KR20210117016A - Apparatus for testing - Google Patents

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KR20210117016A
KR20210117016A KR1020200033332A KR20200033332A KR20210117016A KR 20210117016 A KR20210117016 A KR 20210117016A KR 1020200033332 A KR1020200033332 A KR 1020200033332A KR 20200033332 A KR20200033332 A KR 20200033332A KR 20210117016 A KR20210117016 A KR 20210117016A
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optical axis
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송광문
이상훈
장우상
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

본 발명은 카메라; 대상물의 복수 개의 측면에 각각 대향하여 배치되는 복수개의 제1 미러; 상기 카메라와 상기 제1 미러 사이에 배치되며, 광축방향으로 복수 개의 제1 미러와 오버랩되게 배치되는 제2 미러;및 상기 제2 미러에 대향하여 배치되는 제3 미러를 포함하고, 상기 제3 미러는 광축방향으로 상기 제1 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역의 일부에 오버랩되게 배치되는 검사 장치를 제공할 수 있다.The present invention is a camera; a plurality of first mirrors disposed opposite to each other on a plurality of side surfaces of the object; a second mirror disposed between the camera and the first mirror and disposed to overlap the plurality of first mirrors in an optical axis direction; and a third mirror disposed to face the second mirror, wherein the third mirror includes: may provide an inspection apparatus that is disposed not to overlap with the first mirror in the optical axis direction, and is disposed to overlap a portion of the imaging area of the camera.

Description

검사 장치{Apparatus for testing}Testing device {Apparatus for testing}

본 발명은 검사 장치에 관한 것입니다.The present invention relates to an inspection device.

제품을 촬영한 이미지에 기초하여 제품의 치수나 외관을 검사하는 검사 장치는 카메라와 조명을 포함할 수 있다. 카메라는 시인영역(Field Of View)에 제품이 위치하도록 배치된다. 조명은 광축을 기준으로 카메라와 조명 사이에 배치될 수 있다. 작업자는 카메라를 통해 획득한 제품의 이미지에서 치수나 외관불량의 유무를 검출할 수 있다.The inspection device for inspecting the dimensions or appearance of the product based on the photographed image of the product may include a camera and a light. The camera is placed so that the product is located in the field of view. The light may be disposed between the camera and the light with respect to the optical axis. The operator can detect the presence or absence of dimensions or appearance defects in the image of the product acquired through the camera.

일반적으로, 카메라 하나를 통해 제품 하나를 검사한다. 때문에 제품의 생산성이 떨어진다. 생산성을 높이기 위하여, 여러 제품을 하나의 카메라를 통해 검사하는 경우, 제품의 형상이나 외관불량의 형상 등에 따라 반사율이 상이하여 치수나 외관불량의 유무를 검출하기 어렵다. 또한. 카메라의 개수를 늘릴 수 있으나, 이는 설비의 크기와 비용이 증가하는 문제점이 있다.Typically, one product is inspected through one camera. As a result, the productivity of the product decreases. In order to increase productivity, when several products are inspected through a single camera, it is difficult to detect the presence or absence of dimensions or appearance defects because reflectance is different depending on the shape of the product or the shape of the defective appearance. In addition. Although the number of cameras can be increased, there is a problem in that the size and cost of the equipment increase.

또한, 카메라의 시인영역의 한계로 인하여 제품의 측면의 이미지를 얻기 위해서는 별도의 카메라와 조명을 설치해야 하는 문제점이 있다. In addition, due to the limitation of the viewing area of the camera, there is a problem in that a separate camera and lighting must be installed in order to obtain an image of the side of the product.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 하나의 카메라를 통해 제품의 여러면을 검사할 수 있는 검사 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of inspecting multiple surfaces of a product through a single camera.

또한, 하나의 카메라를 통해 복수 개의 제품을 검사할 수 있는 검사 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide an inspection apparatus capable of inspecting a plurality of products through one camera.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 과제에 국한되지 않으며 여기서 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The problems to be solved by the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned here will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

카메라와, 대상물의 복수 개의 측면에 각각 대향하여 배치되는 복수개의 제1 미러와, 상기 카메라와 상기 제1 미러 사이에 배치되며, 광축방향으로 복수 개의 제1 미러와 오버랩되게 배치되는 제2 미러 및 상기 제2 미러에 대향하여 배치되는 제3 미러를 포함하고, 상기 제3 미러는 광축방향으로 상기 제1 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역의 일부에 오버랩되게 배치되는 검사 장치를 제공할 수 있다.A camera, a plurality of first mirrors disposed opposite to each other on a plurality of side surfaces of the object, a second mirror disposed between the camera and the first mirror, and disposed to overlap the plurality of first mirrors in an optical axis direction, and a third mirror disposed to face the second mirror, wherein the third mirror is disposed not to overlap the first mirror in an optical axis direction, the inspection device disposed to overlap a part of the imaging area of the camera can provide

바람직하게는, 상기 제1 미러는 광축방향으로 상기 카메라의 촬상영역과 오버랩되지 않게 배치될 수 있다.Preferably, the first mirror may be disposed so as not to overlap the imaging area of the camera in the optical axis direction.

바람직하게는, 상기 제1 미러, 상기 제2 미러 및 상기 제3 미러는 각각 상기 광축방향과 수직인 x-y 평면에 경사지게 배치될 수 있다.Preferably, the first mirror, the second mirror, and the third mirror may be disposed to be inclined on an x-y plane perpendicular to the optical axis direction, respectively.

바람직하게는, 복수 개의 제1 미러로 조합되는 그룹과, 상기 제1 그룹은, x방향을 기준으로 대향하여 배치되는 한 쌍의 상기 제1 미러와, y방향을 기준으로 대향하여 배치되는 한 쌍의 상기 제1 미러를 포함할 수 있다.Preferably, a group combined into a plurality of first mirrors, the first group includes a pair of the first mirrors disposed to face each other in the x-direction, and a pair disposed to face each other in the y-direction of the first mirror.

바람직하게는, 상기 한 쌍의 제1 미러는 반사면의 경사방향이 서로 상이하고,Preferably, the inclination directions of the reflective surfaces of the pair of first mirrors are different from each other,

상기 제2 미러의 반사면의 경사방향과 상기 제3 미러의 반사면의 경사방향으로 동일할 수 있다.The inclination direction of the reflective surface of the second mirror may be the same as the inclination direction of the reflective surface of the third mirror.

바람직하게는, 상기 그룹은 제1 그룹과 제2 그룹을 포함하고, 상기 제2 미러는 제2-1 미러와 제2-2 미러를 포함하고, 상기 제3 미러는 제3-1 미러와 제3-2 미러를 포함하고, 상기 제1 그룹과 상기 제2 그룹은 x방향을 기준으로 이격되어 배치되고, 상기 제2-1 미러는 광축방향으로 상기 제1 그룹의 상기 제1 미러와 오버랩되게 배치되고, 상기 제2-2 미러는 광축방향으로 상기 제2 그룹의 상기 제1 미러와 오버랩되게 배치되고, 상기 제3-1 미러는 광축방향으로 상기 제1 그룹의 상기 제1 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역의 제1 영역에 오버랩되게 배치되고, 상기 제3-2 미러는 광축방향으로 상기 제2 그룹의 상기 제2 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역에서 상기 제1 영역과 상이한 제2 영역에 오버랩되게 배치될 수 있다.Preferably, the group includes a first group and a second group, the second mirror includes a 2-1 mirror and a 2-2 mirror, and the third mirror includes a 3-1 mirror and a second mirror 3-2 mirrors are included, wherein the first group and the second group are spaced apart from each other in the x direction, and the 2-1 mirror overlaps the first mirror of the first group in the optical axis direction. wherein the 2-2 mirror is disposed to overlap the first mirror of the second group in the optical axis direction, and the 3-1 mirror does not overlap the first mirror of the first group in the optical axis direction Doedoe arranged so as not to overlap the first area of the imaging area of the camera, and the 3-2 mirror is disposed not to overlap with the second mirror of the second group in the optical axis direction, the imaging area of the camera may be disposed to overlap a second area different from the first area.

바람직하게는, 상기 제1 그룹은 제1-1 그룹과 제1-2 그룹을 포함하고, 상기 제2 그룹은 제2-1 그룹과 제2-2 그룹을 포함하고, 상기 제1-1 그룹과 상기 제1-2 그룹은 y방향을 따라 배치되고, 상기 제2-1 그룹과 상기 제2-2 그룹은 y방향을 따라 배치될 수 있다.Preferably, the first group includes a 1-1 group and a 1-2 group, the second group includes a 2-1 group and a 2-2 group, and the 1-1 group and the 1st-2nd group may be arranged along the y-direction, and the 2-1th group and the 2-2nd group may be arranged along the y-direction.

바람직하게는, 상기 제1-1 그룹과 상기 제1-2 그룹은 광축방향으로 하나의 상기 제2-1 미러와 오버랩되게 배치되고, 상기 제2-1 그룹과 상기 제2-2 그룹은 광축방향으로 하나의 상기 제2-2 미러와 오버랩되게 배치될 수 있다.Preferably, the 1-1 group and the 1-2 group are arranged to overlap one 2-1 mirror in an optical axis direction, and the 2-1 group and the 2-2 group are arranged in an optical axis direction. It may be arranged to overlap one of the second 2-2 mirrors in the direction.

바람직하게는, x방향을 기준으로, 상기 제2 미러의 폭은 대향하여 배치되는 한 쌍의 제1 미러 사이의 최대거리보다 적어도 클 수 있다.Preferably, with respect to the x-direction, the width of the second mirror may be at least greater than the maximum distance between the pair of first mirrors disposed to face each other.

바람직하게는, x방향을 기준으로, 상기 제2 미러의 폭과 상기 제3 미러의 폭은 동일할 수 있다.Preferably, the width of the second mirror and the width of the third mirror may be the same in the x-direction.

실시예는, 하나의 카메라를 통해 제품의 여러면을 검사할 수 있는 이점이 있다.Embodiments have the advantage of being able to inspect multiple sides of a product through a single camera.

실시예는, 하나의 카메라를 통해 복수 개의 제품을 검사할 수 있는 이점이 있다.The embodiment has the advantage of being able to inspect a plurality of products through one camera.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치를 도시한 도면,
도 2는 도 1에서 도시한 제1 미러와, 제2 미러와, 제3 미러를 고정하는 지그를 도시한 도면,
도 3은 제1 미러를 도시한 도면,
도 4는 y축에서 바라본 제1 미러의 측면도,
도 5는 x축에서 바라본 제1 미러의 측면도,
도 6은 제1 미러가 배치된 지그의 제1 바디의 평면도,
도 7은 제1 미러와 제2 미러와 제3 미러의 상대적 위치를 도시한 검사 장치의 평면도,
도 8은 제1 미러와 제2 미러와 제3 미러의 상대적 위치를 도시한 검사 장치의 정면도,
도 9는 대상물의 일측면의 이미지가 카메라에 전달되는 경로를 도시한 검사 장치의 정면도,
도 10은 대상물의 타측면의 이미지가 카메라에 전달되는 경로를 도시한 검사 장치의 정면도 이다.1 is a view showing an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a view showing a jig for fixing the first mirror, the second mirror, and the third mirror shown in FIG. 1;
3 is a view showing a first mirror;
4 is a side view of the first mirror viewed from the y-axis;
5 is a side view of the first mirror viewed from the x-axis;
6 is a plan view of the first body of the jig on which the first mirror is disposed;
7 is a plan view of the inspection apparatus showing the relative positions of the first mirror, the second mirror, and the third mirror;
8 is a front view of the inspection device showing the relative positions of the first mirror, the second mirror, and the third mirror;
9 is a front view of an inspection device showing a path through which an image of one side of an object is transmitted to a camera;
10 is a front view of the inspection apparatus showing a path through which the image of the other side of the object is transmitted to the camera.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다.However, the technical spirit of the present invention is not limited to some embodiments described, but may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical spirit of the present invention, one or more of the components may be selected among the embodiments. It can be combined and substituted for use.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다.In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention may be generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, unless specifically defined and described explicitly. It may be interpreted as a meaning, and generally used terms such as terms defined in advance may be interpreted in consideration of the contextual meaning of the related art.

또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다.In addition, the terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention.

본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “A 및(와) B, C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다.In this specification, the singular form may also include the plural form unless otherwise specified in the phrase, and when it is described as “at least one (or more than one) of A and (and) B, C”, it is combined with A, B, and C It may include one or more of all possible combinations.

또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다.In addition, in describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b), etc. may be used.

이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다.These terms are only used to distinguish the component from other components, and are not limited to the essence, order, or order of the component by the term.

그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우뿐만 아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성 요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 ‘연결’, ‘결합’ 또는 ‘접속’ 되는 경우도 포함할 수 있다.And, when it is described that a component is 'connected', 'coupled' or 'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also with the component It may also include a case of 'connected', 'coupled' or 'connected' due to another element between the other elements.

또한, 각 구성 요소의 “상(위) 또는 하(아래)”에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두 개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우뿐만 아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한, “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In addition, when it is described as being formed or disposed on “above (above) or under (below)” of each component, the top (above) or bottom (below) is one as well as when two components are in direct contact with each other. Also includes a case in which another component as described above is formed or disposed between two components. In addition, when expressed as “upper (upper) or lower (lower)”, the meaning of not only an upward direction but also a downward direction based on one component may be included.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치를 도시한 도면이고, 도 2는 도 1에서 도시한 제1 미러와, 제2 미러와, 제3 미러를 고정하는 지그를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a jig for fixing the first mirror, the second mirror, and the third mirror shown in FIG. 1 .

실시예에 따른 검사장치는, 하나의 카메라를 통해, 제품, 예를 들어, 카메라 모듈의 상면과 함께 복수의 측면이 모두 나타나는 하나의 이미지를 통해 제품의 외관 검사를 수행할 수 있다.The inspection apparatus according to the embodiment may perform an external inspection of a product through one camera, for example, through one image in which a plurality of side surfaces together with an upper surface of a camera module are all displayed.

도 1 및 도 2를 참조하면, 이러한 검사장치는, 제1 미러(100)와, 제2 미러(200)와, 제3 미러(300)와, 카메라(400)와, 조명(500)을 포함할 수 있다. 1 and 2 , the inspection apparatus includes a first mirror 100 , a second mirror 200 , a third mirror 300 , a camera 400 , and an illumination 500 . can do.

광축방향(z)으로, 제2 미러(200) 및 제3 미러(300)는 제1 미러(100)의 상측에 배치될 수 있다. 그리고, 광축방향(z)으로 제2 미러(200)와 제3 미러(300)는 동일한 높이에 배치될 수 있다. 광축방향(z)으로 조명(500)은 제1 미러(100)와 제2 미러(200) 사이에 배치될 수 있다. In the optical axis direction z, the second mirror 200 and the third mirror 300 may be disposed above the first mirror 100 . In addition, the second mirror 200 and the third mirror 300 may be disposed at the same height in the optical axis direction z. In the optical axis direction (z), the illumination 500 may be disposed between the first mirror 100 and the second mirror 200 .

조명(500)은 광축방향(z)으로 빛을 평행하게 보내는 조명(500)이다. 이러한 조명(500)은 광원(510)과 하프미러(520)와, 미러(530)가 포함될 수 있다. 카메라(400)는 대상물의 크기 및 개수에 대응하여 그 사양이 결정될 수 있다. 이하, 도 1, 도 8, 도 9, 도 10의 x(a)는 조명(500)을 포함하는 검사장치를 도시한 도면이고, 도 1, 도 8, 도 9, 도 10의 x(b)는 조명(500)을 포함하지 않는 검사장치를 도시한 도면이다. 조명(500)을 포함하는 검사장치가 상대적으로, 카메라(400)와, 제1 미러(100)와, 제2 미러(200)와, 제3 미러(300)의 정렬이 용이하고, 난반사가 적어 보다 선명한 대상물의 이미지를 얻을 수 있는 이점이 있다.The illumination 500 is an illumination 500 that transmits light in parallel in the optical axis direction (z). The illumination 500 may include a light source 510 , a half mirror 520 , and a mirror 530 . The specifications of the camera 400 may be determined according to the size and number of objects. Hereinafter, x(a) of FIGS. 1, 8, 9, and 10 is a view showing an inspection device including an illumination 500, and x(b) of FIGS. 1, 8, 9, and 10 is a view showing an inspection device that does not include the light (500). The inspection device including the illumination 500 is relatively easy to align the camera 400, the first mirror 100, the second mirror 200, and the third mirror 300, and the diffuse reflection is small. There is an advantage in that it is possible to obtain a clearer image of an object.

제1 미러(100)와, 제2 미러(200)와, 제3 미러(300)를 각각 고정하는 지그(2)가 마련될 수 있다. 지그(2)는 제1 바디(10)와 제2 바디(20)와 제3 바디(30)를 포함할 수 있다. A jig 2 for fixing the first mirror 100 , the second mirror 200 , and the third mirror 300 may be provided. The jig 2 may include a first body 10 , a second body 20 , and a third body 30 .

제1 바디(10)는 x-y 평면상에 배치되는 평판 부재일 수 있다. 제1 바디(10)에는 복수 개의 제1 미러(100)가 장착될 수 있다. 복수 개의 제1 미러(100)는 x방향을 따라 2개의 그룹(G1,G2)으로 구분되어 배치될 수 있다.The first body 10 may be a flat member disposed on an x-y plane. A plurality of first mirrors 100 may be mounted on the first body 10 . The plurality of first mirrors 100 may be divided into two groups G1 and G2 along the x-direction and disposed.

제2 바디(20)는 광축방향(z)으로 길게 배치되어 제1 바디(10)와 제2 바디(20)를 연결한다.The second body 20 is elongated in the optical axis direction z to connect the first body 10 and the second body 20 .

제3 바디(30) 육면체 형상의 박스형 부재일 수 있다. 제2 바디(20)에는 제2 미러(200)와 제3 미러(300)가 장착될 수 있다.The third body 30 may be a box-shaped member having a hexahedral shape. A second mirror 200 and a third mirror 300 may be mounted on the second body 20 .

도 3은 제1 미러(100)를 도시한 도면이고, 도 4는 y축에서 바라본 제1 미러(100)의 측면도이고, 도 5는 x축에서 바라본 제1 미러(100)의 측면도이다.FIG. 3 is a view showing the first mirror 100 , FIG. 4 is a side view of the first mirror 100 viewed from the y-axis, and FIG. 5 is a side view of the first mirror 100 viewed from the x-axis.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 제1 미러(100)는 반사면이 광축방향(z)에 수직인 x-y평면에 경사지게 배치될 수 있다. 제1 미러(100)는 대상물(1)의 복수 개의 측면에 각각 배치된다. 예를 들어, 대상물(1)이 카메라(400) 모듈인 경우, 대상물(1)의 4개의 측면에 대응하여 4개의 제1 미러(100)가 배치될 수 있다. 하나의 대상물(1)에 대응한 4개의 제1 미러(100)를 하나의 그룹(G)이라 정의할 때, 하나의 그룹(G)에는 x방향을 기준으로 대향하여 배치되는 한 쌍의 제1 미러(100A)와, y방향을 기준으로 배치되는 기준으로 대향하여 배치되는 한 쌍의 제1 미러(100B)가 포함될 수 있다.3 to 5 , the first mirror 100 may be disposed to be inclined on the x-y plane in which the reflective surface is perpendicular to the optical axis direction (z). The first mirror 100 is respectively disposed on a plurality of side surfaces of the object 1 . For example, when the object 1 is a camera 400 module, four first mirrors 100 may be disposed to correspond to four sides of the object 1 . When the four first mirrors 100 corresponding to one object 1 are defined as one group G, a pair of first mirrors 100 corresponding to one object 1 are disposed opposite to each other in the x direction in one group G. A mirror 100A and a pair of first mirrors 100B disposed to face each other with a reference disposed in the y-direction may be included.

도 6은 제1 미러(100)가 배치된 지그(2)의 제1 바디(10)의 평면도이다.6 is a plan view of the first body 10 of the jig 2 on which the first mirror 100 is disposed.

도 6을 참조하면, 지그(2)의 제1 바디(10)에는 복수 개의 대상물(1)이 장착되어 한번에 검사될 수 있다. 예를 들어, 제1 바디(10)에는 4개의 대상물(1)이 장착될 수 있다. 제1 바디(10)에는 대상물(1)이 장착되는 홀(S)이 배치될 수 있다. 이에 대응하여 복수 개의 제1 미러(100)를 포함하는 그룹(G)은 제1 그룹(G1)과 제2 그룹(G2)으로 구분되어 배치될 수 있다. 광축(O)을 지나는 x방향 중심선(C)을 기준으로, 제1 그룹(G1)은 중심선(C)의 일측에 배치되고, 제2 그룹(G2)은 중심선(C)의 타측에 배치된다. Referring to FIG. 6 , a plurality of objects 1 may be mounted on the first body 10 of the jig 2 to be inspected at once. For example, four objects 1 may be mounted on the first body 10 . A hole S in which the object 1 is mounted may be disposed in the first body 10 . Correspondingly, the group G including the plurality of first mirrors 100 may be divided into a first group G1 and a second group G2 and disposed. Based on the x-direction center line C passing through the optical axis O, the first group G1 is disposed on one side of the center line C, and the second group G2 is disposed on the other side of the center line C.

또한, 제1 그룹(G1)은 제1-1 그룹(G1a)과 제1-2 그룹(G1b)으로 구분될 수 있다. 제1-1 그룹(G1a)과 제1-2 그룹(G1b)은 y방향을 따라 배치된다. 제2 그룹(G2)은 제2-1 그룹(G2a)과 제2-2 그룹(G2b)으로 구분될 수 있다. 제2-1 그룹(G2a)과 제2-2 그룹(G2b)은 y방향을 따라 배치된다. Also, the first group G1 may be divided into a 1-1 group G1a and a 1-2 th group G1b. The first-first group G1a and the first-second group G1b are arranged along the y-direction. The second group G2 may be divided into a 2-1 group G2a and a 2-2 group G2b. The 2-1 th group G2a and the 2-2 th group G2b are arranged along the y-direction.

도 7은 제1 미러(100)와 제2 미러(200)와 제3 미러(300)의 상대적 위치를 도시한 검사 장치의 평면도이다.7 is a plan view of the inspection apparatus showing the relative positions of the first mirror 100 , the second mirror 200 , and the third mirror 300 .

도 1, 도 2 및 도 7을 참조하면, 제2 미러(200)는 제2-1 미러(210)와 제2-2 미러(220)를 포함할 수 있다. 제2-1 미러(210)와 제2-2 미러(220)는 각각 지그(2)의 제2 바디(20)에 고정되며, 제2-1 미러(210)는 중심선(C)의 일측에 배치되고, 제2-2 미러(220)는 중심선(C)의 타측에 배치된다.1, 2, and 7 , the second mirror 200 may include a 2-1 mirror 210 and a 2-2 mirror 220 . The 2-1 mirror 210 and the 2-2 mirror 220 are fixed to the second body 20 of the jig 2, respectively, and the 2-1 mirror 210 is located on one side of the center line C. is disposed, the 2-2 mirror 220 is disposed on the other side of the center line (C).

광축방향(z)으로, 제2-1 미러(210)는 제1-1 그룹(G1a) 및 제1-2 그룹(G1b)의 제1 미러(100)와 모두 오버랩되게 배치될 수 있다. 광축방향(z)으로, 제2-2 미러(220)는 제2-1 그룹(G2a) 및 제2-2 그룹(G2b)의 제1 미러(100)와 모두 오버랩되게 배치될 수 있다. 이는 제1 미러(100)에서 반사된 대상물(1)의 측면 이미지를 제2 미러(200)에서 전달받기 위한 것이다.In the optical axis direction z, the 2-1 th mirror 210 may be disposed to overlap the first mirror 100 of the 1-1 th group G1a and the 1-2 th group G1b. In the optical axis direction z, the 2-2 mirror 220 may be disposed to overlap with the first mirror 100 of the 2-1 th group G2a and the 2-2 th group G2b. This is to receive the side image of the object 1 reflected by the first mirror 100 from the second mirror 200 .

제3 미러(300)는 제3-1 미러(310)와 제3-2 미러(320)를 포함할 수 있다. 제3-1 미러(310)와 제3-2 미러(320)는 각각 지그(2)의 제2 바디(20)에 고정되며, 제3-1 미러(310)는 중심선(C)의 일측에 배치되고, 제3-2 미러(320)는 중심선(C)의 타측에 배치된다.The third mirror 300 may include a 3-1 mirror 310 and a 3-2 mirror 320 . The 3-1 mirror 310 and the 3-2 mirror 320 are fixed to the second body 20 of the jig 2, respectively, and the 3-1 mirror 310 is located on one side of the center line C. is disposed, and the 3-2 mirror 320 is disposed on the other side of the center line (C).

광축방향(z)으로, 제3-1 미러(310)는 제1 그룹(G1)의 제1 미러(100)와 오버랩되지 않게 배치된다. 그리고 광축방향(z)으로, 제3-1 미러(310)는 카메라(400)의 촬상영역(H)의 일부인 제1 영역(H1)에 오버랩되게 배치될 수 있다. 또한, 광축방향(z)으로, 제3-2 미러(320)는 제2 그룹(G2)의 제1 미러(100)와 오버랩되지 않게 배치된다. 그리고 광축방향(z)으로, 제3-2 미러(320)는 카메라(400)의 촬상영역(H)의 다른 일부인 제2 영역(H2)에 오버랩되게 배치될 수 있다.In the optical axis direction z, the 3-1 mirror 310 is disposed so as not to overlap the first mirror 100 of the first group G1. In addition, in the optical axis direction (z), the 3-1 mirror 310 may be disposed to overlap the first area H1 which is a part of the imaging area H of the camera 400 . Also, in the optical axis direction z, the 3-2 mirror 320 is disposed so as not to overlap the first mirror 100 of the second group G2. In addition, in the optical axis direction z, the 3-2 mirror 320 may be disposed to overlap the second area H2 which is another part of the imaging area H of the camera 400 .

이는 제2 미러(200)에서 반사된 대상물(1)의 측면 이미지를 카메라(400)에 전달하기 위한 것이다. 여기서, 카메라(400)의 촬상영역(H)은 지그(2)의 제2 바디(20)에 배치된 홀(31)과 대응된다. 홀(31)은 중심선(C)을 기준으로 대칭되게 배치될 수 있다.This is to transmit the side image of the object 1 reflected by the second mirror 200 to the camera 400 . Here, the imaging area H of the camera 400 corresponds to the hole 31 disposed in the second body 20 of the jig 2 . The hole 31 may be symmetrically disposed with respect to the center line C.

도 8은 제1 미러(100)와 제2 미러(200)와 제3 미러(300)의 상대적 위치를 도시한 검사 장치의 정면도이다.8 is a front view of the inspection apparatus showing the relative positions of the first mirror 100 , the second mirror 200 , and the third mirror 300 .

도 8을 참조하면, x방향을 기준으로, 제2 미러(200)의 폭(W1)은, 대향하여 배치되는 한 쌍의 제1 미러(100) 사이의 최대거리(L)보다 같거나 크다. 그리고 x방향을 기준으로, 제2 미러(200)의 폭(W1)과 제3 미러(300)의 폭(W2)은 동일할 수 있다. x방향을 기준으로, 제2 미러(200)의 폭(W1)과 제3 미러(300)의 폭(W2)은 촬상영역(H)의 절반일 수 있다.Referring to FIG. 8 , in the x direction, the width W1 of the second mirror 200 is equal to or greater than the maximum distance L between the pair of first mirrors 100 disposed to face each other. In addition, the width W1 of the second mirror 200 and the width W2 of the third mirror 300 may be the same in the x-direction. Based on the x-direction, the width W1 of the second mirror 200 and the width W2 of the third mirror 300 may be half of the imaging area H.

제2 미러(200)의 반사면의 경사방향과 제3 미러(300)의 반사면의 경사방향은 동일할 수 있다. 또한, 제2 미러(200)의 반사면의 경사정도와 제3 미러(300)의 반사면의 경사정도는 동일할 수 있다.The inclination direction of the reflective surface of the second mirror 200 and the inclination direction of the reflective surface of the third mirror 300 may be the same. In addition, the degree of inclination of the reflective surface of the second mirror 200 and the degree of inclination of the reflective surface of the third mirror 300 may be the same.

검사 장치를 정면에서 바라볼 때, 제2-1 미러(210)와 제2-2 미러(220)는 중심선(C)을 대칭되게 배치될 수 있다. 검사 장치를 정면에서 바라볼 때, 제3-1 미러(310)와 제3-2 미러(320)는 중심선(C)을 대칭되게 배치될 수 있다.When the inspection apparatus is viewed from the front, the 2-1 mirror 210 and the 2-2 mirror 220 may be disposed symmetrically with the center line C. Referring to FIG. When the inspection apparatus is viewed from the front, the 3-1 mirror 310 and the 3-2 mirror 320 may be disposed symmetrically with the center line C. Referring to FIG.

도 9는 대상물(1)의 일측면의 이미지가 카메라(400)에 전달되는 경로를 도시한 검사 장치의 정면도이다.9 is a front view of the inspection apparatus showing a path through which an image of one side of the object 1 is transmitted to the camera 400 .

도 9를 참조하면, 제1 그룹(G1)에 장착된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 제1 미러(100)에 반사되어, 제2-1 미러(210)에 전달된다. 제2-1 미러(210)에 전달된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 제2-1 미러(210)에서 반사되어 제3-1 미러(310)로 전달된다. 제3-1 미러(310)가 광축방향(z)으로 촬상영역(H)의 제1 영역(H1)과 오버랩되게 배치되기 때문에, 제3-1 미러(310)로 입사된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 반사되어 촬상영역(H)의 제1 영역(H1)에 도달한다.Referring to FIG. 9 , the image of one side of the object 1 mounted in the first group G1 is reflected by the first mirror 100 and transmitted to the 2-1 mirror 210 . The image of one side of the object 1 transmitted to the 2-1 mirror 210 is reflected by the 2-1 mirror 210 and transmitted to the 3-1 mirror 310 . Since the 3-1 mirror 310 is disposed to overlap the first region H1 of the imaging region H in the optical axis direction z, the object 1 incident to the 3-1 mirror 310 is The image of one side is reflected and reaches the first area H1 of the imaging area H.

제2 그룹(G2)에 장착된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 제1-2 미러에 반사되어, 제2-2 미러(220)에 전달된다. 제2-2 미러(220)에 전달된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 제2-2 미러(220)에서 반사되어 제3-2 미러(320)로 전달된다. 제3-2 미러(320)가 광축방향(z)으로 촬상영역(H)의 제2 영역(H2)과 오버랩되게 배치되기 때문에, 제3-2 미러(320)로 입사된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 반사되어 촬상영역(H)의 제1 영역(H1)과 상이한 제2 영역(H2)에 도달한다.The image of one side of the object 1 mounted in the second group G2 is reflected by the 1-2 mirror and transmitted to the 2-2 mirror 220 . The image of one side of the object 1 transmitted to the 2-2 mirror 220 is reflected by the 2-2 mirror 220 and transmitted to the 3-2 mirror 320 . Since the 3-2 mirror 320 is disposed to overlap the second region H2 of the imaging region H in the optical axis direction z, the object 1 incident to the 3-2 mirror 320 is The image of one side is reflected and reaches the second area H2 different from the first area H1 of the imaging area H.

따라서, 제1 그룹(G1)에 장착된 대상물(1)의 일측면의 이미지와 제2 그룹(G2)에 장착된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 촬상영역(H)에 함께 도달한다.Accordingly, the image of one side of the object 1 mounted in the first group G1 and the image of one side of the object 1 mounted in the second group G2 reach the imaging area H together.

도 10은 대상물(1)의 타측면의 이미지가 카메라(400)에 전달되는 경로를 도시한 검사 장치의 정면도이다.10 is a front view of the inspection apparatus showing a path through which an image of the other side of the object 1 is transmitted to the camera 400 .

도 9를 참조하면, 제1 그룹(G1)에 장착된 대상물(1)의 타측면의 이미지는 제1 미러(100)에 반사되어, 제2-1 미러(210)에 전달된다. 제2-1 미러(210)에 전달된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 제2-1 미러(210)에서 반사되어 제3-1 미러(310)로 전달된다. 제3-1 미러(310)가 광축방향(z)으로 촬상영역(H)의 제1 영역(H1)과 오버랩되게 배치되기 때문에, 제3-1 미러(310)로 입사된 대상물(1)의 일측면의 이미지는 반사되어 촬상영역(H)의 제1 영역(H1)에 도달한다.Referring to FIG. 9 , the image of the other side of the object 1 mounted in the first group G1 is reflected by the first mirror 100 and transmitted to the 2-1 mirror 210 . The image of one side of the object 1 transmitted to the 2-1 mirror 210 is reflected by the 2-1 mirror 210 and transmitted to the 3-1 mirror 310 . Since the 3-1 mirror 310 is disposed to overlap the first region H1 of the imaging region H in the optical axis direction z, the object 1 incident to the 3-1 mirror 310 is The image of one side is reflected and reaches the first area H1 of the imaging area H.

제2 그룹(G2)에 장착된 대상물(1)의 타측면의 이미지는 제1-2 미러에 반사되어, 제2-2 미러(220)에 전달된다. 제2-2 미러(220)에 전달된 대상물(1)의 타측면의 이미지는 제2-2 미러(220)에서 반사되어 제3-2 미러(320)로 전달된다. 제3-2 미러(320)가 광축방향(z)으로 촬상영역(H)의 제2 영역(H2)과 오버랩되게 배치되기 때문에, 제3-2 미러(320)로 입사된 대상물(1)의 타측면의 이미지는 반사되어 촬상영역(H)의 제1 영역(H1)과 상이한 제2 영역(H2)에 도달한다.The image of the other side of the object 1 mounted in the second group G2 is reflected by the 1-2 mirror and transmitted to the 2-2 mirror 220 . The image of the other side of the object 1 transmitted to the 2-2 mirror 220 is reflected by the 2-2 mirror 220 and transmitted to the 3-2 mirror 320 . Since the 3-2 mirror 320 is disposed to overlap the second region H2 of the imaging region H in the optical axis direction z, the object 1 incident to the 3-2 mirror 320 is The image of the other side is reflected and reaches the second area H2 different from the first area H1 of the imaging area H.

따라서, 제1 그룹(G1)에 장착된 대상물(1)의 타측면의 이미지와 제2 그룹(G2)에 장착된 대상물(1)의 타측면의 이미지는 촬상영역(H)에 함께 도달한다.Accordingly, the image of the other side of the object 1 mounted in the first group G1 and the image of the other side of the object 1 mounted in the second group G2 reach the imaging area H together.

대상물(1)의 상면의 이미지는 제2 미러(200)에 직접 전달되어 제3 미러(300)를 통해 촬상영역(H)에 대상물(1)의 측면의 이미지와 함께 도달한다. 대상물(1)의 하면의 이미지는 지그(2)의 제1 바디(10)의 하측에 배치된 별도의 카메라(400)를 통해 얻을 수 있다. The image of the upper surface of the object 1 is directly transmitted to the second mirror 200 and reaches the imaging area H through the third mirror 300 together with the image of the side surface of the object 1 . The image of the lower surface of the object 1 may be obtained through a separate camera 400 disposed below the first body 10 of the jig 2 .

이상으로 본 발명의 바람직한 하나의 실시예에 따른 검사 장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 살펴보았다. As described above, with reference to the accompanying drawings with respect to the inspection apparatus according to one preferred embodiment of the present invention has been described in detail.

전술된 본 발명의 일 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의해 나타내어질 것이다. 그리고 이 특허청구범위의 의미 및 범위는 물론 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형 가능한 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. One embodiment of the present invention described above is to be understood in all respects as illustrative and not restrictive, and the scope of the present invention will be indicated by the following claims rather than the foregoing detailed description. And it should be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims as well as equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

100: 제1 미러
200: 제2 미러
300: 제3 미러
400: 카메라
500: 조명100: first mirror
200: second mirror
300: third mirror
400: camera
500: light

Claims (10)

카메라;
대상물의 복수 개의 측면에 각각 대향하여 배치되는 복수개의 제1 미러;
상기 카메라와 상기 제1 미러 사이에 배치되며, 광축방향으로 복수 개의 제1 미러와 오버랩되게 배치되는 제2 미러;및
상기 제2 미러에 대향하여 배치되는 제3 미러를 포함하고,
상기 제3 미러는 광축방향으로 상기 제1 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역의 일부에 오버랩되게 배치되는 검사 장치.camera;
a plurality of first mirrors disposed opposite to each other on a plurality of side surfaces of the object;
a second mirror disposed between the camera and the first mirror and disposed to overlap the plurality of first mirrors in the optical axis direction; And
a third mirror disposed opposite the second mirror;
The third mirror is disposed so as not to overlap the first mirror in the optical axis direction, and is disposed to overlap a portion of the imaging area of the camera. 제1 항에 있어서,
상기 제1 미러는 광축방향으로 상기 카메라의 촬상영역과 오버랩되지 않게 배치되는 검사 장치.According to claim 1,
The first mirror is disposed so as not to overlap the imaging area of the camera in the optical axis direction. 제1 항에 있어서,
상기 제1 미러, 상기 제2 미러 및 상기 제3 미러는 각각 상기 광축방향과 수직인 x-y 평면에 경사지게 배치되는 검사 장치.According to claim 1,
The first mirror, the second mirror, and the third mirror are each disposed to be inclined in an xy plane perpendicular to the optical axis direction. 제1 항에 있어서,
복수 개의 제1 미러로 조합되는 그룹과,
상기 제1 그룹은, x방향을 기준으로 대향하여 배치되는 한 쌍의 상기 제1 미러와, y방향을 기준으로 대향하여 배치되는 한 쌍의 상기 제1 미러를 포함하는 검사 장치.According to claim 1,
a group combined with a plurality of first mirrors;
The first group includes a pair of the first mirrors disposed to face each other in an x-direction and a pair of the first mirrors disposed to face each other in a y-direction. 제4 항에 있어서,
상기 한 쌍의 제1 미러는 반사면의 경사방향이 서로 상이하고,
상기 제2 미러의 반사면의 경사방향과 상기 제3 미러의 반사면의 경사방향으로 동일한 검사 장치.5. The method of claim 4,
The pair of first mirrors have different inclination directions of the reflective surfaces,
The inclination direction of the reflective surface of the second mirror is identical to the inclination direction of the reflective surface of the third mirror. 제4 항에 있어서,
상기 그룹은 제1 그룹과 제2 그룹을 포함하고,
상기 제2 미러는 제2-1 미러와 제2-2 미러를 포함하고,
상기 제3 미러는 제3-1 미러와 제3-2 미러를 포함하고,
상기 제1 그룹과 상기 제2 그룹은 x방향을 기준으로 이격되어 배치되고,
상기 제2-1 미러는 광축방향으로 상기 제1 그룹의 상기 제1 미러와 오버랩되게 배치되고,
상기 제2-2 미러는 광축방향으로 상기 제2 그룹의 상기 제1 미러와 오버랩되게 배치되고,
상기 제3-1 미러는 광축방향으로 상기 제1 그룹의 상기 제1 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역의 제1 영역에 오버랩되게 배치되고,
상기 제3-2 미러는 광축방향으로 상기 제2 그룹의 상기 제2 미러와 오버랩되지 않게 배치되되, 상기 카메라의 촬상영역에서 상기 제1 영역과 상이한 제2 영역에 오버랩되게 배치되는 검사 장치.5. The method of claim 4,
The group comprises a first group and a second group,
The second mirror includes a 2-1 mirror and a 2-2 mirror,
The third mirror includes a 3-1 mirror and a 3-2 mirror,
The first group and the second group are spaced apart from each other in the x-direction,
The 2-1 mirror is disposed to overlap with the first mirror of the first group in the optical axis direction,
The 2-2 mirror is disposed to overlap with the first mirror of the second group in the optical axis direction,
The 3-1 mirror is disposed not to overlap the first mirror of the first group in the optical axis direction, and is disposed to overlap the first area of the imaging area of the camera;
The 3-2 mirror is disposed not to overlap the second mirror of the second group in the optical axis direction, and is disposed to overlap a second area different from the first area in the imaging area of the camera. 제6 항에 있어서,
상기 제1 그룹은 제1-1 그룹과 제1-2 그룹을 포함하고,
상기 제2 그룹은 제2-1 그룹과 제2-2 그룹을 포함하고,
상기 제1-1 그룹과 상기 제1-2 그룹은 y방향을 따라 배치되고,
상기 제2-1 그룹과 상기 제2-2 그룹은 y방향을 따라 배치되는 검사 장치.7. The method of claim 6,
The first group includes a group 1-1 and a group 1-2,
The second group includes a 2-1 group and a 2-2 group,
The 1-1 group and the 1-2 group are arranged along the y-direction,
The 2-1 group and the 2-2 group are disposed along a y-direction. 제7 항에 있어서,
상기 제1-1 그룹과 상기 제1-2 그룹은 광축방향으로 하나의 상기 제2-1 미러와 오버랩되게 배치되고,
상기 제2-1 그룹과 상기 제2-2 그룹은 광축방향으로 하나의 상기 제2-2 미러와 오버랩되게 배치되는 검사 장치.8. The method of claim 7,
The 1-1 group and the 1-2 group are disposed to overlap one 2-1 mirror in the optical axis direction,
The 2-1 group and the 2-2 group are disposed to overlap one of the 2-2 mirrors in an optical axis direction. 제1 항에 있어서,
x방향을 기준으로, 상기 제2 미러의 폭은 대향하여 배치되는 한 쌍의 제1 미러 사이의 최대거리보다 적어도 큰 검사 장치.According to claim 1,
In the x-direction, the width of the second mirror is at least greater than the maximum distance between the pair of first mirrors disposed to face each other. 제1 항에 있어서,
x방향을 기준으로, 상기 제2 미러의 폭과 상기 제3 미러의 폭은 동일한 검사 장치.According to claim 1,
The width of the second mirror and the width of the third mirror are the same in the x-direction.
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