にするためには膜厚を厚く設定しなければならず、現像しにくくなったり、タクトタイムが延びてしまったりといった問題が生じる。一方、(A)着色剤の含有量が、60質量%を超えると、現像時間が長くなり、また、プロファイル形状も逆エッジ形状となり好ましくない。
本発明における着色感光性樹脂組成物の固形分とは、着色感光性樹脂組成物の構成成分の1つである(E)溶剤を除いた、着色感光性樹脂組成物の全成分の合計含有量を指す。
本発明における着色感光性樹脂組成物の「固形分」とは、着色感光性樹脂組成物を用いて厚さ2.0μmの塗膜を形成し、150℃で60分間乾燥して得られた硬化膜中に残存する成分を意味し、本発明の着色感光性樹脂組成物では、(E)溶剤を除いた着色感光性樹脂組成物の全成分を包含する。
本発明の着色感光性樹脂組成物における(A)着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して20質量%〜50質量%がより好ましく、25質量%〜40質量%がさらに好ましい。
<(A) Colorant>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (A) at least one kind of colorant.
The content of the (A) colorant in the colored photosensitive resin composition of the present invention is 15% by mass to 60% by mass with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. (A) If the content of the colorant is less than 15% by mass, it is necessary to set the film thickness thick in order to obtain a desired hue, which makes it difficult to develop and increases the tact time. Problems arise. On the other hand, when the content of the colorant (A) exceeds 60% by mass, the development time becomes long, and the profile shape becomes an inverted edge shape, which is not preferable.
The solid content of the colored photosensitive resin composition in the present invention is the total content of all components of the colored photosensitive resin composition excluding the solvent (E), which is one of the components of the colored photosensitive resin composition. Point to.
The “solid content” of the colored photosensitive resin composition in the present invention is a curing obtained by forming a coating film having a thickness of 2.0 μm using the colored photosensitive resin composition and drying at 150 ° C. for 60 minutes. It means the components remaining in the film, and the colored photosensitive resin composition of the present invention includes (E) all components of the colored photosensitive resin composition excluding the solvent.
The content of the colorant (A) in the colored photosensitive resin composition of the present invention is more preferably 20% by mass to 50% by mass with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition, and 25% by mass to 40% by mass. % Is more preferable.

(A)着色剤としては、染料、及び顔料を適宜選択して用いることができる。耐熱性などの観点からは、顔料がより好ましい。   As the colorant (A), a dye and a pigment can be appropriately selected and used. From the viewpoint of heat resistance and the like, a pigment is more preferable.

(A)着色剤として使用される顔料は、無機顔料であっても、有機顔料であってもよいが、高透過率とする観点から、なるべく粒子サイズの小さいものの使用が好ましい。顔料の一次粒子径の平均は、0.01μm〜0.1μmであることが好ましく、さらに好ましくは、0.01μm〜0.05μmの範囲である。
本発明の着色感光性樹脂組成物においては、後述する高分子分散剤を用いることで、顔料のサイズが小さい場合であっても、顔料分散性、分散安定性が良好となるため、膜厚が薄くても色純度に優れる着色画素を形成しうる。
(A) The pigment used as the colorant may be an inorganic pigment or an organic pigment, but from the viewpoint of high transmittance, it is preferable to use a pigment having a particle size as small as possible. The average primary particle diameter of the pigment is preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and more preferably 0.01 μm to 0.05 μm.
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, by using the polymer dispersant described later, the pigment dispersibility and dispersion stability are improved even when the pigment size is small. Even if it is thin, a colored pixel having excellent color purity can be formed.

さらに、本発明においては、着色感光性樹脂組成物に含有される顔料のうち、一次粒子径が0.02μm未満である顔料の割合が、該顔料の全量中、10%未満であり、かつ、一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合が、該顔料の全量中、5%未満であることが好ましい。   Furthermore, in the present invention, among the pigments contained in the colored photosensitive resin composition, the proportion of the pigment having a primary particle size of less than 0.02 μm is less than 10% in the total amount of the pigment, and The proportion of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is preferably less than 5% in the total amount of the pigment.

一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合が、10%未満であることで、耐熱性、色度変化を防止することができ、一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合が、5%未満であることで、コントラストがよく、着色感光性樹脂組成物の経時安定性がよく、さらには異物故障を防止することができる。
一次粒子径が0.02μm未満の顔料の割合は、耐熱性、及び色度変化防止の観点から、5%未満であることがより好ましい。
一次粒子径が0.08μmを超える顔料の割合は、コントラストをよくする観点から、3%未満であることが好ましい。
When the ratio of the pigment having a primary particle diameter of less than 0.02 μm is less than 10%, the heat resistance and chromaticity change can be prevented, and the ratio of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is 5 When it is less than%, the contrast is good, the time-dependent stability of the colored photosensitive resin composition is good, and further, foreign matter failure can be prevented.
The proportion of the pigment having a primary particle size of less than 0.02 μm is more preferably less than 5% from the viewpoints of heat resistance and chromaticity change prevention.
The proportion of the pigment having a primary particle diameter exceeding 0.08 μm is preferably less than 3% from the viewpoint of improving contrast.

顔料の一次粒子径は、TEM(transmission electron microscope:透過型電子顕微鏡)を用いて測定することができる。すなわち、TEM写真を画像解析して粒径分布を調べることにより行なう。例えば3万倍〜10万倍での観察試料中の全粒子数と、0.02μm未満、及び0.08μmを超える顔料の粒子数を計測することで粒度分布を把握できる。より具体的には、顔料粉体を透過型電子顕微鏡で3万倍〜10万倍で観察し、写真を撮り、1000個の一次粒子の長径を測定し、粒子径が0.02μm未満である一次粒子、及び粒子径が0.08μmを超える一次粒子の割合を算出する。この操作を顔料粉体の部位を変えて合計で3箇所について行い、結果を平均する。   The primary particle diameter of the pigment can be measured using a TEM (transmission electron microscope). That is, the TEM photograph is subjected to image analysis to examine the particle size distribution. For example, the particle size distribution can be grasped by measuring the total number of particles in the observation sample at 30,000 times to 100,000 times and the number of pigment particles less than 0.02 μm and more than 0.08 μm. More specifically, the pigment powder is observed with a transmission electron microscope at a magnification of 30,000 to 100,000, a photograph is taken, the major axis of 1000 primary particles is measured, and the particle size is less than 0.02 μm. The ratio of primary particles and primary particles having a particle diameter exceeding 0.08 μm is calculated. This operation is performed for a total of three locations by changing the location of the pigment powder, and the results are averaged.

(A)着色剤として用いうる無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で表される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物等を挙げることができる。   (A) Examples of inorganic pigments that can be used as a colorant include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium And metal oxides such as magnesium, chromium, zinc, and antimony, and composite oxides of the above metals.

前記有機顔料としては、例えば、
C.I.Pigment Red 1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279、
Examples of the organic pigment include:
C. I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279,

C.I.Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214   C. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 17 4, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214

C.I.Pigment Orange 2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73、
C.I. Pigment Green 7、10、36、37
C.I.Pigment Blue 1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、79のCl置換基をOHに変更したもの、80、
C.I.Pigment Violet 1、19、23、27、32、37、42、
C.I.Pigment Brown 25、28等を挙げることができる。
C. I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73,
C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 79 Cl substituent was changed to OH Stuff, 80,
C. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42,
C. I. Pigment Brown 25, 28 and the like.

これらの中で好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
C.I.Pigment Yellow 11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185、
C.I.Pigment Orange 36、71、
C.I.Pigment Red 122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264、
C.I.Pigment Violet 19、23、32
C.I.Pigment Blue 15:1、15:3、15:6、16、22、60、66、
C.I.Pigment Green 7、36、37。
Among these, the pigments that can be preferably used include the following. However, the present invention is not limited to these.
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C. I. Pigment Orange 36, 71,
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
C. I. Pigment Green 7, 36, 37.

これら有機顔料は、単独で、若しくは、色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色層(R)用の顔料としては、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系の各顔料単独であるか、或いは、前記各顔料の少なくとも1種とジスアゾ系顔料、イソインドリン系顔料、キノフタロン系顔料等の黄色顔料との混合、又はアントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料の少なくとも1種とペリレン系顔料、アントラキノン系顔料、縮合ジス系顔料、ジケトピロロピロール系顔料等の赤色顔料との混合、などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド155、C.I.ピグメント・レッド224、が挙げられ、縮合ジス系赤色顔料としてはC.I.ピグメント・レッド242が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメント・レッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメント・レッド254とC.I.ピグメント・イエロー139又はC.I.ピグメント・レッド177との混合が好ましい。
また、赤色顔料と他顔料との質量比(赤色顔料:他顔料)は、100:5〜100:80が好ましい。100:4以下では400nmから500nmの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることが出来ない場合がある。また100:81以上では発色力が下がる場合がある。特に、上記質量比としては、100:10〜100:65の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of combinations are shown below.
For example, the pigment for the red layer (R) may be an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment alone, or at least one of the pigments and a disazo pigment, isoindoline. Pigments, mixed with yellow pigments such as quinophthalone pigments, or at least one of anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments and perylene pigments, anthraquinone pigments, condensed dis pigments, diketopyrrolo A mixture with a red pigment such as a pyrrole pigment can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and condensed condensed red pigments include C.I. I. Pigment red 242, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment Red 254, and C.I. I. Pigment red 254 and C.I. I. Pigment yellow 139 or C.I. I. Mixing with Pigment Red 177 is preferred.
The mass ratio of red pigment to other pigment (red pigment: other pigment) is preferably 100: 5 to 100: 80. If it is 100: 4 or less, it may be difficult to suppress the light transmittance from 400 nm to 500 nm, and the color purity may not be improved. Further, when the ratio is 100: 81 or more, the coloring power may decrease. Particularly, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 65. In addition, in the case of the combination of red pigments, it can adjust according to chromaticity.

また、緑色層(G)用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又は、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメント・グリーン7、36、37、58とC.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー180又はC.I.ピグメント・イエロー185との混合が好ましい。
緑色顔料と黄色顔料との質量比(緑色顔料:黄色顔料)は、十分な色純度を得ること、及びNTSC目標色相からのずれを抑制する観点から、100:5〜100:150が好ましく、10:30〜100:120の範囲が特に好ましい。
In addition, as the pigment for the green layer (G), a halogenated phthalocyanine pigment alone or a mixture thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment may be used. Can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37, 58 and C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred.
The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment (green pigment: yellow pigment) is preferably 100: 5 to 100: 150 from the viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing deviation from the NTSC target hue. : The range of 30-100: 120 is especially preferable.

青色層(B)用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、C.I.ピグメント・ブルー15:6とC.I.ピグメント・バイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比(青色顔料:紫色顔料)は、100:0〜100:50が好ましく、より好ましくは100:5〜100:30である。
本発明の着色感光性組成物は、特に青色の着色感光性組成物に適用した時に、着色層が加熱されても黄色に着色しないので効果的である。
As the pigment for the blue layer (B), a phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture thereof with a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of blue pigment to purple pigment (blue pigment: purple pigment) is preferably 100: 0 to 100: 50, more preferably 100: 5 to 100: 30.
The colored photosensitive composition of the present invention is effective because it is not colored yellow even when the colored layer is heated, particularly when applied to a blue colored photosensitive composition.

本発明では特に着色剤として有機顔料を用い、且つ顔料の微細化工程あるいは分散工程で、顔料を高分子化合物で被覆したものを用いることが好ましい。顔料を高分子化合物で被覆することによって微細化された顔料においても、2次凝集体の形成が抑制され、1次粒子の状態で分散させることができる分散性が向上された被覆顔料、分散させた1次粒子が安定的に維持される分散安定性に優れた被覆顔料を用いることがより好ましい。   In the present invention, it is particularly preferable to use an organic pigment as a colorant and to coat the pigment with a polymer compound in the pigment miniaturization step or dispersion step. Even in pigments refined by coating the pigment with a polymer compound, the formation of secondary aggregates is suppressed, and the coated pigment with improved dispersibility that can be dispersed in the form of primary particles It is more preferable to use a coating pigment excellent in dispersion stability in which primary particles are stably maintained.

本発明で好適な態様である被覆顔料とは、高分子化合物で顔料が被覆されたものであるが、被覆とは微細化で生じた表面活性の高い顔料の新界面が、高分子化合物との強い静電的作用によって、該高分子化合物の強固な被覆層を形成するため、より高い分散安定性を有する被覆顔料が得られるものと考えられる。即ち、本発明においては、被覆処理後の顔料は、高分子化合物を溶解する有機溶剤で洗浄しても、被覆した高分子化合物はほとんど遊離しない。   The coated pigment, which is a preferred embodiment in the present invention, is a pigment coated with a polymer compound. However, the coating is a new surface of a pigment having high surface activity generated by miniaturization. Since a strong coating layer of the polymer compound is formed by a strong electrostatic action, it is considered that a coated pigment having higher dispersion stability can be obtained. That is, in the present invention, the coated polymer compound is hardly released even when the pigment after coating treatment is washed with an organic solvent that dissolves the polymer compound.

本発明でいう被覆顔料は、有機顔料などの顔料粒子が側鎖に複素環等の極性基を有する高分子化合物で被覆されているものであり、該高分子化合物が顔料粒子表面の一部或いは全部に強固に被覆されることでより高い分散安定性の効果を奏するものであり、一般的な高分子分散剤が顔料に吸着してなるものとは異なるものである。この被覆状態は以下に示す有機溶剤による洗浄で高分子化合物の遊離量(遊離率)を測定することにより確認できる。即ち、単に吸着してなる高分子化合物は有機溶剤による洗浄によりそのほとんど、具体的には、65%以上が遊離、除去されるが、本発明の如く表面被覆された顔料の場合には遊離率は極めて少なく、30%以下である。   The coated pigment as used in the present invention is one in which pigment particles such as organic pigments are coated with a polymer compound having a polar group such as a heterocyclic ring in the side chain, and the polymer compound is a part of the pigment particle surface or By being firmly coated all over, a higher dispersion stability effect can be obtained, which is different from that obtained by adsorbing a general polymer dispersant to a pigment. This covering state can be confirmed by measuring the free amount (release rate) of the polymer compound by washing with an organic solvent described below. That is, most of the polymer compound simply adsorbed is washed and washed with an organic solvent, specifically, 65% or more is liberated and removed. In the case of a surface-coated pigment as in the present invention, the liberation rate Is very small, 30% or less.

前記遊離量(遊離率)は、被覆処理後の顔料を1−メトキシ−2−プロパノールで洗浄して、算出する。即ち、顔料10gを1−メトキシ−2−プロパノール100ml中に投入し、振とう機を用いて室温で3時間振とうさせ、その後遠心分離機で80,000rpmで8時間かけて顔料を沈降させ、上澄み液部分の固形分の質量を乾燥法により求める。この固形分の質量と、顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量との比から、遊離率(%)を算出する。   The release amount (release rate) is calculated by washing the coated pigment with 1-methoxy-2-propanol. That is, 10 g of the pigment was put into 100 ml of 1-methoxy-2-propanol, shaken at room temperature for 3 hours using a shaker, and then the pigment was allowed to settle for 8 hours at 80,000 rpm with a centrifuge. The mass of the solid content of the supernatant is determined by a drying method. The liberation rate (%) is calculated from the ratio between the mass of the solid content and the mass of the polymer compound used for the coating of the pigment.

市販等の顔料についての前記遊離量(遊離率)は、以下の方法で測定できる。即ち、顔料を溶解する溶剤(例えばジメチルスルホキシド、ジメチルホルムアミド、蟻酸、硫酸など)で、顔料全体を溶解した後に、高分子化合物と顔料とに、溶解性の差を利用して有機溶剤で分離して、「顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量」として算出する。別途、顔料を1−メトキシ−2−プロパノールで洗浄して、得られた上記の遊離量を、この「顔料の被覆の処理に使用した高分子化合物の質量」で除して遊離率(%)を求める。
遊離率は小さいほど顔料への被覆率が高く、分散性、分散安定性が良好である。遊離率の好ましい範囲は30%以下、より好ましくは20%以下、最も好ましくは15%以下である。理想的には0%である。
The said free amount (free rate) about commercially available pigments can be measured by the following method. That is, after dissolving the entire pigment with a solvent that dissolves the pigment (for example, dimethyl sulfoxide, dimethylformamide, formic acid, sulfuric acid, etc.), the polymer compound and the pigment are separated by an organic solvent using the difference in solubility. Thus, it is calculated as “mass of the polymer compound used for the coating treatment of the pigment”. Separately, the pigment was washed with 1-methoxy-2-propanol, and the obtained liberation amount was divided by the “mass of the polymer compound used for the pigment coating treatment” to obtain the liberation rate (%). Ask for.
The smaller the liberation rate, the higher the coverage of the pigment, and the better the dispersibility and dispersion stability. A preferable range of the liberation rate is 30% or less, more preferably 20% or less, and most preferably 15% or less. Ideally 0%.

被覆処理は、顔料の微細化工程で同時に行うことが好ましく、具体的には、(i)顔料と、(ii)水溶性の無機塩と、(iii)実質的に(ii)を溶解しない少量の水溶性の有機溶剤、及び(iv)高分子化合物を加え、ニーダー等で機械的に混練して混合物を得る工程(ソルトミリング工程と称する)、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で撹拌しスラリー状とする工程、及び、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥する工程を経て実施される。   The coating treatment is preferably performed at the same time in the step of refining the pigment. Specifically, (i) a pigment, (ii) a water-soluble inorganic salt, and (iii) a small amount that does not substantially dissolve (ii). (Iv) A step of adding a polymer compound and mechanically kneading with a kneader or the like to obtain a mixture (referred to as a salt milling step), throwing the mixture into water, a high speed mixer, etc. It is carried out through a step of stirring to form a slurry, and a step of filtering, washing with water and drying if necessary.

上記したソルトミリングについて、さらに具体的に説明する。まず、(i)有機顔料と(ii)水溶性の無機塩の混合物に、湿潤剤として少量の(iii)水溶性の有機溶剤を加え、ニーダー等で強く練り込んだ後、この混合物を水中に投入し、ハイスピードミキサー等で攪拌しスラリー状とする。次に、このスラリーを濾過、水洗して必要により乾燥することにより、微細化された顔料が得られる。なお、油性のワニスに分散して用いる場合には、乾燥前の処理顔料(濾過ケーキと呼ぶ)を一般にフラッシングと呼ばれる方法で、水を除去しながら油性のワニスに分散することも可能である。また水系のワニスに分散する場合は、処理顔料は乾燥する必要がなく、濾過ケーキをそのままワニスに分散することができる。   The salt milling described above will be described more specifically. First, a small amount of (iii) a water-soluble organic solvent is added as a wetting agent to a mixture of (i) an organic pigment and (ii) a water-soluble inorganic salt, and after kneading strongly with a kneader or the like, this mixture is submerged in water. The mixture is stirred and stirred with a high speed mixer or the like to form a slurry. Next, the slurry is filtered, washed with water, and dried if necessary to obtain a finer pigment. In addition, when using it disperse | distributing to an oil-based varnish, it is also possible to disperse | distribute the process pigment (it is called a filter cake) before drying to an oil-based varnish, removing water by the method generally called flushing. When dispersed in an aqueous varnish, the treated pigment does not need to be dried, and the filter cake can be dispersed in the varnish as it is.

ソルトミリング時に上記(iii)有機溶剤に(iv)少なくとも一部可溶な樹脂(高分子化合物)を併用することにより、さらに微細で、表面が(iv)少なくとも一部可溶な樹脂による被覆された、乾燥時の顔料の凝集が少ないものが得られる。
なお、(iv)高分子化合物を加えるタイミングとしては、ソルトミリング工程の初期にすべてを添加してもよく、分割して添加してもよい。また分散工程で添加することも可能である。
By using (iv) at least partly soluble resin (polymer compound) in combination with (iii) organic solvent during salt milling, the surface is further finely coated with (iv) at least partly soluble resin. In addition, a pigment with little aggregation of the pigment at the time of drying is obtained.
Note that (iv) the timing of adding the polymer compound may be added all at the beginning of the salt milling step, or may be added in divided portions. It is also possible to add in the dispersion step.

顔料の被覆に用いる高分子化合物は顔料への吸着性基を有するものなら何でもよい。特に、側鎖に複素環を有する高分子化合物が好ましい。本発明における後述する(B)バインダー樹脂も顔料の被覆に用いる高分子化合物として好ましいものである。
このような高分子化合物としては、例えば特開2008−83089号公報の段落番号〔0029〕〜〔0030〕、特開2009−62457号公報の段落番号〔0044〕〜〔0047〕に開示されているものが使用できる。
The polymer compound used for coating the pigment may be anything as long as it has an adsorptive group for the pigment. In particular, a polymer compound having a heterocyclic ring in the side chain is preferable. The binder resin (B) described later in the present invention is also preferable as the polymer compound used for coating the pigment.
Examples of such a polymer compound are disclosed in paragraph numbers [0029] to [0030] of JP-A-2008-83089 and paragraph numbers [0044] to [0047] of JP-A-2009-62457. Things can be used.

上記した被覆処理した顔料を用いる場合でも、分散剤の少なくとも1種を使用して顔料を分散し、顔料分散組成物として使用することがさらに好ましい。この分散剤の含有により、顔料の分散性をさらに向上させることができる。
分散剤としては、例えば、公知の顔料分散剤や界面活性剤を適宜選択して用いることができる。
Even in the case of using the above-described coated pigment, it is more preferable to disperse the pigment using at least one dispersant and use it as a pigment dispersion composition. By containing this dispersant, the dispersibility of the pigment can be further improved.
As the dispersant, for example, a known pigment dispersant or surfactant can be appropriately selected and used.

具体的には、多くの種類の化合物を使用可能であり、例えば、オルガノシロキサンポリマーKP341(信越化学工業(株)製)、(メタ)アクリル酸系(共)重合体ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄社化学工業(株)製)、W001(裕商(株)社製)等のカチオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤;W004、W005、W017(裕商(株)社製)等のアニオン系界面活性剤;EFKA−46、EFKA−47、EFKA−47EA、EFKAポリマー100、EFKAポリマー400、EFKAポリマー401、EFKAポリマー450(いずれもチバ・スペシャルテイケミカル社製)、ディスパースエイド6、ディスパースエイド8、ディスパースエイド15、ディスパースエイド9100(いずれもサンノプコ社製)等の高分子分散剤;   Specifically, many kinds of compounds can be used, for example, organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth) acrylic acid (co) polymer polyflow No. 75, No. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Industry Co., Ltd.), W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like; polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether Nonionic surfactants such as polyoxyethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester; W004, W005, W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.) Anionic surfactants such as EFKA 46, EFKA-47, EFKA-47EA, EFKA polymer 100, EFKA polymer 400, EFKA polymer 401, EFKA polymer 450 (all manufactured by Ciba Specialty Chemicals), Disperse Aid 6, Disperse Aid 8, Disperse Aid 15, polymer dispersants such as Disperse Aid 9100 (both manufactured by San Nopco);

ソルスパース3000、5000、9000、12000、13240、13940、17000、24000、26000、28000などの各種ソルスパース分散剤(日本ルーブリゾール(株)製);アデカプルロニックL31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P−123(旭電化(株)製)及びイオネットS−20(三洋化成(株)製)、Disperbyk 101、103、106、108、109、111、112、116、130、140、142、161、162、163、164、166、167、170、171、174、176、180、182、2000、2001、2050、2150(ビックケミー(株)社製)が挙げられる。その他、アクリル系共重合体など、分子末端もしくは側鎖に極性基を有するオリゴマーもしくはポリマーが挙げられる。 Solsperse 3000, 5000, 9000, 12000, 13240, 13940, 17000, 24000, 26000, 28000 and other Solsperse dispersants (manufactured by Nippon Lubrizol Co., Ltd.); Adeka Pluronic L31, F38, L42, L44, L61, L64, F68, L72, P95, F77, P84, F87, P94, L101, P103, F108, L121, manufactured by Asahi Denka Co., Ltd. and Ionette S-20 (manufactured by Sanyo Chemical Co., Ltd.), Disperbyk 101, 103, 106, 108, 109, 111, 112, 116, 130, 140, 142, 161, 162, 163, 164, 166, 167, 170, 171, 174, 176, 180, 182, 2000, 2001, 2050, 2150 (bit Chemie Co., Ltd.) and the like. In addition, an oligomer or polymer having a polar group at the molecular end or side chain, such as an acrylic copolymer.

分散剤の顔料分散組成物中における含有量は、既述の顔料の質量に対して、1〜100質量%が好ましく、3〜70質量%がより好ましい。   The content of the dispersant in the pigment dispersion composition is preferably 1 to 100% by mass and more preferably 3 to 70% by mass with respect to the mass of the pigment described above.

顔料誘導体は、顔料の被覆に用いる高分子化合物の一つであり、必要に応じて顔料分散組成物に添加される。分散剤と親和性のある部分あるいは極性基を導入した顔料誘導体を顔料表面に吸着させ、これを分散剤の吸着点として用いることで、顔料を微細な粒子として感光性樹脂組成物中に分散させ、その再凝集を防止することができ、コントラストが高く、透明性に優れたカラーフィルタを構成するのに有効である。   The pigment derivative is one of polymer compounds used for coating the pigment, and is added to the pigment dispersion composition as necessary. The pigment is introduced into the photosensitive resin composition as fine particles by adsorbing a pigment derivative having a portion having affinity for the dispersant or a polar group to the pigment surface and using it as an adsorption point of the dispersant. The re-aggregation can be prevented, and it is effective for constructing a color filter having high contrast and excellent transparency.

顔料誘導体は、具体的には有機顔料を母体骨格とし、側鎖に酸性基や塩基性基、芳香族基を置換基として導入した化合物である。有機顔料は、具体的には、キナクリドン系顔料、フタロシアニン系顔料、アゾ系顔料、キノフタロン系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノリン顔料、ジケトピロロピロール顔料、ベンゾイミダゾロン顔料等が挙げられる。一般に、色素と呼ばれていないナフタレン系、アントラキノン系、トリアジン系、キノリン系等の淡黄色の芳香族多環化合物も含まれる。色素誘導体としては、例えば、特開平11−49974号公報、特開平11−189732号公報、特開平10−245501号公報、特開2006−265528号公報、特開平8−295810号公報、特開平11−199796号公報、特開2005−234478号公報、特開2003−240938号公報、特開2001−356210号公報等に記載されているものを使用できる。   Specifically, the pigment derivative is a compound in which an organic pigment is used as a base skeleton, and an acidic group, a basic group, or an aromatic group is introduced into a side chain as a substituent. Specific examples of organic pigments include quinacridone pigments, phthalocyanine pigments, azo pigments, quinophthalone pigments, isoindoline pigments, isoindolinone pigments, quinoline pigments, diketopyrrolopyrrole pigments, and benzoimidazolone pigments. Is mentioned. In general, light yellow aromatic polycyclic compounds such as naphthalene series, anthraquinone series, triazine series and quinoline series which are not called pigments are also included. Examples of the dye derivative include JP-A-11-49974, JP-A-11-189732, JP-A-10-245501, JP-A-2006-265528, JP-A-8-295810, and JP-A-11. -199796, JP-A-2005-234478, JP-A-2003-240938, JP-A-2001-356210, etc. can be used.

顔料誘導体の顔料分散組成物中における含有量は、顔料の質量に対して、1質量%〜30質量%が好ましく、3質量%〜20質量%がより好ましい。該含有量が前記範囲内であると、粘度を低く抑えながら、分散を良好に行なえると共に分散後の分散安定性を向上させることができ、透過率が高く優れた色特性が得られ、カラーフィルタを作製するときには良好な色特性を有する高コントラストに構成することができる。   1 mass%-30 mass% are preferable with respect to the mass of a pigment, and, as for content in the pigment dispersion composition of a pigment derivative, 3 mass%-20 mass% are more preferable. When the content is within the above range, the dispersion can be favorably performed while the viscosity is kept low, the dispersion stability after dispersion can be improved, and the color characteristics with high transmittance can be obtained. When producing a filter, it can be configured to have high contrast with good color characteristics.

分散の方法は、例えば、顔料と分散剤を予め混合してホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機等を用いて微分散させることによって行うことができる。   The dispersion method can be performed, for example, by finely dispersing a pigment and a dispersant previously mixed with a homogenizer or the like using a bead disperser using zirconia beads or the like. .

本発明において(A)着色剤として染料を用いる場合は、均一に溶解された着色感光性樹脂組成物が得られる。
(A)着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用途として用いられている公知の染料を使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に記載の色素である。
In the present invention, when a dye is used as the (A) colorant, a uniformly dissolved colored photosensitive resin composition is obtained.
(A) There is no restriction | limiting in particular as dye which can be used as a coloring agent, The well-known dye conventionally used as a color filter use can be used. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-21599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283, JP-A-7-286107, JP 2001-4823, JP-A-8-15522, JP-A-8-29771, JP-A-8-146215, JP-A-11-3434. 7, JP-A-8-62416, JP-A-2002-14220, JP-A-2002-14221, JP-A-2002-14222, JP-A-2002-14223, JP-A-8-302224 JP-A-8-73758, JP-A-8-179120, JP-A-8-151531, and the like.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。   The chemical structure includes pyrazole azo, anilino azo, triphenyl methane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, A dye such as xanthene, phthalocyanine, benzopyran, or indigo can be used.

<(B)分子内に(B−1)一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(B)バインダー樹脂の少なくとも1種を含む。
(B)バインダー樹脂は、分子内に、(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むものである。
<(B) Structural unit represented by (B-1) general formula (I), (B-2) structural unit having N-substituted maleimide group in the molecule, and (B-3) general formula (II) Binder resin containing at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (B) at least one binder resin.
(B) The binder resin contains (B-1) a structural unit represented by the following general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) in the molecule. ) It contains at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (II).

〔(B−1)一般式(I)で表される構造単位〕
以下、下記一般式(I)で表される構造単位を、適宜、「構造単位(B−1)」と称する。
[(B-1) Structural Unit Represented by General Formula (I)]
Hereinafter, the structural unit represented by the following general formula (I) is appropriately referred to as “structural unit (B-1)”.

一般式(I)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。 In the general formula (I), the R 11 to R 15 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group or an aryl group, R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(I)におけるR11〜R15としては、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜12のアルキル基又は炭素数5〜14のアリール基が好ましく、中でも、水素原子、臭素原子、塩素原子、シアノ基、炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数5〜10のアリール基がより好ましい。
前記アルキル基は置換基を有していてもよく、アルキル基としては直鎖、分岐、又は環状であってもよく、炭素数1〜7のアルキル基が挙げられ、メチル基、n−プロピル基、iso-プロピル基、t-ブチル基などが好ましい。
また、前記アリール基は置換基を有していてもよく、置換基としては炭素数1〜7のアルキル基又は炭素数5〜14のアリール基などが挙げられ、好ましくはフェニル基、フリル基、ナフチル基である。
R 11 to R 15 in the general formula (I) are each independently preferably a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an aryl group having 5 to 14 carbon atoms. An atom, a bromine atom, a chlorine atom, a cyano group, an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms, or an aryl group having 5 to 10 carbon atoms is more preferable.
The alkyl group may have a substituent, and the alkyl group may be linear, branched, or cyclic, and examples thereof include an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms, such as a methyl group and an n-propyl group. , Iso-propyl group, t-butyl group and the like are preferable.
The aryl group may have a substituent, and examples of the substituent include an alkyl group having 1 to 7 carbon atoms or an aryl group having 5 to 14 carbon atoms, preferably a phenyl group, a furyl group, Naphthyl group.

これらのうち、一般式(I)として好ましいものは、R11〜R15がそれぞれ独立に水素原子、メチル基、フェニル基又はハロゲン原子で、R16が水素原子又はメチル基のものである。 Of these, preferred as the general formula (I) are those in which R 11 to R 15 are each independently a hydrogen atom, a methyl group, a phenyl group or a halogen atom, and R 16 is a hydrogen atom or a methyl group.

〔(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位〕
以下、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位を、適宜、「構造単位(B−2)」と称する。構造単位(B−2)としては、例えば、下記に示す構造単位が挙げられる。
[(B-2) Structural Unit Having N-Substituted Maleimide Group]
Hereinafter, the structural unit having (B-2) N-substituted maleimide group is appropriately referred to as “structural unit (B-2)”. As a structural unit (B-2), the structural unit shown below is mentioned, for example.

〔(B−3)一般式(II)で表される構造単位〕
以下、下記一般式(II)で表される構造単位を、適宜、「構造単位(B−3)]と称する。
[(B-3) Structural unit represented by general formula (II)]
Hereinafter, the structural unit represented by the following general formula (II) is appropriately referred to as “structural unit (B-3)”.

一般式(II)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数4以下のアルキル基を表す。R23とR24とは互いに結合して炭素環を形成していてもよい。 In General Formula (II), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 4 or less carbon atoms. R 23 and R 24 may be bonded to each other to form a carbocycle.

一般式(II)として好ましいものは、R21が水素原子で、R22がメチレン基又はエチレン基で、R23及びR24が互いに結合して6員環を形成しているものである。 Preferred as the general formula (II) is one in which R 21 is a hydrogen atom, R 22 is a methylene group or an ethylene group, and R 23 and R 24 are bonded to each other to form a 6-membered ring.

(B)バインダー樹脂は、分子内に、構造単位(B−1)、構造単位(B−2)、及び構造単位(B−3)からなる群より選択される構造単位を少なくとも1種有すればよいが、2種以上有してもよい。
前記各構造単位を複数含む場合、構造単位(B−1)と構造単位(B−2)との組み合わせのように、互いに異なる群に属する構造単位同士でもよく、同じ構造単位、例えば、構造単位(B−1)に属する互いに異なる構造単位同士でもよい。
本発明における(B)バインダー樹脂としては、前記各構造単位のなかでも、構造単位(B−1)を有することが好ましい。
(B) The binder resin has at least one structural unit selected from the group consisting of the structural unit (B-1), the structural unit (B-2), and the structural unit (B-3) in the molecule. What is necessary is just to have 2 or more types.
When a plurality of the structural units are included, structural units belonging to different groups, such as a combination of the structural unit (B-1) and the structural unit (B-2), may be the same structural unit, for example, the structural unit Different structural units belonging to (B-1) may be used.
The binder resin (B) in the present invention preferably has a structural unit (B-1) among the above structural units.

(B)バインダー樹脂は、分子内に、(B−1)一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を含む構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位を、合計で50モル%以上90モル%以下有することが好ましく、50モル%以上80モル%以下含むことがより好ましくより好ましく、60モル%以上80モル%以下含むことがさらに好ましい。バインダー樹脂における前記各構造単位の総量が上記範囲内にあると、現像ラチチュードが良好となり、露光後の現像時における膜減りが少なくなり、得られた硬化膜の表面平滑性が良好となる。
なお、なかでも、構造単位(B−1)を20モル%以上90モル%以下で含むことがより好ましく、詳細には、構造単位(B−1)を50モル%以上80モル%以下、構造単位(B−2)を50モル%以上80モル%以下、構造単位(B−3)を50モル%以上80モル%以下含む態様が好ましい。
(B) The binder resin contains (B-1) a structural unit represented by the general formula (I), (B-2) a structural unit containing an N-substituted maleimide group, and (B-3) in the molecule. The total of structural units represented by the general formula (II) is preferably 50 mol% or more and 90 mol% or less, more preferably 50 mol% or more and 80 mol% or less, more preferably 60 mol% or more and 80 mol% or less. It is more preferable that the content is not more than%. When the total amount of the structural units in the binder resin is within the above range, the development latitude is good, the film loss during development after exposure is reduced, and the surface smoothness of the resulting cured film is good.
In particular, it is more preferable that the structural unit (B-1) is contained in an amount of 20 mol% or more and 90 mol% or less. Specifically, the structural unit (B-1) is contained in an amount of 50 mol% or more and 80 mol% or less. An embodiment containing 50 mol% or more and 80 mol% or less of the unit (B-2) and 50 mol% or more and 80 mol% or less of the structural unit (B-3) is preferable.

〔酸性基を有する構造単位〕
さらに、(B)バインダー樹脂は分子内に、酸性基を有する構造単位を有してもよい。
酸性基を有する構造単位としては、カルボキシ基含有不飽和単量体由来の構造単位をあげることができる。カルボキシ基含有不飽和単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸又はその無水物類;コハク酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メタ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類等である。
これらのカルボキシ基含有不飽和単量体のうち、コハク酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)及びフタル酸モノ(2−アクリロイロキシエチル)は、それぞれM−5300及びM−5400(東亞合成(株)製)の商品名で市販されている。
前記カルボキシ基含有不飽和単量体は、単独で又は2種以上を樹脂に含んでもよい。
[Structural unit having acidic group]
Furthermore, (B) binder resin may have a structural unit which has an acidic group in a molecule | numerator.
Examples of the structural unit having an acidic group include structural units derived from a carboxy group-containing unsaturated monomer. Examples of the carboxy group-containing unsaturated monomer include unsaturated monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, α-chloroacrylic acid, cinnamic acid; maleic acid, maleic anhydride, fumaric acid, itaconic acid, Unsaturated dicarboxylic acid such as itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, mesaconic acid or the like; trivalent or higher unsaturated polycarboxylic acid or the anhydride thereof; succinic acid mono [2- (meth) Mono [(meth) acryloyloxyalkyl] esters of polyvalent carboxylic acids such as acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl]; ω-carboxypolycaprolactone mono These are mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as (meth) acrylate.
Among these carboxy group-containing unsaturated monomers, succinic acid mono (2-acryloyloxyethyl) and phthalic acid mono (2-acryloyloxyethyl) are respectively M-5300 and M-5400 (Toagosei ( (Commercially available) under the trade name.
The carboxy group-containing unsaturated monomers may be used alone or in combination of two or more.

これらの中で、好ましい酸性基を有する構造単位としては、カルボン酸、カルボン酸のカルコゲン類縁体、カルボヒドラゾン酸[RC(=NNH)OH]、カルボキシミド酸[RC(=NH)OH]、スルホン酸[RS(O)OH]、スルフィン酸[RS(O)OH]、スルフェン酸[RSOH]、セレノン酸[RSe(O)OH]、セレニン酸[RSe(O)OH]、セレネン酸[RSeOH]、リン酸とその酸性関連化合物、ケイ酸、ホウ酸の類縁体に由来する構造単位であり、特に好ましいものはアクリル酸、メタクリル酸、及びリン酸に由来する構造単位である。 Among these, as the structural unit having a preferable acidic group, carboxylic acid, chalcogen analog of carboxylic acid, carbohydrazone acid [RC (═NNH 2 ) OH], carboxymidic acid [RC (═NH) OH], Sulfonic acid [RS (O) 2 OH], sulfinic acid [RS (O) OH], sulfenic acid [RSOH], selenonic acid [RSe (O) 2 OH], selenic acid [RSe (O) OH], selenic acid Structural units derived from analogs of [RSeOH], phosphoric acid and its acid-related compounds, silicic acid, and boric acid, particularly preferred are structural units derived from acrylic acid, methacrylic acid, and phosphoric acid.

(B)バインダー樹脂における酸性基を有する構造単位の含有量は、5モル%以上50モル%以下であることが好ましく、10モル%以上30モル%以下がより好ましい。この範囲内にあると、現像時の表面平滑度と耐熱性が良好である。   (B) The content of the structural unit having an acidic group in the binder resin is preferably 5 mol% or more and 50 mol% or less, and more preferably 10 mol% or more and 30 mol% or less. Within this range, the surface smoothness and heat resistance during development are good.

(B)バインダー樹脂は前述の各構造単位に加えて、他の構造単位を含んでいてもよい。他の構造単位としては、下記の不飽和単量体に由来する構造単位を挙げることができる。
スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;
インデン、1−メチルインデン等のインデン類;
(B) The binder resin may contain other structural units in addition to the structural units described above. Examples of other structural units include structural units derived from the following unsaturated monomers.
Styrene, α-methylstyrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene, p-methoxystyrene, o-vinylbenzylmethyl ether, m -Aromatic vinyl compounds such as vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether;
Indenes such as indene and 1-methylindene;

メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類; Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) Acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 3-hydroxybutyl (Meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate Rate, 2-phenoxyethyl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, methoxypropylene glycol (meth) acrylate, methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, isobornyl Such as (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, etc. Saturated carboxylic acid esters;

2−アミノエチル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、3−アミノプロピル(メタ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類;グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類;オキセタニル(メタ)アクリレート等の不飽和カルボン酸オキセタニルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類;
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類;
(メタ)アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;
(メタ)アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド等の不飽和アミド類;
マレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;
ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロモノマー類;
これらの不飽和単量体由来の構成成分は、単独で又は2種以上を含んでもよい。
2-aminoethyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, 2-aminopropyl (meth) acrylate, 2-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, 3-aminopropyl (meth) acrylate, 3-dimethyl Unsaturated carboxylic acid aminoalkyl esters such as aminopropyl (meth) acrylate; unsaturated carboxylic acid glycidyl esters such as glycidyl (meth) acrylate; unsaturated carboxylic acid oxetanyl esters such as oxetanyl (meth) acrylate; vinyl acetate, Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl propionate, vinyl butyrate and vinyl benzoate;
Unsaturated ethers such as vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, and allyl glycidyl ether;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile, α-chloroacrylonitrile, vinylidene cyanide;
Unsaturated amides such as (meth) acrylamide, α-chloroacrylamide, N-2-hydroxyethyl (meth) acrylamide;
Unsaturated imides such as maleimide, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide;
Aliphatic conjugated dienes such as 1,3-butadiene, isoprene, chloroprene;
Macromonomers having a mono (meth) acryloyl group at the end of the polymer molecular chain, such as polystyrene, polymethyl (meth) acrylate, poly-n-butyl (meth) acrylate, polysiloxane;
These components derived from unsaturated monomers may be used alone or in combination of two or more.

以下に、(B)バインダー樹脂の例示化合物1−1〜1−8及び例示化合物2〜40を示す。本発明における(B)バインダー樹脂は、上記要件を満たす限りにおいて、これらの例示化合物に限定されるものではない。   Below, the exemplary compounds 1-1 to 1-8 and the exemplary compounds 2 to 40 of (B) binder resin are shown. The (B) binder resin in the present invention is not limited to these exemplary compounds as long as the above requirements are satisfied.

(B)バインダー樹脂の重量平均分子量は、10000〜100000の範囲であることが好ましく、より好ましくは10000〜50000の範囲、さらに好ましくは10000〜40000の範囲である。この範囲内にあると形成されるパターンの現像性、直線性が良好となる。   (B) The weight average molecular weight of the binder resin is preferably in the range of 10,000 to 100,000, more preferably in the range of 10,000 to 50,000, and still more preferably in the range of 10,000 to 40,000. Within this range, the developability and linearity of the pattern formed are good.

本発明の着色感光性樹脂組成物における(B)バインダー樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、10質量%〜50質量%の範囲が好ましく、15質量%〜40質量%の範囲がより好ましい。   The content of the (B) binder resin in the colored photosensitive resin composition of the present invention is preferably in the range of 10% by mass to 50% by mass, and preferably in the range of 15% by mass to 40% with respect to the solid content of the colored photosensitive resin composition. A range of mass% is more preferred.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、本発明における特定成分である前記(B)バインダー樹脂以外の構造の樹脂を含んでもよい。(B)バインダー樹脂以外の構造の樹脂としては、着色剤に対してバインダーとして作用し、かつカラーフィルタを製造する際に、その現像処理工程において用いられる現像液、特に好ましくはアルカリ性現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、カルボキシ基を有するアクリル系共重合体が好ましく、特に、1個以上のカルボキシ基を有するエチレン性不飽和単量体と他の共重合可能なエチレン性不飽和単量体との共重合体が好ましい。   The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain a resin having a structure other than the (B) binder resin, which is a specific component in the present invention. (B) As a resin having a structure other than the binder resin, it acts as a binder for the colorant, and when producing a color filter, it is preferably used for a developer used in the development processing step, particularly preferably an alkaline developer. In particular, an acrylic copolymer having a carboxy group is preferable, and an ethylenically unsaturated monomer having one or more carboxy groups and other monomers are not particularly limited. A copolymer with a copolymerizable ethylenically unsaturated monomer is preferred.

本発明において、前記(B)バインダー樹脂以外の構造を有する併用可能な樹脂の具体例としては、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
等を挙げることができる。
In the present invention, as a specific example of a resin that can be used in combination with a structure other than the (B) binder resin,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / methyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polystyrene macromonomer copolymer,
(Meth) acrylic acid / 2-hydroxyethyl (meth) acrylate / benzyl (meth) acrylate / polymethyl methacrylate macromonomer copolymer,
Etc.

また、下記のようなエポキシ環、又はオキセタン環を含む樹脂も使用できる。
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/アクリル酸/アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/アクリル酸グリシジル共重合体、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン/t−ブチルメタクリレート共重合体、
ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン/スチレン共重合体、
Moreover, the resin containing the following epoxy rings or oxetane rings can also be used.
Styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Styrene / acrylic acid / tricycloacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl acrylate copolymer,
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane / t-butyl methacrylate copolymer,
Benzyl methacrylate / methacrylic acid / 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane / styrene copolymer,

ブタジエン/スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
ブタジエン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
スチレン/アクリル酸/無水マレイン酸/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
t−ブチルメタクリレート/アクリル酸/無水マレイン酸/メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル共重合体、
スチレン/メタクリル酸/メタクリル酸メチル/メタクリル酸グリシジル共重合体、
p−メトキシスチレン/メタクリル酸/シクロヘキシルアクリレート/メタクリル酸グリシジル共重合体。
Butadiene / styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Butadiene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate methacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / glycidyl methacrylate copolymer,
Styrene / methacrylic acid / tricyclomethacrylate [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
Styrene / acrylic acid / maleic anhydride / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
t-butyl methacrylate / acrylic acid / maleic anhydride / methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl copolymer,
Styrene / methacrylic acid / methyl methacrylate / glycidyl methacrylate copolymer,
p-methoxystyrene / methacrylic acid / cyclohexyl acrylate / glycidyl methacrylate copolymer.

<(C)重合性化合物>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(C)重合性化合物を含有する。
本発明に用いることができる重合性化合物は、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。
また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応生成物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応生成物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。)
なお、本明細書ではアクリレートとメタクリレートを総称して、(メタ)アクリレートと記載する。
<(C) Polymerizable compound>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (C) a polymerizable compound.
The polymerizable compound that can be used in the present invention is an addition polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, and is a compound having at least one terminal ethylenically unsaturated bond, preferably two or more. To be elected. Such a compound group is widely known in the industrial field, and can be used without any particular limitation in the present invention. These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used.
Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and monofunctional or A dehydration condensation reaction product with a polyfunctional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid. )
In this specification, acrylate and methacrylate are collectively referred to as (meth) acrylate.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、(メタ)アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ((メタ)アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリ((メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリ(メタ)アクリレート、   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include (meth) acrylic acid ester, ethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, 1, 3 -Butanediol di (meth) acrylate, tetramethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (( (Meth) acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane tri (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, tetraethylene Recall di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol di (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipenta Erythritol hexa (meth) acrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetra (meth) acrylate, sorbitol penta (meth) acrylate, sorbitol hexa (meth) acrylate, tri ((meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester (meth) acrylate oligomer , Isocyanuric acid EO-modified tri (meth) acrylate,

ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレートEO変性体、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ((メタ)アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが好ましいものとして挙げられる。   Bisphenol A di (meth) acrylate, modified bisphenol A di (meth) acrylate EO, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri ((meth) acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane tri (meth) acrylate Tetraethylene glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, dipenta An erythritol hexaacrylate EO modified body is mentioned as a preferable thing.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334号公報、特開昭57−196231号公報に記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240号公報、特開昭59−5241号公報、特開平2−226149号公報に記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613号公報に記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, JP-A-59- Those having an aromatic skeleton described in Japanese Patent No. 5241 and JP-A-2-226149, those containing an amino group described in JP-A-1-165613, and the like are also preferably used.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726号公報に記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B No. 54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(V)で示される水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   In addition, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable, and specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. A vinyl urethane containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group represented by the following general formula (V) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups. Compounds and the like.

一般式(V)
CH=C(R)COOCHCH(R)OH (V)
(ただし、R及びRは、各々独立に、H又はCHを示す。)
General formula (V)
CH 2 = C (R 4) COOCH 2 CH (R 5) OH (V)
(However, R 4 and R 5 each independently represent H or CH 3. )

また、特開昭51−37193号公報、特公平2−32293号公報、特公平2−16765号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号公報、特公昭56−17654号公報、特公昭62−39417号公報、特公昭62−39418号公報に記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号公報、特開昭63−260909号公報、特開平1−105238号公報に記載される分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56- Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP 17654, JP-B 62-39417, and JP-B 62-39418 are also suitable. Furthermore, by using addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238. Can obtain a photopolymerizable composition having an excellent photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号公報、特公昭49−43191号公報、特公昭52−30490号公報の各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号公報、特公平1−40337号公報、特公平1−40336号公報に記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号公報に記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号公報に記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。
また、市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(日本製紙(株)製)、DPHA(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社化学工業製)が好ましい。
更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates reacted with acrylic acid. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337, JP-B-1-40336, and vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493 Etc. can also be mentioned. In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used.
Moreover, as a commercial item, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (made by Nippon Paper Industries Co., Ltd.), DPHA (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600 and AI-600 (manufactured by Kyoeisha Chemical Industry) are preferred.
Furthermore, Journal of Japan Adhesion Association vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

本発明の着色感光性樹脂組成物における(C)重合性化合物の好ましい態様は、分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物と分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物との混合物を用いることである。分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物、および分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物としては、好ましくは以下の化合物が挙げられる。   A preferred embodiment of the polymerizable compound (C) in the colored photosensitive resin composition of the present invention includes a compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and a compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule. Use a mixture. Preferred examples of the compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and the compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule include the following compounds.

分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物の例としては、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、およびU−6HA、U−15HA、UA−32P、UA−7200(以上、新中村化学社製)、TO−2248、2349、1382(以上、東亞合成社製)などである。また、ネオペンチルグリコールオリゴ(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールオリゴ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールオリゴ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンオリゴ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールオリゴ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、およびエポキシ(メタ)アクリレート等の分子内に(メタ)アクリル基を5以上15以下含む化合物が挙げられるが、このようなオリゴマーの場合には分子量として1000〜5000の範囲であることが好ましい。   Examples of the compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, sorbitol penta (meth) acrylate, sorbitol hexa (meth) acrylate, And U-6HA, U-15HA, UA-32P, UA-7200 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.), TO-2248, 2349, 1382 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.). Also, neopentyl glycol oligo (meth) acrylate, 1,4-butanediol oligo (meth) acrylate, 1,6-hexanediol oligo (meth) acrylate, trimethylolpropane oligo (meth) acrylate, pentaerythritol oligo (meth) Compounds containing 5 to 15 (meth) acryl groups in the molecule such as acrylate, urethane (meth) acrylate, and epoxy (meth) acrylate can be mentioned. In the case of such an oligomer, the molecular weight is 1000 to 5000. A range is preferable.

分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンPO(プロピレンオキサイド)変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンEO(エチレンオキサイド)変性トリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、などが挙げられる。   Examples of the compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane PO (propylene oxide) -modified tri (meth) acrylate, and trimethylolpropane EO (ethylene oxide) -modified tri. (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, ethoxylated penta And erythritol tetra (meth) acrylate.

分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物と分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物との混合物を用いる場合、分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物と分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物との比(分子内に重合性基を5以上15以下含む化合物:分子内に重合性基を1以上4以下含む化合物)は、質量換算で60:40〜95:5の範囲が好ましく、70:30〜90:10の範囲がより好ましい。   In the case of using a mixture of a compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and a compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule, the compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule and the molecule To the compound containing 1 to 4 polymerizable groups (compound containing 5 to 15 polymerizable groups in the molecule: compound containing 1 to 4 polymerizable groups in the molecule) in terms of mass: 60: The range of 40-95: 5 is preferable, and the range of 70: 30-90: 10 is more preferable.

(C)重合性化合物の含有量の合計は、本発明の着色感光性樹脂組成物層中の全固形分中、10質量%〜50質量%であることが好ましく、15質量%〜40質量%であることがより好ましく、15 質量%〜30質量%であることが更に好ましい。
(C)重合性化合物の含有量が上記範囲であると、得られる硬化膜の耐熱性が良好となり、塗膜形成時、或いは、ポストベーク後のシワの発生が抑制され、表面粗さが小さく平滑な硬化膜が形成される。
(C) The total content of the polymerizable compound is preferably 10% by mass to 50% by mass, and preferably 15% by mass to 40% by mass in the total solid content in the colored photosensitive resin composition layer of the present invention. It is more preferable that it is 15 mass%-30 mass%.
(C) When the content of the polymerizable compound is within the above range, the resulting cured film has good heat resistance, and generation of wrinkles during coating film formation or after post-baking is suppressed, and the surface roughness is small. A smooth cured film is formed.

本発明の着色感光性樹脂組成物において、(C)重合性化合物と後述する(D)光重合開始剤との質量比「(D)光重合開始剤/(C)重合性化合物」は0.1以上2.0以下であり、好ましくは0.1以上1.0以下であり、特に好ましくは0.3以上0.9以下である。上記範囲内とすることで、パターン形成性が良好で、基板との密着性に優れる。また、露光・現像後のマスク太り量が充分であり、パターン剥離が抑制される。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, the mass ratio ((D) photopolymerization initiator / (C) polymerizable compound) between (C) the polymerizable compound and (D) the photopolymerization initiator described later is 0.00. 1 or more and 2.0 or less, preferably 0.1 or more and 1.0 or less, particularly preferably 0.3 or more and 0.9 or less. By setting it within the above range, the pattern formability is good and the adhesion to the substrate is excellent. Further, the amount of mask thickening after exposure and development is sufficient, and pattern peeling is suppressed.

<(D)一般式(III)で表される光重合開始剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、下記一般式(III)で表される光重合開始剤(以下、適宜、(D)特定開始剤と称する)の少なくとも1種を含有する。(D)特定開始剤を含有することで、高感度で硬化するとともに、形成された着色パターンのベーク後の着色が抑制されるである。
<(D) Photopolymerization initiator represented by general formula (III)>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains at least one photopolymerization initiator represented by the following general formula (III) (hereinafter, appropriately referred to as (D) a specific initiator). (D) By containing a specific initiator, it hardens | cures with high sensitivity and the coloring after baking of the formed coloring pattern is suppressed.

一般式(III)中、X、X、及びXはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Rは−R、−OR、−COR、−SR、−CONRR’、又は−CNを表し、R及びRはそれぞれ独立に、−R、−OR、−COR、−SR、又は−NRR’を表す。R及びR’は、それぞれ独立に、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又は、複素環基を表し、これらの基は、ハロゲン原子及び複素環基からなる群より選択される1以上で置換されていてもよく、該アルキル基、及びアラルキル基におけるアルキル鎖を構成する炭素原子の1以上が、不飽和結合、エーテル結合、又はエステル結合に置き換わっていてもよく、R及びR’は互いに結合して環を形成していてもよい。 In the general formula (III), X 1 , X 2 , and X 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group, and R 1 represents —R, —OR, —COR, —SR, —CONRR 'Or -CN, and R 2 and R 3 each independently represent -R, -OR, -COR, -SR, or -NRR'. R and R ′ each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, or a heterocyclic group, and these groups are substituted with one or more selected from the group consisting of a halogen atom and a heterocyclic group. And one or more carbon atoms constituting the alkyl chain in the alkyl group and the aralkyl group may be replaced with an unsaturated bond, an ether bond, or an ester bond, and R and R ′ are bonded to each other. May form a ring.

上記一般式(III)中、X1、X、及びXがハロゲン原子を表す場合のハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられ、X1、X、及びXがアルキル基を表す場合のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ビニル基、アリル基、ブテニル基、エチニル基、プロピニル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロピロキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピロキシエトキシエチル基、メトキシプロピル基、モノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、トリフルオロエチル基、パーフルオロエチル基、2−(ベンゾオキサゾール−2’−イル)エテニル基等が挙げられる。
なかでも、X1、X、及びXがいずれも、水素原子を表すか、或いは、X1がアルキル基を表し、X、及びXがいずれも水素原子を表すことが好ましい。
In the general formula (III), examples of the halogen atom in the case where X 1 , X 2 , and X 3 represent a halogen atom include fluorine, chlorine, bromine, and iodine, and X 1 , X 2 , and X 3 are Examples of the alkyl group in the case of representing an alkyl group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a secondary butyl group, a tertiary butyl group, an amyl group, an isoamyl group, and a tertiary amyl group. Group, hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, isodecyl group, vinyl group, allyl group, butenyl group, ethynyl group, propynyl group , Methoxyethyl group, ethoxyethyl group, propyloxyethyl group, methoxyethoxyethyl group, ethoxyethoxyethyl group, propyloxyethoxy Ethyl group, methoxypropyl group, monofluoromethyl group, difluoromethyl group, trifluoromethyl group, trifluoroethyl group, perfluoroethyl group, 2- (benzoxazol-2'-yl) ethenyl group, and the like.
Especially, it is preferable that all of X < 1 >, X < 2 > and X < 3 > represent a hydrogen atom, or X < 1 > represents an alkyl group and X < 2 > and X < 3 > both represent a hydrogen atom.

上記一般式(III)中、R及びR’で表されるアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基、ビニル基、アリル基、ブテニル基、エチニル基、プロピニル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、プロピロキシエチル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピロキシエトキシエチル基、メトキシプロピル基、モノフルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、トリフルオロエチル基、パーフルオロエチル基、2−(ベンゾオキサゾール−2’−イル)エテニル基等が挙げられる。
R及びR’で表されるアリール基としては、例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、クロロフェニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナンスレニル基等が挙げられる。
R及びR’で表されるアラルキル基としては、例えば、ベンジル基、クロロベンジル基、α−メチルベンジル基、α,α−ジメチルベンジル基、フェニルエチル基、フェニルエテニル基等が挙げられる。
R及びR’で表される複素環基としては、例えば、ピリジル基、ピリミジル基、フリル基、チオフェニル基等が挙げられる。
また、R及びR’は互いに結合して形成される環としては、例えば、ピペリジン環、モルホリン環等が挙げられる。
In the general formula (III), examples of the alkyl group represented by R and R ′ include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a secondary butyl group, and a tertiary butyl group. , Amyl group, isoamyl group, tertiary amyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, isodecyl group, vinyl group, allyl group Group, butenyl group, ethynyl group, propynyl group, methoxyethyl group, ethoxyethyl group, propyloxyethyl group, methoxyethoxyethyl group, ethoxyethoxyethyl group, propyloxyethoxyethyl group, methoxypropyl group, monofluoromethyl group, difluoro Methyl group, trifluoromethyl group, trifluoroethyl group, perfluoroethyl group , 2- (benzoxazol-2′-yl) ethenyl group and the like.
Examples of the aryl group represented by R and R ′ include a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, an ethylphenyl group, a chlorophenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthrenyl group.
Examples of the aralkyl group represented by R and R ′ include benzyl group, chlorobenzyl group, α-methylbenzyl group, α, α-dimethylbenzyl group, phenylethyl group, phenylethenyl group and the like.
Examples of the heterocyclic group represented by R and R ′ include a pyridyl group, a pyrimidyl group, a furyl group, a thiophenyl group, and the like.
Examples of the ring formed by bonding R and R ′ to each other include a piperidine ring and a morpholine ring.

上記R及びR’を含んで構成されるR及びRとしては、それぞれ独立に、メチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、−S−Ph、−S−Ph−Cl、又は−S−Ph−Brが特に好ましい様態である。 R 2 and R 3 including R and R ′ are each independently a methyl group, a hexyl group, a cyclohexyl group, —S—Ph, —S—Ph—Cl, or —S—Ph—. Br is a particularly preferred embodiment.

(D)特定重合開始の中でも、上記一般式(III)において、X1、X、及びXがいずれも、水素原子であるもの;Rがアルキル基、特にメチル基であるもの;Rがアルキル基、特にメチル基であるもの;Rがアルキル基、特にエチル基であるものは、光重合開始剤として特に好適である。 (D) Among the specific polymerization initiations, in the general formula (III), X 1 , X 2 and X 3 are all hydrogen atoms; R 1 is an alkyl group, particularly a methyl group; R Those in which 2 is an alkyl group, particularly a methyl group; those in which R 3 is an alkyl group, particularly an ethyl group, are particularly suitable as a photopolymerization initiator.

従って、上記一般式(III)で表される特定重合開始剤の好ましい具体例としては、以下に例示する化合物A〜化合物Fが挙げられる。ただし、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。   Accordingly, preferred specific examples of the specific polymerization initiator represented by the general formula (III) include compounds A to F exemplified below. However, the present invention is not limited by the following compounds.

上記一般式(III)で表される特定重合開始剤は、例えば、特開2005−220097号公報に記載の方法により合成することができる。   The specific polymerization initiator represented by the general formula (III) can be synthesized, for example, by the method described in JP-A-2005-220097.

本発明に用いる一般式(III)で表される化合物は、250nm〜500nmの波長領域に吸収波長を有するものである。より好ましくは、300nm〜380nmの波長領域に吸収波長を有するものを挙げることができる。特に、308nm及び355nmの吸光度が高いものが好ましい。   The compound represented by the general formula (III) used in the present invention has an absorption wavelength in a wavelength region of 250 nm to 500 nm. More preferably, the thing which has an absorption wavelength in the wavelength range of 300 nm-380 nm can be mentioned. In particular, those having high absorbance at 308 nm and 355 nm are preferable.

本発明で用いる(D)特定重合開始剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対し、5質量%以上15質量%以下であることを要する。含有量が5質量%未満であると感度不足となり、目的の線幅が達成されず、15質量%を超えると、薬品耐性が不足したり、テーパー形状が逆テーパーとなったりして、いずれも好ましくない。
含有量は、5質量%以上15質量%以下の範囲が好ましく、10質量%以上15質量%以下の範囲が更に好ましい。
Content of (D) specific polymerization initiator used by this invention needs to be 5 mass% or more and 15 mass% or less with respect to the total solid of a colored photosensitive resin composition. If the content is less than 5% by mass, the sensitivity will be insufficient, and the target line width will not be achieved. If the content exceeds 15% by mass, the chemical resistance will be insufficient, or the taper shape will be inversely tapered. It is not preferable.
The content is preferably in the range of 5 to 15% by mass, more preferably in the range of 10 to 15% by mass.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、前記(D)特定重合開始剤に加え、本発明の範囲を損なわない限りにおいて、(D)特定重合開始剤とは構造の異なる他の光重合開始剤〔以下、(D−2)他の光重合開始剤と称する)を含有してもよい。
(D)特定重合開始剤とは構造の異なる(D−2)他の光重合開始剤としては、前記(C)重合性化合物の重合を開始、促進する化合物であれば、従来公知のものを制限なく用いることができる。具体的には例えば、ロフィン系光重合開始剤、前記一般式(III)とは構造の異なるオキシム系光重合開始剤、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物、等が挙げられる。
In addition to the (D) specific polymerization initiator, the colored photosensitive resin composition of the present invention includes (D) another photopolymerization start having a structure different from that of the specific polymerization initiator as long as the scope of the present invention is not impaired. An agent (hereinafter referred to as (D-2) other photopolymerization initiator) may be contained.
(D) The structure different from the specific polymerization initiator (D-2) As the other photopolymerization initiator, as long as it is a compound that initiates and accelerates the polymerization of the polymerizable compound (C), a conventionally known one is used. Can be used without limitation. Specifically, for example, a lophine photopolymerization initiator, an oxime photopolymerization initiator having a structure different from that of the general formula (III), an organic halogenated compound, an oxydiazole compound, a carbonyl compound, a ketal compound, a benzoin compound, Examples include acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, onium salt compounds, acylphosphine (oxide) compounds, and the like.

(D−2)他の光重合開始剤として用いうるロフィン系光重合開始剤としては、例えば、ヘキサアリールビイミダゾール化合物が挙げられる。ヘキサアリールビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェニル)ビイミダゾール、   (D-2) Examples of lophine photopolymerization initiators that can be used as other photopolymerization initiators include hexaarylbiimidazole compounds. Examples of the hexaarylbiimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) ) Biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4- Dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichloro) Phenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5 ′ -Tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5.5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2' -Bis (2-cyanophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-methylphenyl) -4,4', 5 5′-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxyca Bonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-ethyl) Phenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4 -Ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-ethylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-phenoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2 -Phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-methoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-phenylphenyl) -4,4', 5,5'-tetrakis (4-phenoxy) Carbonylphenyl) biimidazole,

2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(4−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニル)ビイミダゾール、 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (4-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3,4-dimethoxyphenyl) biimidazole ,

2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等を挙げることができる。 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′ , 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2, 4,6-tribromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dicyanophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra Phenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-tricyanophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-dimethylphenyl) ) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimi Sol, 2,2′-bis (2,4,6-trimethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4-diethylphenyl) -4 , 4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-triethylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ′ -Bis (2,4-diphenylphenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-triphenylphenyl) -4,4', 5 , 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-fluorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, and the like.

上記の中でも、特に好ましい化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、保土ヶ谷化学工業製:B−CIM)、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ−(3,4−ジメトキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、日本シベルヘグナー製:HABI1311)、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、黒金化成)が挙げられる。   Among these, particularly preferable compounds include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (for example, B-CIM manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.), 2 , 2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra- (3,4-dimethoxyphenyl) biimidazole (for example, manufactured by Nippon Sibel Hegner: HABI1311), 2,2′-bis ( 2-methylphenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole (for example, black gold chemical).

(D−2)他の光重合開始剤の例としては、アミノアセトフェノン系開始剤も好適なものとして挙げられる。
アミノアセトフェノン系開始剤の具体例としては、下記式で示される構造を有し、式中のRが水素原子、メチル基、又は、エチル基で表される化合物が挙げられる。他の光重合開始剤としてのアミノアセトフェノン系開始剤は、市販品としても入手可能であり、例えば、IRGACURE(Irg)369、及び、IRGACURE(Irg)379(何れもチバ・スペシャルティ・ケミカルズ株式会社製)が挙げられる。
(D-2) As an example of another photoinitiator, an aminoacetophenone-type initiator is also mentioned as a suitable thing.
Specific examples of the aminoacetophenone initiator include compounds having a structure represented by the following formula, wherein R 1 is represented by a hydrogen atom, a methyl group, or an ethyl group. Aminoacetophenone initiators as other photopolymerization initiators are also available as commercial products, for example, IRGACURE (Irg) 369 and IRGACURE (Irg) 379 (both manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) ).

また、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、有機ホウ酸化合物、ジスルホン酸化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン(オキシド)化合物の具体例としては、若林等、「Bull Chem.Soc.Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号公報、特開昭48−36281号公報、特開昭55−32070号公報、特開昭60−239736号公報、特開昭61−169835号公報、特開昭61−169837号公報、特開昭62−58241号公報、特開昭62−212401号公報、特開昭63−70243号公報、特開昭63−298339号公報、M.P.Hutt“Journal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書、特開昭62−143044号公報、特開昭62−150242号公報、特開平9−188685号公報、特開平9−188686号公報、特開平9−188710号公報、特開2000−131837号公報、特開2002−107916号公報、特許第2764769号公報、特願2000−310808号公報等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報、特開平9−188710号公報、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報、J.C.S.Perkin II(1979)1653−1660)、J.C.S.Perkin II(1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報に記載の等に記載の光重合開始剤が具体例として挙げられる。   Also, organic halogenated compounds, oxydiazole compounds, carbonyl compounds, ketal compounds, benzoin compounds, acridine compounds, organic peroxide compounds, azo compounds, coumarin compounds, azide compounds, metallocene compounds, organic boric acid compounds, disulfonic acid compounds, Specific examples of the onium salt compound and the acylphosphine (oxide) compound include: Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc. Japan” 42, 2924 (1969), US Pat. No. 3,905,815, Japanese Patent Publication No. 46- 4605, JP 48-36281, JP 55-3070, JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, Kokai 62-58241, JP-A 62-212401 , JP-A-63-70243, JP-Sho 63-298339 discloses, M. P. Hutt “Journal of Heterocyclic Chemistry” 1 (No 3), (1970) ”, Japanese Patent Publication No. 6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, 4,622, 286, etc., JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188865, JP-A-9-188686, JP-A-9-188710, JP-A-2000-131837, JP-A-2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, etc., and Kunz, Martin “Rad Tech'98. Proceeding April 19-22. , 1998, Chicago ”etc. Urate, JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, JP-A-6-175561, JP-A-6-175554, JP-A-6-175553, JP-A-9-188710 JP, 6-348011, JP 7-128785, JP 7-140589, JP 7-306527, JP 7-292014, J. Pat. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP 2000-66385 A, JP 2000-80068 A, JP 2004-534797 A, etc. Specific examples of the photopolymerization initiators described are listed.

本発明において(D−2)他の光重合開始剤を併用する際の含有量は、前記(D)特定重合開始剤の含有量100質量部に対して、100質量部以下であることが好ましい。また、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤の総量〔(D)+(D−2)〕としては、5質量%〜20質量%の範囲が好ましく、5質量%〜15質量%の範囲がより好ましく、10質量%〜15質量%の範囲が更に好ましい。   In the present invention, the content when (D-2) another photopolymerization initiator is used in combination is preferably 100 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the specific polymerization initiator (D). . The total amount of photopolymerization initiator [(D) + (D-2)] relative to the total solid content of the colored photosensitive resin composition is preferably in the range of 5% by mass to 20% by mass, and 5% by mass to 15%. The range of mass% is more preferable, and the range of 10 mass% to 15 mass% is still more preferable.

なお、(D)特定重合開始剤或いは、(D−2)他の光重合開始剤として、露光波長に吸収を持たない化合物を用いる場合には、露光波長に吸収を有する化合物を増感剤として使用することが好ましい。増感剤については後述する。   In addition, when using a compound having no absorption at the exposure wavelength as the (D) specific polymerization initiator or (D-2) other photopolymerization initiator, a compound having an absorption at the exposure wavelength is used as a sensitizer. It is preferable to use it. The sensitizer will be described later.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、(B)バインダー樹脂が、分子内に、前記構造単位(B−1)の少なくとも1種と、酸性基を有する構造単位とを有する樹脂であり、且つ、(D)特定重合開始剤として、前記一般式(III)で表されるケトオキシム系光重合開始剤を全固形分中5質量%以上15質量%以下含むものである態様が好ましい。   In the colored photosensitive resin composition of the present invention, (B) the binder resin is a resin having at least one of the structural units (B-1) and a structural unit having an acidic group in the molecule, and (D) As a specific polymerization initiator, the aspect which contains 5 mass% or more and 15 mass% or less of ketoxime type photoinitiators represented by the said general formula (III) in total solid content is preferable.

<(E)溶剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(E)溶剤を含み、(E)溶剤を用いて調製することができる。また上述した顔料分散組成物も(E)溶剤を用いて調製する。
(E)溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、及び3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチルなどの3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、及び3−エトキシプロピオン酸エチルなど)、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピルなどの2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類(例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、及び2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチルなど)、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、1,3-ブタンジオールジアセテート等;
<(E) Solvent>
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains (E) a solvent and can be prepared using the (E) solvent. The pigment dispersion composition described above is also prepared using the solvent (E).
(E) Solvents include esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, lactic acid Methyl, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, and methyl 3-oxypropionate, 3-oxypropionic acid 3-oxypropionic acid alkyl esters such as ethyl (for example, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate and ethyl 3-ethoxypropionate), 2-oxypropionic acid 2-oxypropionic acid alkyl esters such as til, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate (for example, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, 2 -Methyl ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, and 2-ethoxy -2-methylpropionate, etc.), methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, 1,3-butanediol diacetate etc;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノn−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノn−ブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールn-プロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールn-ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−プロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールn−ブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールメチルエーテルアセテート等;
Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether , Propylene glycol mono n-butyl ether, tripropylene glycol mono n-butyl ether, propylene glycol phenyl ether,
Methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol n-propyl ether acetate, propylene glycol diacetate, Propylene glycol n-butyl ether acetate, propylene glycol phenyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol n-propyl ether acetate, dipropylene glycol n-butyl ether acetate, tripropylene glycol methyl Chromatography ether acetate and the like;

アルコキシアルキルアセテート類、例えば、3−メトキシブチルアセテート、4−メトキシブチルアセテート、2−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、2−エトキシブチルアセテート、4−エトキシブチルアセテート、2−メトキシペンチルアセテート、3−メトキシペンチルアセテート、4−メトキシペンチルアセテート、2−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−3−メトキシペンチルアセテート、3−メチル−4−メトキシペンチルアセテート等;   Alkoxyalkyl acetates such as 3-methoxybutyl acetate, 4-methoxybutyl acetate, 2-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 2 -Ethoxybutyl acetate, 4-ethoxybutyl acetate, 2-methoxypentyl acetate, 3-methoxypentyl acetate, 4-methoxypentyl acetate, 2-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3-methyl-3-methoxypentyl acetate, 3 -Methyl-4-methoxypentyl acetate and the like;

ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等;
アルコール類、例えば、エタノール、イソプロピルアルコール等;
芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン等が挙げられる。
Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone;
Alcohols such as ethanol, isopropyl alcohol and the like;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are exemplified.

これらのうち、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート等が好適である。
(E)溶剤は、単独で用いる以外に2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Of these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl carbitol acetate, butyl Carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate and the like are suitable.
(E) A solvent may be used in combination of two or more, in addition to being used alone.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに必要に応じて、(F)増感剤、界面活性剤、熱硬化性樹脂、などのその他の成分を含むことができる。   The colored photosensitive resin composition of the present invention may further contain other components such as (F) a sensitizer, a surfactant, and a thermosetting resin, if necessary.

<(F)増感剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物には、露光波長に吸収を有する化合物を増感剤として使用し、(D)光重合開始剤の開始効率を上げることが好ましい。この増感剤が吸収しうる波長の露光により(D)光重合開始剤成分のラジカル発生反応や、それによる重合性化合物の重合反応が促進される。
このような増感剤としては、公知の分光増感色素又は染料、又は光を吸収して光重合開始剤と相互作用する染料又は顔料が挙げられる。
<(F) Sensitizer>
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, it is preferable to use a compound having absorption at the exposure wavelength as a sensitizer to increase the initiation efficiency of the (D) photopolymerization initiator. The exposure of the wavelength that can be absorbed by the sensitizer promotes the radical generation reaction of the (D) photopolymerization initiator component and the polymerization reaction of the polymerizable compound thereby.
Examples of such a sensitizer include a known spectral sensitizing dye or dye, or a dye or pigment that absorbs light and interacts with a photopolymerization initiator.

本発明に用いることのできる増感剤として好ましい分光増感色素又は染料は、多核芳香族類(例えば、ピレン、ペリレン、トリフェニレン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、シアニン類(例えば、チアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、フタロシアニン類(例えば、フタロシアニン、メタルフタロシアニン)、ポルフィリン類(例えば、テトラフェニルポルフィリン、中心金属置換ポルフィリン)、クロロフィル類(例えば、クロロフィル、クロロフィリン、中心金属置換クロロフィル)、金属錯体、アントラキノン類、(例えば、アントラキノン)、スクアリリウム類(例えば、スクアリリウム)、及び、下記アミン化合物、等が挙げられる。   Spectral sensitizing dyes or dyes preferred as sensitizers that can be used in the present invention include polynuclear aromatics (eg, pyrene, perylene, triphenylene), xanthenes (eg, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, Rose bengal), cyanines (for example, thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (for example, merocyanine, carbomerocyanine), thiazines (for example, thionine, methylene blue, toluidine blue), acridines (for example, acridine orange, Chloroflavin, acriflavine), phthalocyanines (eg, phthalocyanine, metal phthalocyanine), porphyrins (eg, tetraphenylporphyrin, central metal-substituted porphyrin), chlorophylls (eg, chlorophyllin) I le, chlorophyllin, center metal-substituted chlorophyll), metal complexes, anthraquinones (e.g., anthraquinone), squarylium compound (e.g., squarylium), and, following amine compounds, and the like.

増感剤に好適なアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられ、なかでも、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。   Examples of amine compounds suitable for the sensitizer include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and benzoic acid. 2-dimethylaminoethyl acid, 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4′-bis (diethylamino) Examples include benzophenone and 4,4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and among them, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.

また、増感剤の別の例として、チオール化合物が好ましく挙げられる。
チオール化合物は、光重合開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
チオール化合物としては、エチレングリコールビスチオプロピオネート(EGTP)、ブタンジオールビスチオプロピオネート(BDTP)、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート(TMTP)、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート(PETP)等の各多官能チオール化合物、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、βメルカプトナフタレン、N-フェニル-メルカプトベンズイミダゾール等の単官能チオール化合物が挙げられる。
特に、経時安定性、溶剤への溶解性の観点から、単官能のチオール化合物が好ましい。
Moreover, a thiol compound is preferably mentioned as another example of a sensitizer.
The thiol compound has effects such as further improving the sensitivity of the photopolymerization initiator to actinic radiation or suppressing polymerization inhibition of the polymerizable compound by oxygen.
Examples of thiol compounds include ethylene glycol bisthiopropionate (EGTP), butanediol bisthiopropionate (BDTP), trimethylolpropane tristhiopropionate (TMTP), pentaerythritol tetrakisthiopropionate (PETP), and the like. Single functional groups such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercaptonaphthalene, N-phenyl-mercaptobenzimidazole, etc. A functional thiol compound is mentioned.
In particular, a monofunctional thiol compound is preferable from the viewpoint of stability over time and solubility in a solvent.

本発明の着色感光性樹脂組成物における増感剤の含有量は、目的により適宜選択されるが、分光増感による感度の向上、或いは、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上、等の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分の質量に対し、0.5質量%〜10質量%の範囲が好ましく、0.5質量%〜5質量%の範囲が更に好ましい。   The content of the sensitizer in the colored photosensitive resin composition of the present invention is appropriately selected depending on the purpose, but the sensitivity is improved by spectral sensitization, or the curing speed is improved by the balance between polymerization growth rate and chain transfer, From the viewpoints of the above, the range of 0.5% by mass to 10% by mass is preferable and the range of 0.5% by mass to 5% by mass is more preferable with respect to the mass of the total solid content of the photosensitive resin composition.

<その他の添加剤>
本発明の着色感光性樹脂組成物は、必須成分である(A)成分〜(E)成分及び好ましい併用成分である(F)成分に加え、必要に応じて他の添加剤を含んでいてもよい。以下、任意の添加剤について説明する。
(界面活性剤)
本発明の着色感光性樹脂組成物は、界面活性剤を含むことができる。
顔料濃度を大きくすると塗布液のチキソ性が一般的に大きくなるため、基板上に着色感光性樹脂組成物を塗布又は転写して着色感光性樹脂組成物層(着色層塗膜)形成後の膜厚ムラを生じやすい。また特に、スリットコート法による着色感光性樹脂組成物層(着色層塗膜)形成では、乾燥までに着色感光性樹脂組成物層形成用の塗布液がレベリングして均一な厚みの塗膜を形成することが重要である。このため、前記着色感光性樹脂組成物中に適切な界面活性剤を含有させることが好ましい。上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
塗布性を向上するための界面活性剤としてはノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤等が添加される。
<Other additives>
The colored photosensitive resin composition of the present invention may contain other additives as necessary in addition to the essential components (A) to (E) and the preferred combination component (F). Good. Hereinafter, optional additives will be described.
(Surfactant)
The colored photosensitive resin composition of the present invention can contain a surfactant.
Since the thixotropy of the coating liquid generally increases when the pigment concentration is increased, the film after the colored photosensitive resin composition layer (colored layer coating film) is formed by applying or transferring the colored photosensitive resin composition onto the substrate Thickness unevenness is likely to occur. In particular, in the formation of a colored photosensitive resin composition layer (colored layer coating film) by the slit coating method, the coating liquid for forming the colored photosensitive resin composition layer is leveled before drying to form a uniform thickness coating film. It is important to. For this reason, it is preferable to contain an appropriate surfactant in the colored photosensitive resin composition. Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
Nonionic surfactants, fluorine-based surfactants, silicon-based surfactants, and the like are added as surfactants for improving coating properties.

ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレングリコール類、ポリオキシプロピレングリコール類、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルエステル類、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルアリールエーテル類、ポリオキシプロピレンアルキルエステル類、ソルビタンアルキルエステル類、モノグリセリドアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤が好ましい。   Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene glycols, polyoxypropylene glycols, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl aryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxypropylene alkyl ethers. Nonionic surfactants such as polyoxypropylene alkyl aryl ethers, polyoxypropylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters and monoglyceride alkyl esters are preferred.

具体的には、ポリオキシエチレングリコール、ポリオキシプロピレングリコールなどのポリオキシアルキレングリコール類;ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシアルキレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレントリベンジルフェニルエーテル、ポリオキシエチレン-プロピレンポリスチリル化エーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類;ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシアルキレンジアルキルエステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンソルビタン脂肪酸エステル類などのノニオン系界面活性剤がある。   Specifically, polyoxyalkylene glycols such as polyoxyethylene glycol and polyoxypropylene glycol; polyoxyalkylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxypropylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether; polyoxy Polyoxyethylene aryl ethers such as ethylene octyl phenyl ether, polyoxyethylene polystyryl ether, polyoxyethylene tribenzyl phenyl ether, polyoxyethylene-propylene polystyryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether; polyoxyethylene dilaurate , Polyoxyalkylene dialkyl esters such as polyoxyethylene distearate, sorbitan fatty acid ester There are nonionic surfactants such as stealth and polyoxyalkylene sorbitan fatty acid esters.

これらの具体例は、例えば、アデカプルロニックシリーズ、アデカノールシリーズ、テトロニックシリーズ(以上、ADEKA(株)製)、エマルゲンシリーズ、レオドールシリーズ(以上、花王(株)製)、エレミノールシリーズ、ノニポールシリーズ、オクタポールシリーズ、ドデカポールシリーズ、ニューポールシリーズ(以上、三洋化成(株)製)、パイオニンシリーズ(竹本油脂(株)製)、ニッサンノニオンシリーズ(日油(株)製)などである。これらの市販されているものが適宜使用できる。好ましいHLB値は8〜20、更に好ましくは10〜17である。   Specific examples of these include, for example, the Adeka Pluronic series, the Adecanol series, the Tetronic series (above, manufactured by ADEKA Corporation), the Emulgen series, the Leodol series (above, produced by Kao Corporation), the Eleminor series, the Noni series, Pole series, Octapole series, Dodecapol series, New Pole series (Sanyo Chemicals Co., Ltd.), Pionein series (Takemoto Yushi Co., Ltd.), Nissan Nonion series (Nissho Co., Ltd.), etc. is there. These commercially available products can be used as appropriate. A preferable HLB value is 8 to 20, more preferably 10 to 17.

フッ素系界面活性剤としては、末端、主鎖及び側鎖の少なくともいずれかの部位にフルオロアルキル基又はフルオロアルキレン基を有する化合物を好適に用いることができる。
具体的市販品としては、例えばメガファックF142D、同F172、同F173、同F176、同F177、同F183、同F780、同F781、同F782、同F784、同F552、同F554、同R30、同R08(以上、DIC(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431(以上、住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141、同S−145、同S−382、同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(以上、旭硝子(株)製)、エフトップEF351、同352、同801、同802(以上、JEMCO(株)製)などである。
As the fluorosurfactant, a compound having a fluoroalkyl group or a fluoroalkylene group in at least one of the terminal, main chain and side chain can be suitably used.
Specific commercial products include, for example, MegaFuck F142D, F172, F173, F176, F176, F177, F183, F780, F781, F782, F784, F552, F554, R554, R30, and R08. (Above, manufactured by DIC Corporation), FLORARD FC-135, FC-170C, FC-430, FC-431 (above, manufactured by Sumitomo 3M), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-106 ( As mentioned above, Asahi Glass Co., Ltd.), Ftop EF351, 352, 801, 802 (above, manufactured by JEMCO).

シリコーン系界面活性剤としては、例えばトーレシリコーンDC3PA、同DC7PA、同SH11PA、同SH21PA、同SH28PA、同SH29PA、同SH30PA、同SH−190、同SH−193、同SZ−6032、同SF−8428、同DC−57、同DC−190(以上、東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、TSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、TSF−4452(以上、GE東芝シリコーン(株)製)等を挙げることができる。
これらのうちで、本発明に好ましい界面活性剤としては、メガファックF780、同F781、同F782、同F784、同F552、及び同F554(以上、DIC(株)製)である。
Examples of the silicone-based surfactant include Torre Silicone DC3PA, DC7PA, SH11PA, SH21PA, SH28PA, SH29PA, SH30PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, and SF-8428. DC-57, DC-190 (above, manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4442 (above GE Toshiba Silicone Co., Ltd.).
Among these, the preferred surfactants for the present invention are Megafac F780, F781, F782, F784, F552, and F554 (manufactured by DIC Corporation).

これらの界面活性剤の添加量は、着色感光性樹脂組成物100質量部に対して、好ましくは5質量部以下、より好ましくは2質量部以下であり、更に好ましくは0.5質量部以下で用いられる。界面活性剤の量が5質量部を超える場合は、塗布乾燥でのスジや表面あれが生じやすく、平滑性が悪化しやすくなる。   The addition amount of these surfactants is preferably 5 parts by mass or less, more preferably 2 parts by mass or less, and still more preferably 0.5 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the colored photosensitive resin composition. Used. When the amount of the surfactant exceeds 5 parts by mass, streaks and surface roughness are likely to occur during coating and drying, and smoothness tends to deteriorate.

(熱硬化性樹脂)
本発明の着色感光性樹脂組成物は、所望によりエポキシ樹脂、オキセタン樹脂等の熱硬化性樹脂を含有することができる。
エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型化合物、クレゾールノボラック型化合物、ビフェニル型化合物、及び、脂環式エポキシ化合物などが挙げられる。
(Thermosetting resin)
The colored photosensitive resin composition of the present invention can contain a thermosetting resin such as an epoxy resin or an oxetane resin, if desired.
Examples of the epoxy resin include bisphenol A type compounds, cresol novolac type compounds, biphenyl type compounds, and alicyclic epoxy compounds.

例えばビスフェノールA型化合物としては、エポトートYD−115、YD−118T、YD−127、YD−128、YD−134、YD−8125、YD−7011R、ZX−1059、YDF−8170、YDF−170など(以上、東都化成製)、デナコールEX−1101、EX−1102、EX−1103など(以上、ナガセ化成製)、プラクセルGL−61、GL−62、G101、G102(以上、ダイセル化学製)の他に、これらの類似のビスフェノールF型化合物、ビスフェノールS型化合物も挙げることができる。またEbecryl
3700、3701、600(以上、ダイセルユーシービー製)などのエポキシアクリレートも使用可能である。
For example, bisphenol A type compounds include Epototo YD-115, YD-118T, YD-127, YD-128, YD-134, YD-8125, YD-7011R, ZX-1059, YDF-8170, YDF-170 and the like ( In addition to Toto Kasei Co., Ltd., Denacol EX-1101, EX-1102, EX-1103 and the like (Nagase Kasei), Plaxel GL-61, GL-62, G101, G102 (Made by Daicel Chemical) These similar bisphenol F-type compounds and bisphenol S-type compounds can also be mentioned. Ebecryl
Epoxy acrylates such as 3700, 3701, and 600 (manufactured by Daicel UC) can also be used.

クレゾールノボラック型化合物としては、エポトートYDPN−638、YDPN−701、YDPN−702、YDPN−703、YDPN−704など(以上、東都化成製)、デナコールEM−125など(以上、ナガセ化成製)、ビフェニル型化合物としては3,5,3’,5’−テトラメチル−4,4’ジグリシジルビフェニルなどが挙げられる。   Examples of the cresol novolak type compounds include Epototo YDPN-638, YDPN-701, YDPN-702, YDPN-703, YDPN-704, etc. (above, manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd.), Denacol EM-125, etc. (above, manufactured by Nagase Kasei), Biphenyl Examples of the type compound include 3,5,3 ′, 5′-tetramethyl-4,4′diglycidylbiphenyl and the like.

脂環式エポキシ化合物としては、セロキサイド2021、2081、2083、2085、エポリードGT−301、GT−302、GT−401、GT−403、EHPE−3150(以上、ダイセル化学製)、サントートST−3000、ST−4000、ST−5080、ST−5100など(以上、東都化成製)などを挙げることができる。他にアミン型エポキシ樹脂であるエポトートYH−434、YH−434L、ビスフェノールA型エポキシ樹脂の骨格中にダイマー酸を変性したグリシジルエステル等も使用できる。   Examples of the alicyclic epoxy compound include Celoxide 2021, 2081, 2083, 2085, Epolide GT-301, GT-302, GT-401, GT-403, EHPE-3150 (above, manufactured by Daicel Chemical), Santo Tote ST-3000, ST-4000, ST-5080, ST-5100 and the like (above, manufactured by Tohto Kasei) and the like can be mentioned. In addition, Epototo YH-434 and YH-434L, which are amine type epoxy resins, glycidyl ester in which dimer acid is modified in the skeleton of bisphenol A type epoxy resin can be used.

これらのエポキシ樹脂の中で、好ましくはノボラック型エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物が好ましく、エポキシ当量が180〜250のものが特に好ましい。このような素材としてはエピクロンN−660、N−670、N−680、N−690、YDCN−704L(以上、DIC(株)製)、EHPE3150(ダイセル化学製)を挙げることができる。   Among these epoxy resins, preferably novolak type epoxy compounds and alicyclic epoxy compounds are preferable, and those having an epoxy equivalent of 180 to 250 are particularly preferable. Examples of such a material include Epicron N-660, N-670, N-680, N-690, YDCN-704L (manufactured by DIC Corporation), and EHPE3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries).

オキセタン樹脂として、アロンオキセタンOXT−101、OXT−121、OXT−211、OXT−221、OXT−212、OXT−610、OX−SQ、PNOX(以上、東亞合成製)を用いることができる。
またオキセタン樹脂は、単独で又はアクリル系共重合体、エポキシ樹脂及びマレイミド樹脂と混合して使用することができる。特にエポキシ樹脂との併用で用いた場合には紫外光レーザー露光により発生した熱による反応性が高く、基板との密着性の観点から好ましい。
本発明に係るエポキシ樹脂、及びオキセタン樹脂の着色感光性樹脂組成物中における含有量としては、着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して、0.5〜15質量%が好ましく、1〜10質量%がアルカリに対する溶解性と基板との密着性の両立の観点から好ましい。
As the oxetane resin, Aron oxetane OXT-101, OXT-121, OXT-211, OXT-221, OXT-212, OXT-610, OX-SQ, PNOX (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) can be used.
The oxetane resin can be used alone or mixed with an acrylic copolymer, an epoxy resin and a maleimide resin. In particular, when used in combination with an epoxy resin, the reactivity due to heat generated by ultraviolet laser exposure is high, which is preferable from the viewpoint of adhesion to the substrate.
As content in the colored photosensitive resin composition of the epoxy resin which concerns on this invention, and an oxetane resin, 0.5-15 mass% is preferable with respect to the total solid of a colored photosensitive resin composition, 1- 10% by mass is preferable from the viewpoint of both solubility in alkali and adhesion to the substrate.

(有機カルボン酸)
未硬化部のアルカリ溶解性を促進し、着色感光性樹脂組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、有機カルボン酸、好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行なうことができる。具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、フェノキシ酢酸、メトキシフェノキシ酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
(Organic carboxylic acid)
In order to promote the alkali solubility of the uncured part and further improve the developability of the colored photosensitive resin composition, an organic carboxylic acid, preferably a low molecular weight organic carboxylic acid having a molecular weight of 1000 or less is added. Can do. Specifically, for example, aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, camphoric acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid Phenoxyacetic acid, methoxyphenoxy acetic, hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenyl succinic acid, atropic acid, cinnamic acid, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, other carboxylic acids such as umbellic acid.

(シランカップリング剤)
本発明の着色感光性樹脂組成物には、更なる基板との密着性向上の観点から、シランカップリング剤を使用することができる。
シランカップリング剤は、無機材料と化学結合可能な加水分解性基としてアルコキシシリル基を有するものが好ましい。また有機樹脂との間で相互作用もしくは結合形成して親和性を示す基を有することが好ましく、そのような基としては(メタ)アクリロイル基、フェニル基、メルカプト基、グリシジル基、オキセタニル基を有するものが好ましく、その中でも(メタ)アクリロイル基又はグリシジル基を有するものが好ましい。
即ち、本発明に用いるシランカップリング剤としては、アルコキシシリル基と、(メタ)アクリロイル基又はエポキシ基と、を有する化合物であることが好ましく、具体的には下記構造の(メタ)アクリロイル−トリメトキシシラン化合物、グリシジル−トリメトキシシラン化合物等が挙げられる。
(Silane coupling agent)
A silane coupling agent can be used for the colored photosensitive resin composition of this invention from a viewpoint of the adhesive improvement with the further board | substrate.
The silane coupling agent preferably has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group that can be chemically bonded to an inorganic material. In addition, it preferably has a group that interacts or forms a bond with an organic resin and exhibits an affinity, and such a group has a (meth) acryloyl group, a phenyl group, a mercapto group, a glycidyl group, and an oxetanyl group. Among them, those having a (meth) acryloyl group or a glycidyl group are preferable.
That is, the silane coupling agent used in the present invention is preferably a compound having an alkoxysilyl group and a (meth) acryloyl group or an epoxy group, and specifically, a (meth) acryloyl-tri having the following structure. Examples include methoxysilane compounds and glycidyl-trimethoxysilane compounds.

シランカップリング剤を用いる場合の添加量としては、本発明に用いられる着色感光性樹脂組成物中の全固形分中、0.2質量%〜5.0質量%の範囲であることが好ましく、0.5質量%〜3.0質量%がより好ましい。   As the addition amount in the case of using a silane coupling agent, the total solid content in the colored photosensitive resin composition used in the present invention is preferably in the range of 0.2% by mass to 5.0% by mass, 0.5 mass%-3.0 mass% are more preferable.

(重合禁止剤)
本発明においては、着色感光性樹脂組成物の製造中あるいは保存中において重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩、フェノキサジン、フェノチアジン等が挙げられる。
(Polymerization inhibitor)
In the present invention, it is desirable to add a small amount of a thermal polymerization inhibitor in order to prevent unnecessary thermal polymerization of the polymerizable compound during the production or storage of the colored photosensitive resin composition.
Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6). -T-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt, phenoxazine, phenothiazine and the like.

熱重合防止剤の添加量は、着色感光性樹脂組成物に対して、0.01質量%〜5質量%が好ましい。
また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させることもできる。高級脂肪酸誘導体の添加量は、着色感光性樹脂組成物の0.5質量%〜10質量%が好ましい。
The addition amount of the thermal polymerization inhibitor is preferably 0.01% by mass to 5% by mass with respect to the colored photosensitive resin composition.
If necessary, higher fatty acid derivatives such as behenic acid and behenic acid amide can be added to prevent polymerization inhibition due to oxygen and can be unevenly distributed on the surface of the photosensitive layer during the drying process after coating. . The addition amount of the higher fatty acid derivative is preferably 0.5% by mass to 10% by mass of the colored photosensitive resin composition.

(可塑剤)
さらに、本発明においては、着色感光性樹脂組成物の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤等を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、(C)重合性化合物と(B)バインダー樹脂との合計質量に対し10質量%以下を添加することができる。
(Plasticizer)
Furthermore, in the present invention, an inorganic filler, a plasticizer, or the like may be added in order to improve the physical properties of the colored photosensitive resin composition.
Examples of the plasticizer include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, triacetyl glycerin, and the like (C) polymerizable compound ( B) 10 mass% or less can be added with respect to the total mass with binder resin.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、従来公知の露光手段により硬化させることができるが、中でも紫外光の露光により高感度で硬化し、また、基板への高い密着性を示す。紫外光の露光手段としては、レーザー露光法及びプロキシミティ露光法のいずれでもよいが、表面レチキュレーションを抑制する観点から、レーザー露光法が好適である。本発明の着色感光性樹脂組成物は、カラーフィルタの着色パターン形成に好ましく使用することができる。   Although the colored photosensitive resin composition of the present invention can be cured by a conventionally known exposure means, among them, it is cured with high sensitivity by exposure to ultraviolet light and exhibits high adhesion to a substrate. The ultraviolet light exposure means may be either a laser exposure method or a proximity exposure method, but a laser exposure method is preferred from the viewpoint of suppressing surface reticulation. The colored photosensitive resin composition of the present invention can be preferably used for forming a colored pattern of a color filter.

≪パターン形成方法、カラーフィルタ及びその製造方法≫
本発明の着色感光性樹脂組成物及びパターン形成方法は、液晶表示装置用カラーフィルタに好適である。以下、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法を、液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法におけるパターンの形成方法として説明するが、本発明はこの方法に限定されるものではない。
≪Pattern forming method, color filter and manufacturing method thereof≫
The colored photosensitive resin composition and the pattern forming method of the present invention are suitable for a color filter for a liquid crystal display device. Hereinafter, a pattern forming method using the colored photosensitive resin composition of the present invention will be described as a pattern forming method in a method for producing a color filter for a liquid crystal display device, but the present invention is not limited to this method. .

本発明のパターン形成方法は、本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層に対してパターン様の紫外光レーザーによる露光をし、潜像を形成する露光工程と、前記潜像が形成された着色層を現像してパターンを形成する現像工程と、を含む。更に、必要に応じて、前記着色層をベークする工程(プリベーク工程)、及び、現像された前記着色層をベークする工程(ベーク工程)を設けてもよい。これらの工程をあわせて、パターン形成工程ということがある。   The pattern forming method of the present invention includes a colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, and exposing the colored layer with a pattern-like ultraviolet laser. And an exposure step for forming a latent image and a development step for developing the colored layer on which the latent image is formed to form a pattern. Furthermore, you may provide the process (baking process) of baking the said colored layer and the process (baking process) of baking the developed said colored layer as needed. These processes may be collectively referred to as a pattern formation process.

〔着色層形成工程〕
本発明における着色層形成工程は、本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する工程である。
基板としては、例えば、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、固体撮像素子等に用いられる光電変換素子基板が挙げられる。さらに、プラスチック基板も使用可能である。これらの基板を用いて、格子状などにブラックマトリックスを形成し、格子の空いた部分に着色パターンが形成されることが好ましい。
[Colored layer forming step]
The colored layer forming step in the present invention is a step of forming the colored layer by applying the colored photosensitive resin composition of the present invention on the substrate.
As the substrate, for example, non-alkali glass, soda glass, borosilicate glass, quartz glass used for liquid crystal display devices and the like, and a substrate obtained by attaching a transparent conductive film thereto, a photoelectric conversion element substrate used for a solid-state imaging device, etc. Is mentioned. Furthermore, a plastic substrate can also be used. It is preferable that a black matrix is formed in a lattice shape or the like using these substrates, and a colored pattern is formed in an empty portion of the lattice.

これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。基板は大型(おおむね1辺1m以上)である方が、本発明の効果をより奏する点で好ましい。   If necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the substrate surface. It is preferable that the substrate is large (generally 1 m or more per side) from the standpoint of achieving the effects of the present invention.

基板上に着色層を形成するために、前記本発明の着色感光性樹脂組成物を付与する方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布による付与方法を適用することができる。塗布法の中ではスリット塗布が精度と速さの観点で好ましい。
また、予め仮支持体上に上記塗布法によって形成した塗膜を、基板上に転写する付与方法を適用することもできる。
転写方法に関しては特開2006−23696号公報の段落番号[0023]、[0036]〜[0051]や、特開2006−47592号公報の段落番号[0096]〜[0108]に記載の作製方法を本発明においても好適に用いることができる。
As a method for applying the colored photosensitive resin composition of the present invention in order to form a colored layer on a substrate, various methods such as slit coating, ink jet method, spin coating, cast coating, roll coating, screen printing method, etc. An application method by coating can be applied. Among the coating methods, slit coating is preferable from the viewpoints of accuracy and speed.
Moreover, the provision method which transfers the coating film previously formed by the said application | coating method on the temporary support body on a board | substrate can also be applied.
Regarding the transfer method, the production methods described in paragraph numbers [0023] and [0036] to [0051] of JP-A-2006-23696 and paragraph numbers [0096] to [0108] of JP-A-2006-47592 are used. It can be suitably used in the present invention.

本発明における着色層の層厚(例えば、塗布厚)は、充分な色再現領域を得、且つ充分なパネルの輝度を得るために、乾燥後の膜厚が、0.5μm〜3.0μmとなるように形成することが好ましく、1.5μm〜2.5μmとすることがより好ましい。   The thickness of the colored layer in the present invention (for example, coating thickness) is 0.5 μm to 3.0 μm after drying to obtain a sufficient color reproduction region and sufficient panel luminance. It is preferable to form so that it may become, and it is more preferable to set it as 1.5 micrometers-2.5 micrometers.

〔乾燥工程〕
上記のような着色感光性樹脂組成物の付与が終了した後、真空乾燥(VCD)により溶剤を乾燥させる乾燥工程を行ってもよい。またさらに、基板上の塗膜を加熱乾燥(プリベーク)させて着色層を得てもよい。
塗膜のプリベーク温度は、60℃〜140℃が好ましく、80℃〜120℃がより好ましい。また、プリベーク時間は、30秒〜300秒が好ましく、80秒〜200秒がより好ましい。
[Drying process]
After the application of the colored photosensitive resin composition as described above is completed, a drying step of drying the solvent by vacuum drying (VCD) may be performed. Furthermore, the coating layer on the substrate may be heat-dried (prebaked) to obtain a colored layer.
The prebaking temperature of the coating film is preferably 60 ° C to 140 ° C, more preferably 80 ° C to 120 ° C. The pre-bake time is preferably 30 seconds to 300 seconds, and more preferably 80 seconds to 200 seconds.

〔露光工程〕
本発明における露光工程は、前記着色層に対してパターン様に紫外光レーザーによる露光をし、露光領域を硬化させて潜像を形成する工程である。本発明の露光工程により、着色感光性樹脂組成物におけるパターン状の露光領域で、(D)特定重合開始剤から発生した開始種により、(C)重合性化合物の重合硬化反応が生起、進行し、同時に紫外光レーザー露光によって発生した熱によって(B)バインダー樹脂の分子内に存在するアリル基、N位−置換マレイミド基、又は環状イミド基が熱反応を起こし、硬化反応が生起、進行し、露光領域が光・熱デュアル硬化することで、硬化領域と未硬化領域とからなるパターンが形成されるものと考えられる。
[Exposure process]
The exposure step in the present invention is a step of forming a latent image by exposing the colored layer with an ultraviolet laser in a pattern and curing the exposed region. By the exposure process of the present invention, (C) the polymerization curing reaction of the polymerizable compound occurs and proceeds by the initiation species generated from the (D) specific polymerization initiator in the patterned exposure region in the colored photosensitive resin composition. At the same time, the allyl group, N-substituted maleimide group, or cyclic imide group present in the molecule of the binder resin (B) due to heat generated by ultraviolet laser exposure causes a thermal reaction, and a curing reaction occurs and proceeds. It is considered that a pattern composed of a cured region and an uncured region is formed by the light and heat dual curing of the exposed region.

レーザーの励起媒体としては、結晶、ガラス、液体、色素、気体などがあり、これらの媒質から固体レーザー、液体レーザー、気体レーザー、半導体レーザーなどの公知の紫外光に発振波長を有するレーザーを用いることができる。その中でも、レーザーの出力及び発振波長の観点から、固体レーザー、ガスレーザーが好ましい。   Laser excitation media include crystals, glass, liquids, dyes, gases, etc., and lasers having oscillation wavelengths for known ultraviolet light, such as solid lasers, liquid lasers, gas lasers, and semiconductor lasers, are used from these media. Can do. Among these, a solid laser and a gas laser are preferable from the viewpoint of laser output and oscillation wavelength.

本発明に用いる紫外光レーザーの露光波長としては、着色感光性樹脂組成物の感光波長に合致し感度がよい点で、300nm〜380nmの範囲が好ましく、310nm〜360nmの範囲がより好ましく、特に355nm波長レーザー露光法が好適である。   The exposure wavelength of the ultraviolet laser used in the present invention is preferably in the range of 300 nm to 380 nm, more preferably in the range of 310 nm to 360 nm, particularly 355 nm, in terms of good sensitivity that matches the photosensitive wavelength of the colored photosensitive resin composition. A wavelength laser exposure method is preferred.

具体的には、特に出力が大きく、比較的安価な固体レーザーのNd:YAGレーザーの第三高調波(355nm)や、エキシマレーザーのXeCl(308nm)、XeF(353nm)を好適に用いることができる。
また、被露光物(パターン)の露光量としては、1mJ/cm〜100mJ/cmの範囲であり、1mJ/cm〜50mJ/cmの範囲がより好ましい。露光量がこの範囲であると、パターン形成の生産性の点で好ましい。
Specifically, the Nd: YAG laser third harmonic (355 nm), which is a relatively inexpensive solid output, and the excimer laser XeCl (308 nm), XeF (353 nm) can be suitably used. .
As the exposure amount of the exposure object (pattern), in the range of 1mJ / cm 2 ~100mJ / cm 2 , the range of 1mJ / cm 2 ~50mJ / cm 2 is more preferable. An exposure amount within this range is preferable from the viewpoint of pattern formation productivity.

本発明に用いる紫外光レーザーは、生産性の観点から、20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーであることが好ましい。   The ultraviolet laser used in the present invention is preferably a pulse laser oscillated at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz from the viewpoint of productivity.

本発明に使用可能な露光装置としては特に制限はないが、市販されているものとしては、EGIS(ブイテクノロジー株式会社製)やDF2200G(大日本スクリーン株式会社製などが使用可能である。上記以外の装置も好適に用いられる。   There are no particular restrictions on the exposure apparatus that can be used in the present invention, but commercially available ones such as EGIS (buoy technology) or DF2200G (Dainippon Screen Co., Ltd.) can be used. These devices are also preferably used.

紫外光レーザーは光の平行度が良好で、露光の際にマスクを使用しないで、パターン露光ができるが、パターン形状が出力光の形状、プロファイルの影響を受ける。そのため、マスクを用いてパターンを露光した方が、パターンの直線性が高くなるので好ましい。   The ultraviolet laser has good light parallelism, and pattern exposure can be performed without using a mask during exposure, but the pattern shape is affected by the shape and profile of the output light. Therefore, it is preferable to expose the pattern using a mask because the linearity of the pattern becomes high.

〔現像工程〕
本発明における現像工程は、前記露光領域において硬化により潜像が形成された着色層を現像して、未露光部を除去し、パターンを形成する工程である。紫外光レーザーによる露光領域はパターン状に硬化しており、現像処理では、アルカリ現像処理を行うことにより、上記露光工程での未照射部分(未硬化部分)を、アルカリ水溶液に溶出させて除去し、光硬化した部分だけを残すことによって、パターンを形成させることができる。
[Development process]
The developing step in the present invention is a step of developing a colored layer in which a latent image is formed by curing in the exposed area, removing an unexposed portion, and forming a pattern. The exposure area by the ultraviolet laser is cured in a pattern, and in the development process, the unexposed part (uncured part) in the exposure process is removed by elution in an alkaline aqueous solution by performing an alkali development process. The pattern can be formed by leaving only the photocured part.

現像液としては、有機アルカリ現像液や無機アルカリ現像液又はその混合液が使用される。
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ性化合物を濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後に純水で洗浄(リンス)する。
As the developer, an organic alkali developer, an inorganic alkali developer or a mixture thereof is used.
Examples of the alkali agent used in the developer include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium bicarbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxy. And organic alkaline compounds such as tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, and the concentration of these alkaline compounds is 0.001 to 0.001. An alkaline aqueous solution diluted with pure water so as to be 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass, is preferably used as the developer. In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.

現像温度としては20℃〜35℃が好ましく、23℃〜30℃がより好ましい。現像時間は、30秒〜120秒が好ましく、40秒〜90秒がより好ましい。これらのうち、現像温度と現像時間の好ましい組み合わせは、例えば、温度25℃では50秒〜100秒であり、温度30℃では40秒〜80秒であることが挙げられる。
また、シャワー圧は、0.01MPa〜0.5MPaが好ましく、0.05MPa〜0.3MPaが好ましく、0.1MPa〜0.3MPaが好ましい。これらの条件を選択することによって、パターンの形状を、矩形にしたり、順テーパにしたり任意に設計することができる。
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いることで、現像時に生じるパターン上のシワの発生が抑制され、形成されたパターンは平滑性に優れる。
The development temperature is preferably 20 ° C to 35 ° C, more preferably 23 ° C to 30 ° C. The development time is preferably 30 seconds to 120 seconds, and more preferably 40 seconds to 90 seconds. Among these, a preferable combination of the development temperature and the development time is, for example, 50 seconds to 100 seconds at a temperature of 25 ° C. and 40 seconds to 80 seconds at a temperature of 30 ° C.
The shower pressure is preferably 0.01 MPa to 0.5 MPa, preferably 0.05 MPa to 0.3 MPa, and preferably 0.1 MPa to 0.3 MPa. By selecting these conditions, it is possible to arbitrarily design the pattern shape to be rectangular or forward tapered.
By using the colored photosensitive resin composition of the present invention, the generation of wrinkles on the pattern generated during development is suppressed, and the formed pattern is excellent in smoothness.

〔ポストベーク工程〕
本発明においては、着色感光性樹脂組成物の硬化を完全なものとするために、現像された前記着色層をベークするポストベーク工程を設けることが好ましい。ベークする方法は、現像・リンス後のパターンを有する基板を、ホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で加熱することによって行うことができる。
ベークの条件としては、温度は、150℃〜260℃が好ましく、180℃〜260℃がより好ましく、200℃〜240℃が最も好ましい。ベーク時間は、10分間〜150分間が好ましく、20分間〜120分間がより好ましく、20分間〜90分間がもっとも好ましい。
[Post-baking process]
In the present invention, in order to complete the curing of the colored photosensitive resin composition, it is preferable to provide a post-baking step of baking the developed colored layer. Baking is performed by heating a substrate having a pattern after development and rinsing in a continuous or batch manner using heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater, or the like. It can be carried out.
As conditions for baking, the temperature is preferably 150 ° C to 260 ° C, more preferably 180 ° C to 260 ° C, and most preferably 200 ° C to 240 ° C. The baking time is preferably 10 minutes to 150 minutes, more preferably 20 minutes to 120 minutes, and most preferably 20 minutes to 90 minutes.

なお、RGB3色相、遮光層等、複数色相の着色パターンを形成するときは、着色層の形成、露光、現像、及びベークのサイクルを、所望の色相数だけ繰り返してもよいし、色相ごとに着色層の形成、露光、及び現像を行ってから、最後に全色相分まとめてベークを行なってもよい。これにより、所望の色相よりなる着色画素を備えたカラーフィルタが作製される。   When forming a colored pattern of a plurality of hues, such as RGB three hues and a light-shielding layer, the cycle of forming the colored layers, exposing, developing, and baking may be repeated for the desired number of hues, or colored for each hue. After the formation of the layer, exposure, and development, the entire hue may be finally baked. As a result, a color filter including colored pixels having a desired hue is produced.

≪液晶表示装置≫
本発明のカラーフィルタは、液晶表示装置の作成に好適であり、本発明のパターン形成方法で作製したカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、高品位の画像を表示することができる。
表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
≪Liquid crystal display device≫
The color filter of the present invention is suitable for the production of a liquid crystal display device, and the liquid crystal display device using the color filter produced by the pattern forming method of the present invention can display a high-quality image.
For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)). The liquid crystal display device is described in, for example, “Next Generation Liquid Crystal Display Technology (Edited by Tatsuo Uchida, Issued in 1994 by Industrial Research Co., Ltd.)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”.

液晶表示装置用カラーフィルタは、中でも特に、カラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、STN、TN、VA、OCS、FFS、及びR−OCB等にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明の液晶表示素子用カラーフィルタはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。
これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉(株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。
The color filter for a liquid crystal display device is particularly effective for a color TFT type liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA, STN, TN, VA, OCS, FFS, and R-OCB. . These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".
In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The color filter for a liquid crystal display element of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members.
For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi Co., Ltd.) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380(2005)(A.Konno et.al)や、月刊デイスプレイ 2005年12月号の18〜24ページ(島 康裕)、同25〜30ページ(八木 隆明)などに記載されている。   Regarding backlights, SID meeting Digest 1380 (2005) (A. Konno et.al), Monthly Display December 2005, 18-24 pages (Yasuhiro Shima), 25-30 pages (Yukiaki Yagi), etc. Are listed.

本発明のパターン形成方法によって作製されたカラーフィルタを液晶表示装置に用いて、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、更に赤、緑、青のLED光源(RGB−LED)をバックライトとすることによって輝度が高く、また色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。   When the color filter produced by the pattern forming method of the present invention is used in a liquid crystal display device and combined with a conventionally known three-wavelength tube of a cold cathode tube, a high contrast can be realized. By using a light source (RGB-LED) as a backlight, a liquid crystal display device having high luminance and high color purity and good color reproducibility can be provided.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「%」及び「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “%” and “part” are based on mass.

(合成例1:アリル基を有するアルカリ可溶性樹脂1の合成)
撹拌羽を供えた撹拌棒、還流冷却管、温度計を備えた、200mL三つ口フラスコに1−メトキシ−2−プロパノール 54gを入れ、窒素気流下、70℃に加熱した。アリルメタクリレート 10.07g、メタクリレート 1.93g、重合開始剤として2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル) 0.185gを1-メトキシ-2-プロパノール 54gに溶解した溶液を、プランジャーポンプを用いて、2.5時間かけて、三つ口フラスコ内に滴下した。滴下終了後、さらに70℃で2時間撹拌した。加熱終了後、水1Lへ投入し、再沈した。析出物を濾過後、真空乾燥させ、9g(収率75%)のポリマー化合物を得た。
重量平均分子量の測定試料として、得られたポリマー 0.01gを10mLメスフラスコに秤取り、テトラヒドロフラン約8mLを加えて室温で溶解した後に全量を10mLにした。この溶液をゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)を用いて測定した。アルカリ可溶性樹脂1(アリルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、モル比=80/20)の重量平均分子量は35000であった。
(Synthesis Example 1: Synthesis of alkali-soluble resin 1 having an allyl group)
54 g of 1-methoxy-2-propanol was placed in a 200 mL three-necked flask equipped with a stirring rod provided with stirring blades, a reflux condenser, and a thermometer, and heated to 70 ° C. under a nitrogen stream. A solution obtained by dissolving 10.07 g of allyl methacrylate, 1.93 g of methacrylate and 0.185 g of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) as a polymerization initiator in 54 g of 1-methoxy-2-propanol was used as a plunger. Using a pump, it was dropped into the three-necked flask over 2.5 hours. After completion of dropping, the mixture was further stirred at 70 ° C. for 2 hours. After completion of heating, it was poured into 1 L of water and re-precipitated. The precipitate was filtered and then vacuum dried to obtain 9 g (yield 75%) of the polymer compound.
As a measurement sample of the weight average molecular weight, 0.01 g of the obtained polymer was weighed into a 10 mL volumetric flask, and about 8 mL of tetrahydrofuran was added and dissolved at room temperature. This solution was measured using gel permeation chromatography (GPC). The weight average molecular weight of the alkali-soluble resin 1 (allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, molar ratio = 80/20) was 35,000.

[実施例1]
1−1.化合物A〔(D)特定重合開始剤〕の合成
<ステップ1:カルバゾール誘導体1の製造>
下記カルバゾール誘導体1を、以下のようにして製造した。
[Example 1]
1-1. Synthesis of Compound A [(D) Specific Polymerization Initiator] <Step 1: Production of Carbazole Derivative 1>
The following carbazole derivative 1 was produced as follows.

2−チオフェンカルボニルクロリド7.53g(0.05モル)、N−エチルカルバゾール14.6g(0.075モル)、塩化亜鉛0.34g(0.0025モル)及びクロロベンゼン100gを仕込み、75〜90℃で2日間攪拌した。その後、酢酸エチル200g及び水200gを加えて油層を抽出した。さらに、溶媒を留去後、カラムクロマトグラフィー(酢酸エチル:n−ヘキサン=1:4〜1:2)により精製を行い、緑色粘性液状物(収量6.5g、収率43%、純度94.3%)を得た。   2-thiophenecarbonyl chloride 7.53 g (0.05 mol), N-ethylcarbazole 14.6 g (0.075 mol), zinc chloride 0.34 g (0.0025 mol) and chlorobenzene 100 g were charged at 75 to 90 ° C. For 2 days. Thereafter, 200 g of ethyl acetate and 200 g of water were added to extract the oil layer. Furthermore, after distilling off the solvent, the residue was purified by column chromatography (ethyl acetate: n-hexane = 1: 4 to 1: 2) to give a green viscous liquid (yield 6.5 g, yield 43%, purity 94.95). 3%).

得られた液状物のH−NMRのケミカルシフトは次の通りであり、該液状物は目的物であるカルバゾール誘導体1であることを確認した。
8.71(s:1H)、8.13(d:1H)、8.10(d:1H)、7.73(d:2H)、7.53(d:1H)、7.46(t:2H)、7.34(d:1H)、7.32(t:1H)、4.42(q:2H)、1.48(t:3H)
The chemical shift of 1 H-NMR of the obtained liquid was as follows, and it was confirmed that the liquid was carbazole derivative 1 which was the target product.
8.71 (s: 1H), 8.13 (d: 1H), 8.10 (d: 1H), 7.73 (d: 2H), 7.53 (d: 1H), 7.46 (t : 2H), 7.34 (d: 1H), 7.32 (t: 1H), 4.42 (q: 2H), 1.48 (t: 3H)

<ステップ2:アセチル体1の製造>
下記アセチル体1を、以下のようにして製造した。
<Step 2: Production of acetyl derivative 1>
The following acetyl derivative 1 was produced as follows.

ステップ1で得られたカルバゾール誘導体1の9.1g(0.03モル)、塩化アルミニウム9.6g(0.072モル)及びクロロベンゼン50gを仕込み、0℃でアセチルクロリド2.62g(0.033モル)を30分かけて滴下し、さらに室温で1時間攪拌した。その後、酢酸エチル30gと水40gを加えて塩化アルミニウムを分解し、油層を抽出して溶媒を留去することにより、緑色粘性液状物(収量9.2g、収率89%、純度94%)を得た。   9.1 g (0.03 mol) of carbazole derivative 1 obtained in Step 1, 9.6 g (0.072 mol) of aluminum chloride and 50 g of chlorobenzene were charged, and 2.62 g (0.033 mol) of acetyl chloride at 0 ° C. ) Was added dropwise over 30 minutes, and the mixture was further stirred at room temperature for 1 hour. Thereafter, 30 g of ethyl acetate and 40 g of water are added to decompose aluminum chloride, and the oily layer is extracted and the solvent is distilled off to obtain a green viscous liquid (yield 9.2 g, yield 89%, purity 94%). Obtained.

得られた液状物は、H−NMRのケミカルシフトが次の通りであり、該液状物は目的物であるアセチル体1であることを確認した。
8.77(s:1H)、8.74(s:1H)、8.17(d:1H)、8.12(d:1H)、7.74(d:2H)、7.52(d:2H)、7.22(t:1H)、4.44(q:2H)、2.74(s:3H)、1.50(t:3H)
The obtained liquid material had the following 1 H-NMR chemical shift, and it was confirmed that the liquid material was acetyl compound 1 as the target product.
8.77 (s: 1H), 8.74 (s: 1H), 8.17 (d: 1H), 8.12 (d: 1H), 7.74 (d: 2H), 7.52 (d : 2H), 7.22 (t: 1H), 4.44 (q: 2H), 2.74 (s: 3H), 1.50 (t: 3H)

<ステップ3:オキシム体1の製造>
下記オキシム体1を、以下のようにして製造した。
<Step 3: Production of oxime body 1>
The following oxime body 1 was produced as follows.

ステップ2で得られたアセチル体1の10.4g(0.03モル)、塩酸ヒドロキシルアミン9.6g(0.072モル)及びジメチルホルムアミド30gを仕込み、80℃で2時間攪拌した。その後、酢酸エチル30g、n−ヘキサン10g及び水50gを加えて油層を抽出した。溶媒を留去してカラムクロマトグラフィー(酢酸エチル:n−ヘキサン=1:1〜1:3)により精製を行い、淡黄色固体(収量3.0g、収率28%、純度94%)を得た。   10.4 g (0.03 mol) of acetyl compound 1 obtained in Step 2, 9.6 g (0.072 mol) of hydroxylamine hydrochloride and 30 g of dimethylformamide were charged and stirred at 80 ° C. for 2 hours. Thereafter, 30 g of ethyl acetate, 10 g of n-hexane and 50 g of water were added to extract the oil layer. The solvent was distilled off and purification was performed by column chromatography (ethyl acetate: n-hexane = 1: 1 to 1: 3) to obtain a pale yellow solid (yield 3.0 g, yield 28%, purity 94%). It was.

得られた固体は、H−NMRのケミカルシフトが次の通りであり、該固体は目的物であるオキシム体1であることを確認した。
8.72(s:1H)、8.38(s:1H)、8.10(d:1H)、7.87(d:1H)、7.74(d:2H)、7.48(d:2H)、7.21(t:1H)、4.42(q:2H)、2.43(s:3H)、1.50(t:3H)
The obtained solid had a chemical shift of 1 H-NMR as follows, and it was confirmed that the solid was the oxime body 1 as the target product.
8.72 (s: 1H), 8.38 (s: 1H), 8.10 (d: 1H), 7.87 (d: 1H), 7.74 (d: 2H), 7.48 (d : 2H), 7.21 (t: 1H), 4.42 (q: 2H), 2.43 (s: 3H), 1.50 (t: 3H)

<ステップ4:化合物Aの製造>
重合開始剤(化合物A)を、以下のようにして製造した。
<Step 4: Production of Compound A>
A polymerization initiator (Compound A) was produced as follows.

ステップ3で得られたオキシム体1の1.82g(0.005モル)、無水酢酸0.61g(0.006モル)及び酢酸プロピル15gを仕込み、80℃で2時間攪拌すると固体が析出した。30℃で固体をろ別し、メタノール/酢酸プロピル混合溶媒により洗浄し、白色固体(収量1.4g、収率70%、純度98%)を得た。   When 1.82 g (0.005 mol) of oxime 1 obtained in Step 3, 0.61 g (0.006 mol) of acetic anhydride and 15 g of propyl acetate were charged and stirred at 80 ° C. for 2 hours, a solid was precipitated. The solid was filtered off at 30 ° C. and washed with a methanol / propyl acetate mixed solvent to obtain a white solid (yield 1.4 g, yield 70%, purity 98%).

得られた固体は、H−NMRのケミカルシフトが次の通りであり、該固体は目的物である化合物A(特定重合開始剤)であることを確認した。
8.72(s:1H)、8.51(s:1H)、8.12(d:1H)、7.99(d:1H)、7.74(d:2H)、7.52(d:2H)、7.21(t:1H)、4.42(q:2H)、2.53(s:3H)、2.30(s:3H)、1.49(t:3H)
The obtained solid had the following 1 H-NMR chemical shift, and it was confirmed that the solid was Compound A (specific polymerization initiator), which was the target product.
8.72 (s: 1H), 8.51 (s: 1H), 8.12 (d: 1H), 7.99 (d: 1H), 7.74 (d: 2H), 7.52 (d : 2H), 7.21 (t: 1H), 4.42 (q: 2H), 2.53 (s: 3H), 2.30 (s: 3H), 1.49 (t: 3H)

1−2.着色感光性樹脂組成物の調製
(顔料分散液1の調製)
顔料分散液1を次のようにして調製した。すなわち、下記に記載の組成にて、ホモジナイザーを用いて回転数3,000r.p.m.で3時間撹拌して混合し、混合溶液を調製し、さらに0.1mmφジルコニアビーズを用いたビーズ分散機ウルトラアペックスミル(寿工業社製)にて8時間分散処理を行なった。
1-2. Preparation of colored photosensitive resin composition (Preparation of pigment dispersion 1)
Pigment dispersion 1 was prepared as follows. That is, with the composition described below, a homogenizer was used and stirred for 3 hours at a rotation speed of 3,000 rpm to prepare a mixed solution, and further bead dispersion using 0.1 mmφ zirconia beads Dispersion treatment was carried out for 8 hours using a machine Ultra Apex Mill (manufactured by Kotobuki Industries Co., Ltd.)

・C.I.ピグメントブルー15:6 11.8部
・C.I.ピグメントバイオレット23 1.0部
・Disperbyk161 ビックケミー社製(30%溶液) 24部
・プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(以下、PGMEAと称する。)
63.2部
合計100部
CI Pigment Blue 15: 6 11.8 parts CI Pigment Violet 23 1.0 parts Disperbyk 161 manufactured by Big Chemie (30% solution) 24 parts Propylene glycol methyl ether acetate (hereinafter referred to as PGMEA)
63.2 parts
100 copies in total

(感光性樹脂組成物の調製)
得られた顔料分散液1を39.2部に、さらに以下の組成の成分を添加し、撹拌混合して青色(B)用感光性樹脂組成物を調製した。
・アルカリ可溶性樹脂1(アリルメタクリレート/メタクリル酸共重合体、
モル比=80/20、重量平均分子量=35000) の20%PGMEA溶液 16.4部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(日本化薬(株)製、KAYARAD DPHA) 3.9部
・重合性化合物:テトラメチロールメタンテトラアクリレート
(新中村化学(株)製、NKエステル A−TMMT) 0.69部
・光重合開始剤:化合物A(下記構造;前記合成例で得られた化合物) 2.74部
・多官能チオール化合物(増感剤:下記構造) 0.55部
・エポキシ化合物:(ダイセル化学(株)製、EHPE3150) 0.60部
・溶剤:PGMEAと3−エトキシエチルプロピオネート
(=80/20[質量比])の混合溶液 35.9部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール 0.001部
・界面活性剤1:メガファックF−554(DIC社製) 0.02部
(Preparation of photosensitive resin composition)
A component of the following composition was further added to 39.2 parts of the obtained pigment dispersion 1, and the mixture was stirred and mixed to prepare a blue (B) photosensitive resin composition.
Alkali-soluble resin 1 (allyl methacrylate / methacrylic acid copolymer,
16.4 parts of 20% PGMEA solution with a molar ratio of 80/20 and a weight average molecular weight of 35000) Polymerizable compound: Dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., KAYARAD DPHA) 3.9 parts 1. Compound: Tetramethylolmethane tetraacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., NK Ester A-TMMT) 0.69 parts Photopolymerization initiator: Compound A (the following structure; compound obtained in the above synthesis example) 74 parts ・ Polyfunctional thiol compound (sensitizer: structure below) 0.55 parts ・ Epoxy compound: (EHPE3150, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) 0.60 part ・ Solvent: PGMEA and 3-ethoxyethyl propionate ( = 80/20 [mass ratio]) 35.9 parts-polymerization inhibitor: p-methoxyphenol 0.001 part-surfactant 1: me Fuck F-554 (manufactured by DIC Corporation) 0.02 parts

〔実施例2〜14、比較例1〜5〕
前記実施例1の着色感光性樹脂組成物の調整における(B)バインダー樹脂、着色剤、光重合開始剤及び増感剤を下記表1〜表2に記載の化合物に変更した以外は、同様にして実施例2〜14、比較例1〜5の着色感光性樹脂組成物を調製した。
なお、下記表1〜表2における(B)バインダー樹脂は、前記(B)バインダー樹脂の説明欄において挙げた例示化合物をその符号で示したものである。また、比較例1に用いた比較バインダー樹脂の構造は以下に示すとおりである。
[Examples 2-14, Comparative Examples 1-5]
Except that the binder resin, colorant, photopolymerization initiator and sensitizer in the preparation of the colored photosensitive resin composition of Example 1 were changed to the compounds shown in Tables 1 and 2 below, the same manner was carried out. The colored photosensitive resin compositions of Examples 2 to 14 and Comparative Examples 1 to 5 were prepared.
In addition, (B) binder resin in the following Table 1-Table 2 shows the exemplary compound quoted in the description column of the said (B) binder resin by the code | symbol. The structure of the comparative binder resin used in Comparative Example 1 is as shown below.



−着色感光性樹脂組成物の評価−
(パターン状画素の形成)
前記のようにして得られた実施例1〜13、及び、比較例1〜5着色感光性樹脂組成物を、無アルカリガラス基板(Corning社、1737、550mm×660mm)の表面上に、スリットコーター(平田機工(株)、HC−6000)を用いて塗布したのち、90℃のクリーンオーブン内で120秒間プレベークを行って、膜厚2.0μmの塗膜(着色層)を形成し、塗膜付基板を得た。(着色層形成工程)
次いで、レーザー露光装置として、EGIS(ブイテクノロジー(株)、YAGレーザーの第三高調波(355nm)、パルス幅6nS)を用い、感光性樹脂組成物層(着色層)表面に対し、約1mJ/cmのパルス照射を20回、フォトマスクを通して行い、露光部分を硬化させた。(露光工程)。
その後、この基板を、現像装置(日立ハイテクノロジーズ社製)を用いて、水酸化カリウム系現像液CDK−1(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1.0%現像液(CDK−1を1質量部、純水を99質量部の希釈した液、25℃)でシャワー圧を0.20MPaに設定して、50秒現像し、純水で洗浄後、風乾した(現像工程)。その後、220℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを行って、基板上に青色のストライプ状画素アレイを形成した。
-Evaluation of colored photosensitive resin composition-
(Formation of patterned pixels)
Examples 1 to 13 and Comparative Examples 1 to 5 colored photosensitive resin compositions obtained as described above were applied to the surface of a non-alkali glass substrate (Corning, 1737, 550 mm × 660 mm) by a slit coater. (Hirata Kiko Co., Ltd., HC-6000) and then pre-baked in a clean oven at 90 ° C. for 120 seconds to form a coating film (colored layer) having a thickness of 2.0 μm. An attached substrate was obtained. (Colored layer formation process)
Next, as a laser exposure apparatus, EGIS (buoy technology Co., Ltd., third harmonic of YAG laser (355 nm), pulse width 6 nS) is used, and the surface of the photosensitive resin composition layer (colored layer) is about 1 mJ / 20 cm 2 pulse irradiations were performed through a photomask to cure the exposed portion. (Exposure process).
Thereafter, this substrate was developed with a 1.0% developer (CDK-1) of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) using a developing device (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). 1 part by weight, 99 parts by weight of pure water diluted at 25 ° C.), the shower pressure was set to 0.20 MPa, developed for 50 seconds, washed with pure water, and then air-dried (developing step). Thereafter, post-baking was performed in a clean oven at 220 ° C. for 30 minutes to form a blue stripe pixel array on the substrate.

(線幅感度の評価)
20μm幅のラインアンドスペースを持つマスクを用いて、20mJ/cm、塗膜付基板上の感光性樹脂組成物層表面とマスクとの間隙(ギャップ)を200μmとし、露光量20mJ/cmで露光し、露光済み基板を形成した。このようにして得られた露光済基板に対し、上記の現像、洗浄、風乾、ポストベーク処理を施した。得られたラインパターンを、光学顕微鏡によって観察し、線幅を測定し下記基準で評価した。
A:30μm以上
B:27μm以上30μm未満
C:25μm以上27μm未満
D:25μm未満
E:パターンが形成されない。または、剥がれて評価ができない。
(Evaluation of line width sensitivity)
Using a mask having a line and space of 20μm width, 20mJ / cm 2, the gap (gap) between the photosensitive resin composition layer surface and the mask on the substrate with the coating film and 200 [mu] m, at an exposure dose of 20 mJ / cm 2 Exposed to form an exposed substrate. The exposed substrate thus obtained was subjected to the above development, washing, air drying, and post-baking treatment. The obtained line pattern was observed with an optical microscope, the line width was measured, and evaluated according to the following criteria.
A: 30 μm or more B: 27 μm or more and less than 30 μm C: 25 μm or more and less than 27 μm D: Less than 25 μm E: No pattern is formed. Or it peels off and cannot be evaluated.

(直線性の評価)
線幅感度の評価で得られたラインパターンを、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、線幅の直線性(ガタツキ具合)を目視し下記基準で評価した。
評価基準
A:ガタツキやカケが無く、ラインが真直ぐである。
B:ガタツキは数箇所みとめられるが、ラインがほとんど真直ぐである。
C:ガタツキやカケにより2μm程度(線幅に対して10%程度)のラインバラツキが生じている。
D:ガタツキやカケにより5μm程度(線幅に対して20%以上)のラインバラツキが生じている。
E:パターンが形成されない。または、パターン剥がれがあり評価ができない。
(Evaluation of linearity)
The line pattern obtained by the evaluation of the line width sensitivity was observed with an optical microscope (200 times), and the linearity (roughness) of the line width was visually observed and evaluated according to the following criteria.
Evaluation criteria A: There is no rattling or chipping, and the line is straight.
B: Although some rattlings are observed, the line is almost straight.
C: Line variation of about 2 μm (about 10% with respect to the line width) occurs due to rattling or chipping.
D: Line variation of about 5 μm (20% or more with respect to the line width) occurs due to rattling or chipping.
E: No pattern is formed. Or, there is pattern peeling and evaluation is not possible.

(耐熱性の評価)
線幅感度の評価で得られた基板を、240℃のクリーンオーブン内で60分間追加ベークし、追加ベーク前後での色変化(ΔEab)を、大塚電子(株)製分光測光器MCPD−2000を用いて評価した。ここでΔEabとは、L表色系における色差を意味する。色差の変化ΔEabを測定し下記基準で評価した。
評価基準
5 :ΔEabが0以上1.0未満。
4.5:ΔEabが1.0以上2.0未満
4 :ΔEabが2.0以上〜3.0未満。
3.5:ΔEabが3.0以上〜3.5未満。
3 :ΔEabが3.5以上〜4.0未満。
2.5:ΔEabが4.0以上〜5.0未満。
2 :ΔEabが5.0以上
1 :剥がれがある。
(Evaluation of heat resistance)
The substrate obtained by the evaluation of the line width sensitivity was additionally baked in a clean oven at 240 ° C. for 60 minutes, and the color change (ΔE * ab) before and after the additional baking was measured using a spectrophotometer MCPD- manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. 2000 was used for evaluation. Here, ΔE * ab means a color difference in the L * a * b * color system. The change ΔE * ab in color difference was measured and evaluated according to the following criteria.
Evaluation criteria 5: ΔE * ab is 0 or more and less than 1.0.
4.5: ΔE * ab is 1.0 or more and less than 2.0 4: ΔE * ab is 2.0 or more and less than 3.0.
3.5: ΔE * ab is 3.0 or more and less than 3.5.
3: ΔE * ab is 3.5 or more and less than 4.0.
2.5: ΔE * ab is 4.0 or more and less than 5.0.
2: ΔE * ab is 5.0 or more 1: There is peeling.

(レチキュレーションの評価)
100μm幅のラインアンドスペースを持つマスクを用いて、20mJ/cm、塗膜付基板上の感光性樹脂組成物層表面とマスクとの間隙(ギャップ)を200μmとし、露光量20mJ/cmで露光し、露光済み基板を形成した。このようにして得られた露光済基板に対し、上記の現像、洗浄、風乾、ポストベーク処理を施した。得られたラインパターンを、光学顕微鏡(200倍)によって観察し、表面の凹凸状態を下記基準で評価した。
評価基準
A:表面が平坦で凹凸が全く認められない。
B:表面に僅かな凹凸が認められるが全体的にはほとんど平坦である。
C:ラインの上下左右の一部に凹凸が認められる。
D:ラインの全体にわたり凹凸が認められる。
E:ラインの全体にわたり深い凹凸が見られる。
(Evaluation of reticulation)
Using a mask with a line and space of 100 μm width, 20 mJ / cm 2 , the gap (gap) between the surface of the photosensitive resin composition layer on the coated substrate and the mask is 200 μm, and the exposure amount is 20 mJ / cm 2 . Exposed to form an exposed substrate. The exposed substrate thus obtained was subjected to the above development, washing, air drying, and post-baking treatment. The obtained line pattern was observed with an optical microscope (200 times), and the surface roughness was evaluated according to the following criteria.
Evaluation criteria A: The surface is flat and unevenness is not recognized at all.
B: Although slight irregularities are observed on the surface, the entire surface is almost flat.
C: Concavities and convexities are observed in part of the upper, lower, left and right lines.
D: Concavities and convexities are observed throughout the line.
E: Deep unevenness is seen over the entire line.

(総合評価)
線幅感度、直線性、耐熱性を総合的に下記基準で評価した。結果を表3にまとめて示した。一般に、使用に際しては、総合評価が5又は4であることが好ましい。
評価基準
5 :非常に優れている。
4 :通常使用では問題ないレベル。
3 :通常使用がかろうじて容認されるレベル。
2 :性能不十分で通常使用できないレベル。
1 :前記各評価の少なくとも3項目が著しく劣るレベル。
(Comprehensive evaluation)
Line width sensitivity, linearity, and heat resistance were comprehensively evaluated according to the following criteria. The results are summarized in Table 3. In general, in use, the overall rating is preferably 5 or 4.
Evaluation criteria 5: Very good.
4: Level at which there is no problem in normal use.
3: Level at which normal use is barely acceptable.
2: A level where performance is insufficient and cannot be used normally.
1: At least three items in each evaluation are significantly inferior.


表3に明らかなように、本発明に係る実施例1〜14の着色感光性樹脂組成物は、線幅感度が良好で、得られたパターンは直線性に優れ、また着色パターンを加熱しても色変色が小さく、現像時におけるレチキュレーションの発生も抑制され、良好な着色パターンが得られた。
他方、本発明における特定構造単位を有しないバインダー樹脂を用いた比較例1は、線幅感度、パターンの直線性、耐熱性、レチキュレーションのいずれにも劣りものであり、本発明の範囲外のオキシムエステル系光重合開始剤を用いた比較例2は、耐熱性が不充分であり、オキシムエステル系以外の光重合開始剤を用いた比較例3〜5はいずれも、線幅感度、直線性、レチキュレーションのいずれも、実施例に比較して大きく劣るものであった。
As is apparent from Table 3, the colored photosensitive resin compositions of Examples 1 to 14 according to the present invention have good line width sensitivity, the obtained pattern is excellent in linearity, and the colored pattern is heated. The color change was small, the occurrence of reticulation during development was suppressed, and a good colored pattern was obtained.
On the other hand, Comparative Example 1 using a binder resin having no specific structural unit in the present invention is inferior in line width sensitivity, pattern linearity, heat resistance, and reticulation, and is outside the scope of the present invention. Comparative Example 2 using the oxime ester-based photopolymerization initiator has insufficient heat resistance, and Comparative Examples 3 to 5 using photopolymerization initiators other than the oxime ester-based photopolymerization line have both line width sensitivity and linearity. Both properties and reticulation were significantly inferior to those of the examples.

〔実施例15〜18〕
2−1.顔料分散物の調製
(合成例2:ハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料の合成)
フタロジニトリル、塩化亜鉛を原料として亜鉛フタロシアニンを製造した。
ハロゲン化は、塩化スルフリル3.1部、無水塩化アルミニウム3.7部、塩化ナトリウム0.46部、亜鉛フタロシアニン1部を40℃で混合し、臭素2.2部を滴下して行った。80℃で15時間反応し、その後、反応混合物を水に投入し、部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を析出させた。この水性スラリーを濾過し、80℃の湯洗浄を行い、90℃で乾燥させ、2.6部の精製された部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料を得た。
[Examples 15 to 18]
2-1. Preparation of pigment dispersion (Synthesis Example 2: Synthesis of zinc halide phthalocyanine pigment)
Zinc phthalocyanine was produced from phthalodinitrile and zinc chloride.
Halogenation was performed by mixing 3.1 parts of sulfuryl chloride, 3.7 parts of anhydrous aluminum chloride, 0.46 parts of sodium chloride and 1 part of zinc phthalocyanine at 40 ° C., and dropping 2.2 parts of bromine. The mixture was reacted at 80 ° C. for 15 hours, and then the reaction mixture was poured into water to precipitate a partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment. This aqueous slurry was filtered, washed with hot water at 80 ° C., and dried at 90 ° C. to obtain 2.6 parts of a purified partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment.

この部分臭素化亜鉛フタロシアニン粗顔料1部、粉砕した塩化ナトリウム7部、ジエチレングリコール1.6部、キシレン0.09部を双腕型ニーダーに仕込み、100℃で6時間混練した。混練後80℃の水100部に取り出し、1時間攪拌後、濾過、湯洗、乾燥、粉砕した部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料を得た。
得られた部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料は、質量分析によるハロゲン含有量分析から、平均組成はZnPcBr10Clで(Pc:フタロシアニン)、1分子中に平均10個の臭素を含有するものであった。
なお、透過型電子顕微鏡(日本電子(株)製JEM−2010)で測定した一次粒径の平均値は0.065μmであった。
1 part of this partially brominated zinc phthalocyanine crude pigment, 7 parts of crushed sodium chloride, 1.6 parts of diethylene glycol and 0.09 part of xylene were charged into a double arm kneader and kneaded at 100 ° C. for 6 hours. After kneading, it was taken out into 100 parts of water at 80 ° C., stirred for 1 hour, and then filtered, washed with hot water, dried and ground to obtain a partially brominated zinc phthalocyanine pigment.
The obtained partially brominated zinc phthalocyanine pigment has an average composition of ZnPcBr 10 Cl 4 H 2 (Pc: phthalocyanine) and contains an average of 10 bromine atoms in one molecule, based on halogen content analysis by mass spectrometry. there were.
The average primary particle size measured with a transmission electron microscope (JEM-2010, manufactured by JEOL Ltd.) was 0.065 μm.

(合成例3:ポリエステル樹脂(i−1)の合成)
n−オクタン酸6.4g、ε−カプロラクトン200g、チタン(IV)テトラブトキシド5gを混合し、160℃で8時間加熱した後、室温まで冷却しポリエステル樹脂(i−1)を得た。
スキームを以下に示す。
(Synthesis Example 3: Synthesis of polyester resin (i-1))
6.4 g of n-octanoic acid, 200 g of ε-caprolactone and 5 g of titanium (IV) tetrabutoxide were mixed, heated at 160 ° C. for 8 hours, and then cooled to room temperature to obtain a polyester resin (i-1).
The scheme is shown below.

(合成例4:樹脂(J−1)の合成)
ポリエチレンイミン(SP−018、数平均分子量1,800、日本触媒製)10g及び前記合成例3で得たポリエステル樹脂(i−1) 100gを混合し、120℃で3時間加熱して、中間体(J−1B)を得た。その後、65℃まで放冷し、無水コハク酸 3.8gを含有するPGMEA(溶剤)200gをゆっくり添加し2時間攪拌した。その後、PGMEAを添加し、樹脂(J−1)のPGMEA10質量%溶液を得た。樹脂(J−1)は、ポリエステル樹脂(i−1)由来の側鎖と無水コハク酸由来のカルボキシ基を有するものである。
合成スキームを以下に示す。
(Synthesis Example 4: Synthesis of Resin (J-1))
10 g of polyethyleneimine (SP-018, number average molecular weight 1,800, manufactured by Nippon Shokubai) and 100 g of the polyester resin (i-1) obtained in Synthesis Example 3 were mixed and heated at 120 ° C. for 3 hours to obtain an intermediate. (J-1B) was obtained. Then, it stood to cool to 65 degreeC, 200 g of PGMEA (solvent) containing 3.8 g of succinic anhydrides was added slowly, and it stirred for 2 hours. Thereafter, PGMEA was added to obtain a 10 mass% PGMEA solution of the resin (J-1). The resin (J-1) has a side chain derived from the polyester resin (i-1) and a carboxy group derived from succinic anhydride.
A synthesis scheme is shown below.

(顔料分散液2の調製)
−顔料分散液2:緑色顔料 ハロゲン化亜鉛フタロシアニン分散液−
直径0.5mmのジルコニアビーズを仕込んだアイメックス(株)製高速分散機「TSC−6H」に、前記合成例2で得た部分臭素化亜鉛フタロシアニン顔料(以下、適宜、PG58と称する) 14.9部、ビックケミー社製アクリル系分散剤「BYK−2001」 7.1部、PGMEA 78部を仕込み、毎分2000回転で8時間攪拌して、部分臭素化したハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料(緑色顔料PG58)の分散液(顔料分散液2)を調製した。
(Preparation of pigment dispersion 2)
-Pigment dispersion 2: Green pigment zinc halide phthalocyanine dispersion-
A partially brominated zinc phthalocyanine pigment obtained in Synthesis Example 2 (hereinafter referred to as PG58 as appropriate) 14.9 was added to a high-speed disperser “TSC-6H” manufactured by Imex Co., Ltd. charged with zirconia beads having a diameter of 0.5 mm. Part, 7.1 parts of BYK-2001 acrylic dispersant “BYK-2001” and 78 parts of PGMEA were charged and stirred at 2000 rpm for 8 hours to partially brominated zinc halide phthalocyanine pigment (green pigment PG58) A dispersion liquid (pigment dispersion liquid 2) was prepared.

(顔料分散液3の調製)
−顔料分散液3:黄色顔料 ピグメントイエロー150分散液−
顔料としてC.I.ピグメントイエロー150(以下、適宜、PY150と称する:平均粒子径60nm)を15部、前記合成例4で得た樹脂(J−1)7.5部、PGMEA77.5部を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.3mm)により3時間混合・分散して、黄色顔料PY150の分散液(顔料分散液3)を調製した。
(Preparation of pigment dispersion 3)
-Pigment dispersion 3: Yellow pigment Pigment yellow 150 dispersion-
As a pigment, C.I. I. 15 parts of Pigment Yellow 150 (hereinafter appropriately referred to as PY150: average particle diameter 60 nm), 7.5 parts of the resin (J-1) obtained in Synthesis Example 4 and 77.5 parts of PGMEA were added to a bead mill (zirconia beads 0). 3 mm) to mix and disperse for 3 hours to prepare a dispersion (pigment dispersion 3) of yellow pigment PY150.

2−2.着色感光性樹脂組成物の調製
下記組成の成分を添加し、撹拌混合して実施例15の緑色(G)用着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
2-2. Preparation of colored photosensitive resin composition The components of the following composition were added and mixed by stirring to prepare a colored photosensitive resin composition (color resist solution) for green (G) of Example 15.

・緑色顔料PG58の分散液(顔料分散液2) … 53.42部
・黄色顔料PY150の分散物(顔料分散液3) … 23.81部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートのコハク酸誘導体の混合物、酸価:67mgKOH(商品名:TO−2349 東亜合成製) … 11.68部
・光重合開始剤:(下記構造:化合物A2) … 1.536部
・増感剤:多官能チオール … 1.536部
(商品名:カレンズMTBD1 昭和電工製)
・アルカリ可溶性樹脂 … 0.109部
〔アリルメタクリレート/メタクリル酸(=80/20[モル比])共重合体
(重量平均分子量:30,000)〕
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート … 57.47部
・重合禁止剤:p−メトキシフェノール … 0.005部
・フッ素系界面活性剤(商品名:メガファックF554 DIC製) … 0.027部
・3−エトキシエチルプロピオネート … 30.00部
Green pigment PG58 dispersion (Pigment dispersion 2) 53.42 parts Yellow pigment PY150 dispersion (Pigment dispersion 3) 23.81 parts Polymerizable compounds: Dipentaerythritol hexahexaacrylate and dipenta Mixture of succinic acid derivatives of erythritol pentaacrylate, acid value: 67 mg KOH (trade name: TO-2349, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) ... 11.68 parts, photopolymerization initiator: (the following structure: Compound A2) ... 1.536 parts, increase Sensitizer: Multifunctional thiol 1.536 parts (trade name: Karenz MTBD1, Showa Denko)
Alkali-soluble resin 0.109 parts [Allyl methacrylate / methacrylic acid (= 80/20 [molar ratio]) copolymer (weight average molecular weight: 30,000)]
・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate: 57.47 parts ・ Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol: 0.005 parts ・ Fluorosurfactant (trade name: manufactured by MegaFac F554 DIC): 0.027 parts / 3 -Ethoxyethyl propionate ... 30.00 parts

(実施例16)
実施例15において、(F)増感剤として用いた多官能チオール(商品名:カレンズMTBD1 昭和電工製)を、多官能チオール(商品名:カレンズMTPE1 昭和電工)に変更した以外は、実施例15と同様にして、実施例16の着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
(実施例17)*
実施例15において、(C)重合性化合物として用いた(商品名:TO−2349 東亜合成製)を、(商品名:M−520 東亜合成)に変更した以外は、実施例15と同様にして、実施例17の着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
なお、M−520は、ジペンタエリスリトールヘキサヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートのコハク酸誘導体の混合物であり、酸価が30mgKOHの重合性化合物である。
(実施例18)
実施例15において、(C)重合性化合物として用いた(商品名:TO−2349 東亜合成製)を、(商品名:KAYARAD DPHA 日本化薬製、下記表では「DPHA」と記載)に変更した以外は、実施例15と同様にして、実施例18の着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
前記実施例15〜18の着色感光性樹脂組成物に用いた(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)光重合開始剤及び(F)増感剤の詳細を下記表4に示す
なお、下記表4における(B)バインダー樹脂は、前記(B)バインダー樹脂の説明欄において挙げた例示化合物をその符号で示したものである。なお、プロキシミティ露光は、表4中「プロキシ」と記載した。
(Example 16)
Example 15 is the same as Example 15 except that (F) the polyfunctional thiol (trade name: Karenz MTBD1, Showa Denko) used as the sensitizer was changed to a polyfunctional thiol (trade name: Karenz MTPE1, Showa Denko). In the same manner, a colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 16 was prepared.
(Example 17) *
In Example 15, (C) (Product name: TO-2349 manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) used as the polymerizable compound was changed to (Product name: M-520 Toa Gosei Co., Ltd.) in the same manner as in Example 15. A colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 17 was prepared.
M-520 is a mixture of succinic acid derivatives of dipentaerythritol hexahexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate, and is a polymerizable compound having an acid value of 30 mgKOH.
(Example 18)
In Example 15, (C) used as the polymerizable compound (trade name: TO-2349, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) was changed to (trade name: KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., described as “DPHA” in the table below). A colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 18 was prepared in the same manner as Example 15 except for the above.
(A) Colorant, (B) Binder resin, (C) Polymerizable compound, (D) Photopolymerization initiator and (F) Sensitizer used in the colored photosensitive resin compositions of Examples 15 to 18 Details are shown in the following Table 4. In addition, the (B) binder resin in the following Table 4 shows the exemplified compounds mentioned in the description column of the (B) binder resin by the reference numerals. The proximity exposure is described as “proxy” in Table 4.

−着色感光性樹脂組成物の評価−
(パターン状画素の形成)
前記のようにして得られた実施例15〜18の着色感光性樹脂組成物の各々を、550mm×650mmのガラス基板(1737、コーニング社製)上に、スリットダイにより塗布速度100mm/s、塗布ギャップ100μm、塗布流速1.3ml/sの条件で塗布して塗膜を形成した後、減圧乾燥チャンバーにて到達圧力0.5Torrにて真空乾燥し、80℃のオーブンで120秒間乾燥させ(プリベーク)、膜厚2.0μmの着色感光性樹脂組成物層を形成した。
その後、形成した着色感光性樹脂組成物層を、マスクサイズ20μmのストライプパターンを用い、超高圧水銀灯にて20mJ/cm(照度35mW/cm)Gap200μmにてプロキシミティ露光し、露光後の着色感光性樹脂組成物層をアルカリ現像液CDK−1(商品名:富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の1%水溶液で40秒間シャワー状に散布、更に純水をシャワー状に60秒散布して現像液を洗い流した。
次に、上記のように露光及び現像処理が施された着色感光性樹脂組成物層を230℃のオーブンで40分加熱処理し(ポストベーク)、ガラス基板上にカラーフィルタの着色画素を構成する着色パターンを形成し、ガラス基板上に緑色のストライプ状画素アレイ(カラーフィルタ)を形成した。
-Evaluation of colored photosensitive resin composition-
(Formation of patterned pixels)
Each of the colored photosensitive resin compositions of Examples 15 to 18 obtained as described above was coated on a 550 mm × 650 mm glass substrate (1737, manufactured by Corning) at a coating speed of 100 mm / s using a slit die. After coating with a gap of 100 μm and a coating flow rate of 1.3 ml / s to form a coating film, it is vacuum-dried in a vacuum drying chamber at an ultimate pressure of 0.5 Torr, and dried in an oven at 80 ° C. for 120 seconds (prebaking) ), A colored photosensitive resin composition layer having a thickness of 2.0 μm was formed.
Thereafter, the formed colored photosensitive resin composition layer was subjected to proximity exposure at 20 mJ / cm 2 (illuminance 35 mW / cm 2 ) Gap 200 μm with an ultrahigh pressure mercury lamp using a stripe pattern having a mask size of 20 μm, and coloring after exposure. The photosensitive resin composition layer is sprayed in a shower form for 40 seconds with a 1% aqueous solution of alkali developer CDK-1 (trade name: manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.), and pure water is sprayed in a shower form for 60 seconds. The developer was washed away.
Next, the colored photosensitive resin composition layer that has been exposed and developed as described above is heat-treated in an oven at 230 ° C. for 40 minutes (post-baking) to form colored pixels of the color filter on the glass substrate. A colored pattern was formed, and a green stripe pixel array (color filter) was formed on the glass substrate.

形成されたカラーフィルタに関し、実施例1におけるのと同様にして、線幅感度、形成されたパターンの直線性、耐熱性、現像時間、レチキュレーションの評価、及び、総合評価行った。結果を下記5表に示す。   The formed color filter was evaluated in the same manner as in Example 1 for line width sensitivity, linearity of the formed pattern, heat resistance, development time, reticulation, and comprehensive evaluation. The results are shown in Table 5 below.

表5に明らかなように、本発明に係る実施例15〜18の着色感光性樹脂組成物は、露光工程においてプロキシミティ露光を行った場合においても、レーザー露光によるものと同様に、線幅感度が良好で、得られたパターンは直線性に優れ、また着色パターンを加熱しても色変色が小さく、現像時におけるレチキュレーションの発生も抑制され、良好な着色パターンが得られた。   As is apparent from Table 5, the colored photosensitive resin compositions of Examples 15 to 18 according to the present invention have line width sensitivity even when proximity exposure is performed in the exposure step, as in the case of laser exposure. The obtained pattern was excellent in linearity, and even when the colored pattern was heated, the color change was small, the occurrence of reticulation during development was suppressed, and a good colored pattern was obtained.

(実施例19)
3−1.着色感光性樹脂組成物の調製
下記組成の成分を添加し、撹拌混合して実施例19の緑色(G)用着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
・緑色顔料PG58の分散液(顔料分散液2) … 53.42部
・黄色顔料PY150の分散物(顔料分散液3) … 23.81部
・重合性化合物:ジペンタエリスリトールヘキサヘキサアクリレートとジペンタエリ
スリトールペンタアクリレートの混合物とジペンタエリスリトールペンタアクリ
レートのコハク酸誘導体の混合物(商品名:TO−2349 東亜合成製)
… 11.68部
・光重合開始剤:(下記構造:化合物A3) … 1.636部・増感剤:多官能チオール … 1.536部
(商品名:カレンズMTBD1 昭和電工製)
・アルカリ可溶性樹脂 … 0.109部
〔アリルメタクリレート/メタクリル酸(=80/20[モル比])共重合体
(重量平均分子量:30,000)〕
・溶剤:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート … 57.47部・重合禁止剤:p−メトキシフェノール … 0.005部・フッ素系界面活性剤(商品名:メガファックF554 DIC製) … 0.027部・3−エトキシエチルプロピオネート … 30.00部
(Example 19)
3-1. Preparation of colored photosensitive resin composition The components of the following composition were added and mixed by stirring to prepare a green (G) colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 19.
-Green pigment PG58 dispersion (Pigment dispersion 2) ... 53.42 parts-Yellow pigment PY150 dispersion (Pigment dispersion 3) ... 23.81 parts-Polymerizable compounds: dipentaerythritol hexahexaacrylate and dipentaerythritol A mixture of tall pentaacrylate and a succinic acid derivative of dipentaerythritol pentaacrylate (trade name: TO-2349, manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
... 11.68 parts-Photopolymerization initiator: (The following structure: Compound A3) ... 1.636 parts-Sensitizer: Multifunctional thiol ... 1.536 parts (trade name: Karenz MTBD1, Showa Denko)
Alkali-soluble resin 0.109 parts [Allyl methacrylate / methacrylic acid (= 80/20 [molar ratio]) copolymer (weight average molecular weight: 30,000)]
・ Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate: 57.47 parts ・ Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol: 0.005 parts ・ Fluorosurfactant (trade name: manufactured by MegaFac F554 DIC): 0.027 parts / 3 -Ethoxyethyl propionate ... 30.00 parts

(実施例20)
実施例19において、(F)増感剤として用いた多官能チオール(商品名:カレンズMTBD1 昭和電工製)を、多官能チオール(商品名:カレンズMTPE1 昭和電工)に変更した以外は、実施例19と同様にして、実施例20の着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
(実施例21)
実施例19において、(C)重合性化合物として用いた(商品名:TO−2349 東亜合成製)を、(商品名:M-520 東亜合成)に変更した以外は、実施例19と同様にして、実施例21の着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
(実施例22)
実施例19において、(C)重合性化合物として用いた(商品名:TO−2349 東亜合成製)を、(商品名:KAYARAD DPHA 日本化薬製)に変更した以外は、実施例19と同様にして、実施例22の着色感光性樹脂組成物(カラーレジスト液)を調製した。
前記実施例19〜22の着色感光性樹脂組成物に用いた(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)光重合開始剤及び(F)増感剤の詳細を下記表6に示す
なお、下記表6における(B)バインダー樹脂は、前記(B)バインダー樹脂の説明欄において挙げた例示化合物を、その符号で示したものである。なお、プロキシミティ露光は、表6中「プロキシ」と記載した。
(Example 20)
Example 19 Example 19 except that the polyfunctional thiol (trade name: Karenz MTBD1, Showa Denko) used as (F) sensitizer in Example 19 was changed to a polyfunctional thiol (trade name: Karenz MTPE1, Showa Denko). In the same manner, a colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 20 was prepared.
(Example 21)
In Example 19, (C) (Product name: TO-2349, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) used as the polymerizable compound was changed to (Product name: M-520 Toa Gosei Co., Ltd.). A colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 21 was prepared.
(Example 22)
Example 19 is the same as Example 19 except that (C) the polymerizable compound (trade name: TO-2349, manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) is changed to (trade name: KAYARAD DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). Then, a colored photosensitive resin composition (color resist solution) of Example 22 was prepared.
(A) colorant, (B) binder resin, (C) polymerizable compound, (D) photopolymerization initiator and (F) sensitizer used in the colored photosensitive resin compositions of Examples 19 to 22 Details are shown in the following Table 6. In addition, the (B) binder resin in the following Table 6 shows the exemplified compounds listed in the description column of the (B) binder resin by their symbols. The proximity exposure is described as “proxy” in Table 6.

−着色感光性樹脂組成物の評価−
(パターン状画素の形成)
前記のようにして得られた実施例19〜22の着色感光性樹脂組成物の各々を、実施例15〜17と同様にして、着色感光性樹脂組成物層を形成し、パターン状に露光し、現像処理し、ポストベークして、ガラス基板上にカラーフィルタの着色画素を構成する着色パターンを形成し、ガラス基板上に緑色のストライプ状画素アレイ(カラーフィルタ)を形成した。
-Evaluation of colored photosensitive resin composition-
(Formation of patterned pixels)
Each of the colored photosensitive resin compositions of Examples 19 to 22 obtained as described above was formed into a colored photosensitive resin composition layer in the same manner as in Examples 15 to 17, and was exposed in a pattern. Then, it was developed and post-baked to form a colored pattern constituting colored pixels of the color filter on the glass substrate, and a green stripe pixel array (color filter) was formed on the glass substrate.

形成されたカラーフィルタに関し、実施例15〜17におけるのと同様にして、線幅感度、形成されたパターンの直線性、耐熱性、現像時間、レチキュレーションの評価、及び、総合評価行った。結果を下記7表に示す。   The formed color filter was evaluated in the same manner as in Examples 15 to 17 in terms of line width sensitivity, linearity of the formed pattern, heat resistance, development time, reticulation, and comprehensive evaluation. The results are shown in Table 7 below.

表7に明らかなように、本発明に係る実施例19〜22の着色感光性樹脂組成物は、開始剤を変更した場合においても、実施例15〜実施例17と同様に、線幅感度が良好で、得られたパターンは直線性に優れ、また着色パターンを加熱しても色変色が小さく、現像時におけるレチキュレーションの発生も抑制され、良好な着色パターンが得られた。   As is apparent from Table 7, the colored photosensitive resin compositions of Examples 19 to 22 according to the present invention have line width sensitivity similar to Examples 15 to 17 even when the initiator is changed. The obtained pattern was excellent in linearity, and even when the colored pattern was heated, the color change was small, the occurrence of reticulation during development was suppressed, and a good colored pattern was obtained.

Claims (10)

少なくとも、(A)着色剤、(B)分子内に(B−1)下記一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)下記一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含むバインダー樹脂、(C)重合性化合物、(D)下記一般式(III)で表される光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有し、前記(D)光重合開始剤の含有量が着色感光性樹脂組成物の全固形分に対して5質量%〜15質量%である着色感光性樹脂組成物。

一般式(I)中、R11〜R15はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基、又はアリール基を表し、R16は水素原子又はメチル基を表す。

一般式(II)中、R21は水素原子又はメチル基を表し、R22は炭素数1〜6のアルキレン基を表す。R23及びR24は、それぞれ独立に炭素数4以下のアルキル基であるか、いずれか一方が水素原子で他方が炭素数4以下のアルキル基であるか、又は、R23及びR24が互いに結合して炭素環を形成する基を表す。

一般式(III)中、X、X、及びXはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、又はアルキル基を表し、Rは−R、−OR、−COR、−SR、−CONRR’、又は−CNを表し、R及びRはそれぞれ独立に、−R、−OR、−COR、−SR、又は−NRR’を表す。R及びR’は、それぞれ独立に、アルキル基、アリール基、アラルキル基、又は、複素環基を表し、これらの基は、ハロゲン原子及び複素環基からなる群より選択される1以上で置換されていてもよく、該アルキル基、及びアラルキル基におけるアルキル鎖を構成する炭素原子の1以上が、不飽和結合、エーテル結合、又はエステル結合に置き換わっていてもよく、R及びR’は互いに結合して環を形成していてもよい。
At least (A) a colorant, (B) (B-1) a structural unit represented by the following general formula (I) in the molecule, (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and ( B-3) a binder resin containing at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following general formula (II), (C) a polymerizable compound, (D) the following general formula (III) And (E) a solvent, and the content of the (D) photopolymerization initiator is 5% by mass to 15% by mass with respect to the total solid content of the colored photosensitive resin composition. A colored photosensitive resin composition.

In general formula (I), R 11 to R 15 each independently represents a hydrogen atom, a halogen atom, a cyano group, an alkyl group, or an aryl group, and R 16 represents a hydrogen atom or a methyl group.

In General Formula (II), R 21 represents a hydrogen atom or a methyl group, and R 22 represents an alkylene group having 1 to 6 carbon atoms. R 23 and R 24 are each independently an alkyl group having 4 or less carbon atoms, either one is a hydrogen atom and the other is an alkyl group having 4 or less carbon atoms, or R 23 and R 24 are A group that forms a carbocycle by bonding.

In the general formula (III), X 1 , X 2 , and X 3 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group, and R 1 represents —R, —OR, —COR, —SR, —CONRR 'Or -CN, and R 2 and R 3 each independently represent -R, -OR, -COR, -SR, or -NRR'. R and R ′ each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group, or a heterocyclic group, and these groups are substituted with one or more selected from the group consisting of a halogen atom and a heterocyclic group. And one or more carbon atoms constituting the alkyl chain in the alkyl group and the aralkyl group may be replaced with an unsaturated bond, an ether bond, or an ester bond, and R and R ′ are bonded to each other. May form a ring.
さらに、(F)多官能チオール化合物から選ばれる増感剤を含む請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising (F) a sensitizer selected from polyfunctional thiol compounds. 前記(B)バインダー樹脂が、分子内に、(B−1)一般式(I)で表される構造単位、(B−2)N位−置換マレイミド基を有する構造単位、及び(B−3)一般式(II)で表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を50モル%〜90モル%と、酸性基を有する構造単位と、を含み、重量平均分子量が10000〜100000の範囲にある樹脂である請求項1又は請求項2に記載の着色感光性樹脂組成物   The (B) binder resin contains (B-1) a structural unit represented by the general formula (I), (B-2) a structural unit having an N-substituted maleimide group, and (B-3) in the molecule. ) Including at least one structural unit selected from the group consisting of the structural unit represented by the general formula (II) at 50 mol% to 90 mol%, and a structural unit having an acidic group, and having a weight average molecular weight. The colored photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, which is a resin in the range of 10,000 to 100,000. 紫外光レーザー露光用である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物。   The colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the colored photosensitive resin composition is for ultraviolet laser exposure. 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の着色感光性樹脂組成物を基板上に付与して着色層を形成する着色層形成工程と、
前記着色層に対してパターン様に紫外光レーザーによる露光を行い、露光部を硬化させる露光工程と、
前着色層の未硬化部を現像により除去してパターンを形成する現像工程と、
を含むパターン形成方法。
A colored layer forming step of forming a colored layer by applying the colored photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4 on a substrate;
An exposure process for curing the exposed portion by exposing the colored layer in a pattern-like manner with an ultraviolet laser; and
A development step of removing the uncured portion of the pre-colored layer by development to form a pattern;
A pattern forming method including:
前記紫外光レーザーの露光波長が300nm〜380nmの範囲である請求項5に記載のパターン形成方法。   The pattern forming method according to claim 5, wherein an exposure wavelength of the ultraviolet laser is in a range of 300 nm to 380 nm. 前記紫外光レーザーが20Hz〜2000Hzの周波数で発振されるパルスレーザーである請求項5又は請求項6に記載のパターン形成方法。   The pattern forming method according to claim 5, wherein the ultraviolet laser is a pulse laser oscillated at a frequency of 20 Hz to 2000 Hz. 請求項5から請求項7のいずれか1項に記載のパターン形成方法により、基板上に着色パターンを形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法。   The manufacturing method of a color filter including the process of forming a colored pattern on a board | substrate by the pattern formation method of any one of Claims 5-7. 請求項8に記載の製造方法により製造されたカラーフィルタ。   A color filter manufactured by the manufacturing method according to claim 8. 請求項9に記載のカラーフィルタを備えた表示装置。   A display device comprising the color filter according to claim 9.
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