KR102424309B1

KR102424309B1 - 증착 마스크의 제조 방법, 증착 마스크가 배치된 중간 제품 및 증착 마스크

Info

Publication number: KR102424309B1
Application number: KR1020197006625A
Authority: KR
Inventors: 지카오 이케나가; 다카노리 마루오카; 사치요 마츠우라
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2016-10-07
Filing date: 2017-09-12
Publication date: 2022-07-25
Anticipated expiration: 2037-09-12
Also published as: US11313026B2; TWI778977B; EP3524710A4; KR20220104846A; JP2022191309A; JPWO2018066325A1; EP3524710A1; EP3524710B1; TW202129033A; CN107916396A; CN207313683U; JP7301497B2; TW201816148A; US20190256965A1; US11814719B2; WO2018066325A1; JP7545671B2; US20200056279A1; EP3524710B8; TWI783447B

Abstract

긴 변의 변형이 억제된 증착 마스크를 제조한다. 증착 마스크의 제조 방법은, 금속판을 준비하는 공정과, 금속판을, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 복수의 증착 마스크 부분과, 복수의 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 복수의 증착 마스크 부분의 짧은 변에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하는 중간 제품으로 가공하는 가공 공정과, 증착 마스크 부분을 지지 부분으로부터 분리하여 증착 마스크를 얻는 분리 공정을 구비한다. 중간 제품에 있어서, 증착 마스크 부분의 긴 변은, 지지 부분에 접속되어 있지 않다.

Description

증착 마스크의 제조 방법, 증착 마스크가 배치된 중간 제품 및 증착 마스크

본 발명은 증착 마스크 및 증착 마스크의 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 증착 마스크를 제작하기 위한 중간 제품에 관한 것이다.

근년, 스마트폰이나 태블릿 PC 등의 운반 가능한 디바이스에서 사용되는 표시 장치에 대하여 고정밀일 것, 예를 들어 화소 밀도가 400ppi 이상일 것이 요구되고 있다. 또한, 운반 가능한 디바이스에 있어서도, 울트라 풀 하이비전에 대응하는 것에 대한 수요가 높아지고 있어, 이 경우, 표시 장치의 화소 밀도가 예를 들어 800ppi 이상일 것이 요구된다.

표시 장치 중에서도, 응답성이 좋은 점, 소비 전력의 낮음이나 콘트라스트의 높음 때문에, 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 유기 EL 표시 장치의 화소를 형성하는 방법으로서, 원하는 패턴으로 배열된 관통 구멍이 형성된 증착 마스크를 사용하여, 원하는 패턴으로 화소를 형성하는 방법이 알려져 있다. 구체적으로는, 처음에, 유기 EL 표시 장치용의 기판에 대하여 증착 마스크를 밀착시키고, 이어서, 밀착시킨 증착 마스크 및 기판을 함께 증착 장치에 투입하고, 유기 재료를 기판에 증착시키는 증착 공정을 행한다. 이에 의해, 증착 마스크의 관통 구멍의 패턴에 대응한 패턴으로, 기판 상에, 유기 재료를 포함하는 화소를 형성할 수 있다.

증착 공정에 있어서, 증착 마스크는, 소정의 강성을 갖는 프레임에 고정되어 있다. 예를 들어, 증착 마스크가 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 갖는 경우, 증착 마스크는, 긴 변의 방향으로 인장된 상태에서 프레임에 고정된다. 이에 의해, 증착 마스크가 휘는 것을 억제하여, 화소의 치수 정밀도나 위치 정밀도를 높일 수 있다.

증착 마스크의 제조 방법으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 포토리소그래피 기술을 사용한 에칭에 의해 금속판에 관통 구멍을 형성하는 방법이 알려져 있다. 예를 들어, 처음에, 금속판의 제1 면 상에 노광·현상 처리에 의해 제1 레지스트 패턴을 형성하고, 또한 금속판의 제2 면 상에 노광·현상 처리에 의해 제2 레지스트 패턴을 형성한다. 이어서, 금속판의 제1 면 중 제1 레지스트 패턴에 의해 덮여 있지 않은 영역을 에칭하여, 금속판의 제1 면에 제1 개구부를 형성한다. 그 후, 금속판의 제2 면 중 제2 레지스트 패턴에 의해 덮여 있지 않은 영역을 에칭하여, 금속판의 제2 면에 제2 개구부를 형성한다. 이때, 제1 개구부와 제2 개구부가 통하도록 에칭을 행함으로써, 금속판을 관통하는 관통 구멍을 형성할 수 있다.

증착 마스크를 효율적으로 제조하는 방법으로서, 먼저, 복수의 증착 마스크에 상당하는 면적을 갖는 금속판을 준비하고, 이어서, 복수의 증착 마스크에 형성되어야 할 다수의 관통 구멍을 금속판에 형성하고, 그 후, 금속판으로부터 개개의 증착 마스크를 발출한다고 하는 방법이 알려져 있다. 예를 들어 특허문헌 1에 있어서는, 파단선을 따라서 금속판을 절단함으로써, 금속판으로부터 증착 마스크를 발출하고 있다. 특허문헌 1에 있어서, 파단선은, 증착 마스크의 긴 변 및 짧은 변에 대응하는 패턴으로 금속판에 형성된 절취선이다.

일본 특허 공개 제2015-55007호 공보

절취선을 파단시킬 때, 증착 마스크가 금속판으로부터 인장되고, 이에 의해 금속판이 변형되어버리는 것이 생각된다. 예를 들어, 증착 마스크의 긴 변에 물결 형상 등의 변형이 나타날 수 있다. 이 결과, 증착 마스크의 긴 변 근방에 위치하는 관통 구멍을 통하여 기판에 부착되는 증착 재료의 치수 정밀도나 위치 정밀도가 저하되어버린다.

본 발명은 이와 같은 과제를 효과적으로 해결할 수 있는 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크의 제조 방법이며, 금속판을 준비하는 공정과, 상기 금속판을, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 복수의 증착 마스크 부분과, 상기 복수의 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 복수의 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하는 중간 제품으로 가공하는 가공 공정과, 상기 증착 마스크 부분을 상기 지지 부분으로부터 분리하여 상기 증착 마스크를 얻는 분리 공정을 구비하고, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않은, 증착 마스크의 제조 방법이다.

본 발명은 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크의 제조 방법이며, 금속판을 준비하는 공정과, 상기 금속판을, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 복수의 증착 마스크 부분과, 상기 복수의 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 복수의 증착 마스크 부분에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하는 중간 제품으로 가공하는 가공 공정과, 상기 증착 마스크 부분을 상기 지지 부분으로부터 분리하여 상기 증착 마스크를 얻는 분리 공정을 구비하고, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율이, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율보다도 작은, 증착 마스크의 제조 방법이다.

상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되어도 된다.

또는, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 개수를 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 개수를 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되어도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 바람직하게는, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중, 상기 중간 제품의 폭 방향을 따라서 상기 긴 변을 본 경우에 상기 관통 구멍과 겹치는 영역은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않다. 보다 바람직하게는, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 전역이 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변은, 상기 지지 부분을 향하여 돌출되고, 또한 상기 지지 부분에 접속되어 있는 복수의 볼록부를 포함하고 있어도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 복수의 증착 마스크 부분은, 상기 긴 변에 교차하는 방향으로 배열되어 있고, 인접하는 두 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 사이에는, 상기 지지 부분이 존재하지 않아도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 가공 공정은, 상기 금속판을 에칭하여, 상기 관통 구멍, 및 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변과 상기 지지 부분 사이의 간극을 형성하는 공정을 포함하고 있어도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법의 상기 가공 공정에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 방향을 따라서 상기 금속판을 반송하면서 상기 금속판을 가공해도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법의 상기 분리 공정에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소를 파단시킴으로써 상기 증착 마스크 부분을 상기 지지 부분으로부터 분리해도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 상기 금속판의 두께가 50㎛ 이하여도 된다.

본 발명은 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크가 배치된, 금속제의 판형 중간 제품이며, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크 부분과, 상기 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하고, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않은, 중간 제품이다.

본 발명은 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크가 배치된, 금속제의 판형 중간 제품이며, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크 부분과, 상기 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 증착 마스크 부분에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하고, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율이, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율보다도 작은, 중간 제품이다.

본 발명에 의한 중간 제품에 있어서, 바람직하게는, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중, 상기 중간 제품의 폭 방향을 따라서 상기 긴 변을 본 경우에 상기 관통 구멍과 겹치는 영역은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않다. 보다 바람직하게는, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 전역이 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않다.

본 발명에 의한 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변은, 상기 지지 부분을 향하여 돌출되고, 또한 상기 지지 부분에 접속되어 있는 복수의 볼록부를 포함하고 있어도 된다.

본 발명에 의한 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분 및 상기 지지 부분의 두께가 50㎛ 이하여도 된다.

본 발명에 의한 중간 제품에 있어서, 상기 복수의 증착 마스크 부분은, 상기 긴 변에 교차하는 방향으로 배열되어 있고, 인접하는 두 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 사이에는, 상기 지지 부분이 존재하지 않아도 된다.

본 발명은 증착 마스크이며, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함하는, 금속제의 판형 기재와, 상기 기재에 형성된 복수의 관통 구멍을 구비하고, 상기 기재의 상기 짧은 변에는 부분적으로 파단면이 존재하고, 한편, 상기 기재의 상기 긴 변에는 파단면이 존재하지 않는, 증착 마스크이다.

본 발명은 증착 마스크이며, 한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함하는, 금속제의 판형 기재와, 상기 기재에 형성된 복수의 관통 구멍을 구비하고, 상기 기재의 상기 긴 변에 있어서의 파단면의 비율이, 상기 기재의 상기 짧은 변에 있어서의 파단면의 비율보다도 작은, 증착 마스크이다.

상기 기재의 상기 긴 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 긴 변에 존재하는 상기 파단면의 폭의 총합을 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고, 상기 기재의 상기 짧은 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 짧은 변에 존재하는 상기 파단면의 폭의 총합을 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되어도 된다.

또는, 상기 기재의 상기 긴 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 긴 변에 존재하는 상기 파단면의 개수를 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고, 상기 기재의 상기 짧은 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 짧은 변에 존재하는 상기 파단면의 개수를 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되어도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크에 있어서, 바람직하게는, 상기 파단면은, 상기 증착 마스크의 폭 방향을 따라서 상기 긴 변을 본 경우에 상기 관통 구멍과 겹치는 영역에는 존재하지 않는다. 보다 바람직하게는, 상기 기재의 상기 긴 변에는 전역에 걸쳐 파단면이 존재하지 않는다.

본 발명에 의한 증착 마스크에 있어서, 상기 기재의 상기 짧은 변은, 외측으로 돌출됨과 함께 상기 파단면을 갖는 복수의 볼록부를 포함하고 있어도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크에 있어서, 상기 기재의 상기 긴 변으로부터 상기 관통 구멍까지의, 상기 기재의 면 방향에 있어서의 최단 거리가, 50㎛ 이하여도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크에 있어서, 상기 기재는, 상기 관통 구멍을 통한 증착 재료가 부착되는 기판에 대면하는 제1 면과, 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 갖고, 상기 기재의 상기 긴 변은, 상기 제1 면과 교차하는 부분에 있어서 가장 외측으로 돌출된 단면 형상을 갖고 있어도 된다.

본 발명에 의한 증착 마스크에 있어서, 상기 기재의 두께가 50㎛ 이하여도 된다.

본 발명에 따르면, 긴 변의 변형이 억제된 증착 마스크를 제조할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 구비한 증착 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시하는 증착 마스크 장치를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치를 도시하는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치를 도시하는 평면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 증착 마스크의 유효 영역을 도시하는 부분 평면도이다.
도 5는 도 4의 V-V선을 따른 단면도이다.
도 6은 도 4의 VI-VI선을 따른 단면도이다.
도 7은 도 4의 VII-VII선을 따른 단면도이다.
도 8은 도 5에 도시하는 관통 구멍 및 그 근방의 영역을 확대하여 도시하는 단면도이다.
도 9는 증착 마스크의 제조 방법의 일례를 전체적으로 설명하기 위한 모식도이다.
도 10은 금속판 상에 레지스트막을 형성하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 11은 레지스트막에 노광 마스크를 밀착시키는 공정을 도시하는 도면이다.
도 12는 레지스트막을 현상하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 13은 제1 면 에칭 공정을 도시하는 도면이다.
도 14는 제1 오목부를 수지에 의해 피복하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 15는 제2 면 에칭 공정을 도시하는 도면이다.
도 16은 도 15에 이은 제2 면 에칭 공정을 도시하는 도면이다.
도 17은 금속판으로부터 수지 및 레지스트 패턴을 제거하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 18은 금속판을 가공함으로써 얻어진 중간 제품을 도시하는 평면도이다.
도 19는 도 18의 중간 제품 중 부호 XIX가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 확대하여 도시하는 도면이다.
도 20은 증착 마스크 부분을 지지 부분으로부터 분리하는 공정을 도시하는 도면이다.
도 21은 중간 제품으로부터 얻어진 증착 마스크를 확대하여 도시하는 평면도이다.
도 22는 도 21의 증착 마스크의 짧은 변을 화살표 XXII의 방향으로부터 본 경우를 도시하는 측면도이다.
도 23a는 도 21의 증착 마스크 중 부호 XXIII가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 제1 면측에서 관찰한 결과를 도시하는 도면이다.
도 23b는 도 21의 증착 마스크 중 부호 XXIII가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 제2 면측에서 관찰한 결과를 도시하는 도면이다.
도 24a는 도 21의 증착 마스크 중 부호 XXIV가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 제1 면측에서 관찰한 결과를 도시하는 도면이다.
도 24b는 도 21의 증착 마스크 중 부호 XXIV가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 제2 면측에서 관찰한 결과를 도시하는 도면이다.
도 25a는 도 21의 증착 마스크 중 부호 XXIII가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 25b는 증착 마스크의 긴 변의 단면 형상의 일 변형예를 도시하는 도면이다.
도 25c는 도 25a에 도시하는 단면 형상을 갖는 긴 변을 구비한 증착 마스크가 유기 EL 기판에 대면하고 있는 모습을 도시하는 도면이다.
도 25d는 도 25b에 도시하는 단면 형상을 갖는 긴 변을 구비한 증착 마스크가 유기 EL 기판에 대면하고 있는 모습을 도시하는 도면이다.
도 26은 도 21의 증착 마스크 중 부호 XXIV가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 모식적으로 도시하는 단면도이다.
도 27은 중간 제품의 일 변형예를 도시하는 평면도이다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 형태에 대하여 설명한다. 또한, 본건 명세서에 첨부하는 도면에 있어서는, 도시와 이해의 용이함의 편의상, 적절히 축척 및 종횡의 치수비 등을, 실물의 그것들로부터 변경하여 과장하였다.

도 1 내지 도 22는, 본 발명의 일 실시 형태를 설명하기 위한 도면이다. 이하의 실시 형태 및 그 변형예에서는, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때에 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 상에 패터닝하기 위하여 사용되는 증착 마스크의 제조 방법을 예로 들어 설명한다. 단, 이러한 적용에 한정되지 않고, 다양한 용도에 사용되는 증착 마스크에 대하여 본 발명을 적용할 수 있다.

또한, 본 명세서에 있어서, 「판」, 「시트」, 「필름」이라는 용어는, 호칭의 차이만을 기초로 하여, 서로 구별되는 것은 아니다. 예를 들어, 「판」은 시트나 필름이라고 불릴 수 있는 부재도 포함하는 개념이다.

또한, 「판면(시트면, 필름면)」이란, 대상으로 되는 판형(시트형, 필름형) 부재를 전체적 또한 대국적으로 본 경우에 있어서 대상으로 되는 판형 부재(시트형 부재, 필름형 부재)의 평면 방향과 일치하는 면을 가리킨다. 또한, 판형(시트형, 필름형) 부재에 대하여 사용하는 법선 방향이란, 당해 부재의 판면(시트면, 필름면)에 대한 법선 방향을 가리킨다.

또한, 본 명세서에 있어서 사용하는, 형상이나 기하학적 조건 및 물리적 특성 그리고 그것들의 정도를 특정하는, 예를 들어, 「평행」, 「직교」, 「동일」, 「동등」 등의 용어와, 길이나 각도 그리고 물리적 특성의 값 등에 대해서는, 엄밀한 의미에 얽매이는 일 없이, 동일한 기능을 기대할 수 있을 정도의 범위를 포함하여 해석하기로 한다.

(증착 장치)

먼저, 대상물에 증착 재료를 증착시키는 증착 처리를 실시하는 증착 장치(90)에 대해서, 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 장치(90)는 그 내부에, 증착원(예를 들어 도가니(94)), 히터(96), 및 증착 마스크 장치(10)를 구비한다. 또한, 증착 장치(90)는 증착 장치(90)의 내부를 진공 분위기로 하기 위한 배기 수단을 더 구비한다. 도가니(94)는 유기 발광 재료 등의 증착 재료(98)를 수용한다. 히터(96)는 도가니(94)를 가열하여, 진공 분위기 하에서 증착 재료(98)를 증발시킨다. 증착 마스크 장치(10)는 도가니(94)와 대향하도록 배치되어 있다.

(증착 마스크 장치)

이하, 증착 마스크 장치(10)에 대하여 설명한다. 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는 증착 마스크(20)와, 증착 마스크(20)를 지지하는 프레임(15)을 구비한다. 프레임(15)은 증착 마스크(20)가 휘어버리는 일이 없도록, 증착 마스크(20)를 그 면 방향으로 당긴 상태에서 지지한다. 증착 마스크 장치(10)는 도 1에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)가 증착 재료(98)를 부착시킬 대상물인 기판, 예를 들어 유기 EL 기판(92)에 대면하도록, 증착 장치(90) 내에 배치된다. 이하의 설명에 있어서, 증착 마스크(20)의 면 중, 유기 EL 기판(92)측의 면을 제1 면(20a)이라 칭하고, 제1 면(20a)의 반대측에 위치하는 면을 제2 면(20b)이라 칭한다.

증착 마스크 장치(10)는 도 1에 도시한 바와 같이, 유기 EL 기판(92)의, 증착 마스크(20)와 반대측의 면에 배치된 자석(93)을 구비하고 있어도 된다. 자석(93)을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크(20)를 자석(93)측으로 가까이 끌어 당겨서, 증착 마스크(20)를 유기 EL 기판(92)에 밀착시킬 수 있다.

도 3은, 증착 마스크 장치(10)를 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)측으로부터 본 경우를 도시하는 평면도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)는 복수의 증착 마스크(20)를 구비한다. 각 증착 마스크(20)는 한 쌍의 긴 변(26) 및 한 쌍의 짧은 변(27)을 포함하고 있고, 예를 들어 직사각상의 형상을 갖고 있다. 각 증착 마스크(20)는 한 쌍의 짧은 변(27) 또는 그 근방의 부분에 있어서, 예를 들어 스폿 용접에 의해 프레임(15)에 고정되어 있다.

증착 마스크(20)는 증착 마스크(20)를 관통하는 복수의 관통 구멍(25)이 형성된, 금속제의 판형 기재를 포함한다. 도가니(94)로부터 증발하여 증착 마스크 장치(10)에 도달한 증착 재료(98)는 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 이에 의해, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치에 대응한 원하는 패턴으로, 증착 재료(98)를 유기 EL 기판(92)의 표면에 성막할 수 있다.

도 2는, 도 1의 증착 장치(90)를 사용하여 제조한 유기 EL 표시 장치(100)를 도시하는 단면도이다. 유기 EL 표시 장치(100)는 유기 EL 기판(92)과, 패턴형으로 설치된 증착 재료(98)를 포함하는 화소를 구비한다.

또한, 복수의 색에 의한 컬러 표시를 행하고자 하는 경우에는, 각 색에 대응하는 증착 마스크(20)가 탑재된 증착 장치(90)를 각각 준비하고, 유기 EL 기판(92)을 각 증착 장치(90)에 순서대로 투입한다. 이에 의해, 예를 들어, 적색용의 유기 발광 재료, 녹색용의 유기 발광 재료 및 청색용의 유기 발광 재료를 순서대로 유기 EL 기판(92)에 증착시킬 수 있다.

그런데, 증착 처리는, 고온 분위기가 되는 증착 장치(90)의 내부에서 실시되는 경우가 있다. 이 경우, 증착 처리의 동안, 증착 장치(90)의 내부에 보유되는 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)도 가열된다. 이때, 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)은 각각의 열팽창 계수에 기초한 치수 변화의 거동을 나타내게 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)나 프레임(15)과 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수가 크게 상이하면, 그들의 치수 변화의 차이에 기인한 위치 어긋남이 발생하고, 이 결과, 유기 EL 기판(92) 상에 부착되는 증착 재료의 치수 정밀도나 위치 정밀도가 저하되어버린다.

이와 같은 과제를 해결하기 위해서, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수가, 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값인 것이 바람직하다. 예를 들어, 유기 EL 기판(92)으로서 유리 기판이 사용되는 경우, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 주요한 재료로서, 니켈을 포함하는 철 합금을 사용할 수 있다. 예를 들어, 증착 마스크(20)를 구성하는 기재의 재료로서, 30질량％ 이상이며 또한 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 철 합금을 사용할 수 있다. 니켈을 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 34질량％ 이상이며 또한 38질량％ 이하의 니켈을 포함하는 인바재, 30질량％ 이상이며 또한 34질량％ 이하의 니켈에 더하여 추가로 코발트를 포함하는 슈퍼 인바재, 38질량％ 이상이며 또한 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다.

또한 증착 처리 시에, 증착 마스크(20), 프레임(15) 및 유기 EL 기판(92)의 온도가 고온에는 달하지 않는 경우에는, 증착 마스크(20) 및 프레임(15)의 열팽창 계수를, 유기 EL 기판(92)의 열팽창 계수와 동등한 값으로 할 필요는 특별히 없다. 이 경우, 증착 마스크(20)를 구성하는 재료로서, 상술한 철 합금 이외의 재료를 사용해도 된다. 예를 들어, 크롬을 포함하는 철 합금 등, 상술한 니켈을 포함하는 철 합금 이외의 철 합금을 사용해도 된다. 크롬을 포함하는 철 합금으로서는, 예를 들어, 소위 스테인리스라 칭해지는 철 합금을 사용할 수 있다. 또한, 니켈이나 니켈-코발트 합금 등, 철 합금 이외의 합금을 사용해도 된다.

(증착 마스크)

이어서, 증착 마스크(20)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는 증착 마스크(20)의 한 쌍의 짧은 변(27)을 포함하는 한 쌍의 귀부(제1 귀부(17a) 및 제2 귀부(17b))와, 한 쌍의 귀부(17a, 17b)의 사이에 위치하는 중간부(18)를 구비하고 있다.

(귀부)

먼저, 귀부(17a, 17b)에 대하여 상세하게 설명한다. 귀부(17a, 17b)는, 증착 마스크(20) 중 프레임(15)에 고정되는 부분이다. 본 실시 형태에 있어서, 귀부(17a, 17b)는, 중간부(18)와 일체적으로 구성되어 있다. 또한, 귀부(17a, 17b)는, 중간부(18)와는 다른 부재에 의해 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 귀부(17a, 17b)는, 예를 들어 용접에 의해 중간부(18)에 접합된다.

(중간부)

이어서, 중간부(18)에 대하여 설명한다. 중간부(18)는 제1 면(20a)으로부터 제2 면(20b)에 이르는 관통 구멍(25)이 형성된, 적어도 하나의 유효 영역(22)과, 유효 영역(22)을 둘러싸는 주위 영역(23)을 포함한다. 유효 영역(22)은 증착 마스크(20) 중, 유기 EL 기판(92)의 표시 영역에 대면하는 영역이다.

도 3에 도시하는 예에 있어서, 중간부(18)는 증착 마스크(20)의 긴 변(26)을 따라서 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 유효 영역(22)을 포함한다. 하나의 유효 영역(22)은 하나의 유기 EL 표시 장치(100)의 표시 영역에 대응한다. 이 때문에, 도 1에 도시하는 증착 마스크 장치(10)에 의하면, 유기 EL 표시 장치(100)의 다면부 증착이 가능하다.

도 3에 도시한 바와 같이, 유효 영역(22)은 예를 들어, 평면에서 보아 대략 사각형 형상, 또한 정확하게는 평면에서 보아 대략 직사각상의 윤곽을 갖는다. 또한 도시는 하지 않지만, 각 유효 영역(22)은 유기 EL 기판(92)의 표시 영역의 형상에 따라, 여러가지 형상의 윤곽을 가질 수 있다. 예를 들어 각 유효 영역(22)은 원 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다.

이하, 유효 영역(22)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 4는, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)측으로부터 유효 영역(22)을 확대하여 도시하는 평면도이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 도시된 예에 있어서, 각 유효 영역(22)에 형성된 복수의 관통 구멍(25)은 당해 유효 영역(22)에 있어서, 서로 직교하는 2 방향을 따라서 각각 소정의 피치로 배열되어 있다. 관통 구멍(25)의 일례에 대해서, 도 5 내지 도 7을 주로 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 도 5 내지 도 7은 각각, 도 4의 유효 영역(22)의 V-V 방향 내지 VII-VII 방향을 따른 단면도이다.

도 5 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 복수의 관통 구멍(25)은 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 한쪽 측이 되는 제1 면(20a)으로부터, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 다른 쪽 측이 되는 제2 면(20b)으로 관통하고 있다. 도시된 예에서는, 나중에 상세하게 설명한 바와 같이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 있어서의 한쪽 측이 되는 기재(21)의 제1 면(21a)에 제1 오목부(30)가 에칭에 의해 형성되고, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 있어서의 다른 쪽 측이 되는 기재(21)의 제2 면(21b)에 제2 오목부(35)가 형성된다. 제1 오목부(30)는 제2 오목부(35)에 접속되고, 이에 의해 제2 오목부(35)와 제1 오목부(30)가 서로 통하게 형성된다. 관통 구멍(25)은 제2 오목부(35)와, 제2 오목부(35)에 접속된 제1 오목부(30)에 의해 구성되어 있다.

도 5 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)측으로부터 제1 면(20a)측을 향하여, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 각 위치에 있어서의 증착 마스크(20)의 판면을 따른 단면에서의 각 제2 오목부(35)의 개구 면적은, 점차 작아져 간다. 마찬가지로, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 각 위치에 있어서의 증착 마스크(20)의 판면을 따른 단면에서의 각 제1 오목부(30)의 개구 면적은, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)측으로부터 제2 면(20b)측을 향하여, 점차 작아져 간다.

도 5 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 오목부(30)의 벽면(31)과, 제2 오목부(35)의 벽면(36)은, 주상의 접속부(41)를 통하여 접속되어 있다. 접속부(41)는 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 대하여 경사진 제1 오목부(30)의 벽면(31)과, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 대하여 경사진 제2 오목부(35)의 벽면(36)이 합류하는 돌출부의 능선에 의해 구획 형성되어 있다. 그리고, 접속부(41)는 증착 마스크(20)의 평면에서 보아 관통 구멍(25)의 개구 면적이 최소가 되는 관통부(42)를 구획 형성한다.

도 5 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 다른 쪽 면, 즉, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a) 상에 있어서, 인접하는 두 관통 구멍(25)은 증착 마스크(20)의 판면을 따라서 서로로부터 이격되어 있다. 즉, 후술하는 제조 방법과 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)에 대응하게 되는 기재(21)의 제1 면(21a)측으로부터 당해 기재(21)를 에칭하여 제1 오목부(30)를 제작하는 경우, 인접하는 두 제1 오목부(30)의 사이에 기재(21)의 제1 면(21a)이 잔존하게 된다.

마찬가지로, 도 5 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 한쪽 측, 즉, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)측에 있어서도, 인접하는 두 제2 오목부(35)가 증착 마스크(20)의 판면을 따라서 서로로부터 이격되어 있어도 된다. 즉, 인접하는 두 제2 오목부(35)의 사이에 기재(21)의 제2 면(21b)이 잔존하고 있어도 된다. 이하의 설명에 있어서, 기재(21)의 제2 면(21b)의 유효 영역(22) 중 에칭되지 않고 남아있는 부분을 톱부(43)라고도 칭한다. 이러한 톱부(43)가 남도록 증착 마스크(20)를 제작함으로써, 증착 마스크(20)에 충분한 강도를 갖게 할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들어 반송 중 등에 증착 마스크(20)가 파손되어버리는 것을 억제할 수 있다. 또한 톱부(43)의 폭 β가 너무 넓으면, 증착 공정에 있어서 섀도우가 발생하고, 이에 의해 증착 재료(98)의 이용 효율이 저하되는 경우가 있다. 따라서, 톱부(43)의 폭 β가 과잉으로 커지지 않도록 증착 마스크(20)가 제작되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 톱부(43)의 폭 β가 2㎛ 이하인 것이 바람직하다. 또한 톱부(43)의 폭 β는 일반적으로, 증착 마스크(20)를 절단하는 방향을 따라서 변화한다. 예를 들어, 도 5 및 도 7에 도시하는 톱부(43)의 폭 β는 서로 상이한 경우가 있다. 이 경우, 어느 방향에서 증착 마스크(20)를 절단한 경우든 톱부(43)의 폭 β가 2㎛ 이하로 되도록, 증착 마스크(20)가 구성되어 있어도 된다.

또한 도 6에 도시하는 바와 같이, 장소에 따라서는 인접하는 두 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다. 즉, 인접하는 두 제2 오목부(35)의 사이에, 기재(21)의 제2 면(21b)이 잔존하고 있지 않는 장소가 존재해도 된다. 또한, 도시는 하지 않지만, 제2 면(21b)의 전역에 걸쳐 인접하는 두 제2 오목부(35)가 접속되도록 에칭이 실시되어도 된다.

도 1에 도시한 바와 같이 하여 증착 마스크 장치(10)가 증착 장치(90)에 수용된 경우, 도 5에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)이 유기 EL 기판(92)에 대면하고, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)이 증착 재료(98)를 보유한 도가니(94)측에 위치한다. 따라서, 증착 재료(98)는 점차 개구 면적이 작아져 가는 제2 오목부(35)를 통과하여 유기 EL 기판(92)에 부착된다. 도 5에 있어서 제2 면(20b)측에서 제1 면(20a)에 향하는 화살표로 나타낸 바와 같이, 증착 재료(98)는 도가니(94)로부터 유기 EL 기판(92)을 향하여 유기 EL 기판(92)의 법선 방향 N을 따라서 이동할뿐만 아니라, 유기 EL 기판(92)의 법선 방향 N에 대하여 크게 경사진 방향으로 이동하기도 한다. 이때, 증착 마스크(20)의 두께가 두꺼우면, 비스듬히 이동하는 증착 재료(98)의 대부분은, 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 도달하기보다도 전에, 제2 오목부(35)의 벽면(36)에 도달하여 부착된다. 따라서, 증착 재료(98)의 이용 효율을 높이기 위해서는, 증착 마스크(20)의 두께 t를 얇게 하고, 이에 의해, 제2 오목부(35)의 벽면(36)이나 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이를 낮게 하는 것이 바람직하다고 생각된다. 즉, 증착 마스크(20)를 구성하기 위한 기재(21)로서, 증착 마스크(20)의 강도를 확보할 수 있는 범위 내에서 가능한 한 두께 t가 얇은 기재(21)를 사용하는 것이 바람직하다고 할 수 있다. 이 점을 고려하여, 본 실시 형태에 있어서, 바람직하게는 증착 마스크(20)의 두께 t는, 50㎛ 이하로, 예를 들어 5㎛ 이상 또한 50㎛ 이하로 설정된다. 또한 두께 t는, 주위 영역(23)의 두께, 즉 증착 마스크(20) 중 제1 오목부(30) 및 제2 오목부(35)가 형성되어 있지 않은 부분의 두께이다. 따라서 두께 t는, 기재(21)의 두께라고도 할 수 있다.

도 5에 있어서, 관통 구멍(25)의 최소 개구 면적을 갖는 부분이 되는 접속부(41)와, 제2 오목부(35)의 벽면(36)의 다른 임의의 위치를 통과하는 직선 L1이, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N에 대하여 이루는 최소 각도가, 부호 θ1로 표현되어 있다. 비스듬히 이동하는 증착 재료(98)를 벽면(36)에 도달시키지 않고 가능한 한 유기 EL 기판(92)에 도달시키기 위해서는, 각도 θ1을 크게 하는 것이 유리해진다. 각도 θ1을 크게 함에 있어서는, 증착 마스크(20)의 두께 t를 얇게 하는 것 이외에도, 상술한 톱부(43)의 폭 β를 좁게 하는 것도 유효하다.

도 7에 있어서, 부호 α는, 기재(21)의 제1 면(21a)의 유효 영역(22) 중 에칭되지 않고 남아있는 부분(이하, 리브부라고도 칭함)의 폭을 나타내고 있다. 리브부의 폭 α 및 관통부(42)의 치수 r₂는, 유기 EL 표시 장치의 치수 및 표시 화소수에 따라서 적절히 정해진다. 예를 들어, 리브부의 폭 α는 5㎛ 이상 또한 40㎛ 이하이고, 관통부(42)의 치수 r₂는 10㎛ 이상 또한 60㎛ 이하이다.

한정은 되지 않지만, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크(20)는 450ppi 이상의 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작하는 경우에 특히 유효한 것이다. 이하, 도 8을 참조하여, 그러한 높은 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작하기 위하여 요구되는 증착 마스크(20)의 치수의 일례에 대하여 설명한다. 도 8은, 도 5에 도시하는 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25) 및 그 근방의 영역을 확대하여 도시하는 단면도이다.

도 8에 있어서는, 관통 구멍(25)의 형상에 관련하는 파라미터로서, 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)으로부터 접속부(41)까지의, 증착 마스크(20)의 법선 방향 N을 따른 방향에 있어서의 거리, 즉 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이가 부호 r₁로 표현되어 있다. 또한, 제1 오목부(30)가 제2 오목부(35)에 접속하는 부분에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수, 즉 관통부(42)의 치수가 부호 r₂로 표현되어 있다. 또한 도 8에 있어서, 접속부(41)와, 기재(21)의 제1 면(21a) 상에 있어서의 제1 오목부(30)의 선단 모서리를 연결하는 직선 L2가, 기재(21)의 법선 방향 N에 대하여 이루는 각도가, 부호 θ2로 표현되어 있다.

450ppi 이상의 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작하는 경우, 관통부(42)의 치수 r₂는, 바람직하게는 10㎛ 이상 또한 60㎛ 이하로 설정된다. 이에 의해, 높은 화소 밀도의 유기 EL 표시 장치를 제작할 수 있는 증착 마스크(20)를 제공할 수 있다. 바람직하게는, 제1 오목부(30)의 벽면(31)의 높이 r₁은, 6㎛ 이하로 설정된다.

이어서, 도 8에 도시하는 상술한 각도 θ2에 대하여 설명한다. 각도 θ2는, 기재(21)의 법선 방향 N에 대하여 경사짐과 함께 접속부(41) 근방에서 관통부(42)를 통과하도록 비래한 증착 재료(98) 중, 유기 EL 기판(92)에 도달할 수 있는 증착 재료(98)의 경사 각도의 최댓값에 상당한다. 왜냐하면, 접속부(41)를 통하여 각도 θ2보다도 큰 경사 각도로 비래한 증착 재료(98)는 유기 EL 기판(92)에 도달하기보다도 전에 제1 오목부(30)의 벽면(31)에 부착되기 때문이다. 따라서, 각도 θ2를 작게 함으로써, 큰 경사 각도로 비래하여 관통부(42)를 통과한 증착 재료(98)가 유기 EL 기판(92)에 부착되는 것을 억제할 수 있고, 이에 의해, 유기 EL 기판(92) 중 관통부(42)에 겹치는 부분보다도 외측의 부분에 증착 재료(98)가 부착되어버리는 것을 억제할 수 있다. 즉, 각도 θ2를 작게 하는 것은, 유기 EL 기판(92)에 부착되는 증착 재료(98)의 면적이나 두께의 변동 억제를 유도한다. 이러한 관점에서, 예를 들어 관통 구멍(25)은 각도 θ2가 45도 이하로 되도록 형성된다. 또한 도 8에 있어서는, 제1 면(21a)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수, 즉, 제1 면(21a)에 있어서의 관통 구멍(25)의 개구 치수가, 접속부(41)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수 r2보다도 크게 되어 있는 예를 나타냈다. 즉, 각도 θ2의 값이 양의 값인 예를 나타냈다. 그러나, 도시는 하지 않지만, 접속부(41)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수 r2가, 제1 면(21a)에 있어서의 제1 오목부(30)의 치수보다도 크게 되어 있어도 된다. 즉, 각도 θ2의 값은 음의 값이어도 된다.

증착 마스크의 제조 방법

이어서, 증착 마스크(20)를 제조하는 방법에 대하여 설명한다.

(금속판의 준비)

처음에, 증착 마스크를 제조하기 위한 금속판(64)을 준비한다. 금속판(64)은 예를 들어, 긴 금속판을 권취함으로써 얻어지는 롤의 형태로 준비된다. 금속판(64)으로서는, 예를 들어, 니켈을 포함하는 철 합금으로 구성된 금속판을 사용한다. 금속판(64)의 두께는, 예를 들어 3㎛이며, 5㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 된다. 또한, 금속판(64)의 두께는, 예를 들어 50㎛ 이하이고, 30㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이하여도 된다. 원하는 두께를 갖는 금속판(64)을 제작하는 방법으로서는, 압연법, 도금 성막법 등을 채용할 수 있다.

이어서, 금속판(64)을 사용하여 증착 마스크(20)를 제조하는 방법에 대해서, 주로 도 9 내지 도 22를 참조하여 설명한다. 이하에 설명하는 증착 마스크(20)의 제조 방법에서는, 도 9에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)을 가공하고, 금속판(64)에, 관통 구멍(25)을 포함하는 복수의 증착 마스크 부분을 형성하고(가공 공정), 그 후, 증착 마스크 부분을 금속판(64)으로부터 분리함(분리 공정)으로써, 낱장형 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다.

(가공 공정)

금속판(64)을 가공하는 공정은, 포토리소그래피 기술을 사용한 에칭을 긴 금속판(64)에 실시하고, 금속판(64)에 제1 면(64a)측으로부터 제1 오목부(30)를 형성하는 공정과, 포토리소그래피 기술을 사용한 에칭을 금속판(64)에 실시하고, 금속판(64)에 제2 면(64b)측으로부터 제2 오목부(35)를 형성하는 공정을 포함하고 있다. 그리고, 금속판(64)에 형성된 제1 오목부(30)와 제2 오목부(35)가 서로 통함으로써, 금속판(64)에 관통 구멍(25)이 제작된다. 이하에 설명하는 예에서는, 제1 오목부(30)의 형성 공정을, 제2 오목부(35)의 형성 공정 전에 실시하고, 또한, 제1 오목부(30)의 형성 공정과 제2 오목부(35)의 형성 공정 사이에, 제작된 제1 오목부(30)를 밀봉하는 공정을 실시한다. 이하, 각 공정의 상세를 설명한다.

도 9에는, 증착 마스크(20)를 제작하기 위한 제조 장치(60)가 도시되어 있다. 도 9에 도시하는 바와 같이, 먼저, 금속판(64)을 코어(61)에 권취한 귄취체(62)를 준비한다. 그리고, 이 코어(61)를 회전시켜서 귄취체(62)를 권출함으로써, 도 9에 도시하는 바와 같이 띠형으로 연장되는 금속판(64)을 공급한다.

공급된 금속판(64)은 반송 롤러(72)에 의해, 가공 장치(에칭 수단)(70)로 반송된다. 가공 장치(70)에 의해, 도 10 내지 도 17에 도시한 각 처리가 실시된다. 또한 본 실시 형태에 있어서는, 금속판(64)의 폭 방향으로 복수의 증착 마스크(20)를 배치한다. 바꾸어 말하면, 금속판(64)으로부터 분리되어서 증착 마스크(20)가 되는 후술하는 증착 마스크 부분이, 금속판(64)의 폭 방향으로 복수 배열되도록 금속판(64)을 가공한다. 이 경우, 바람직하게는, 증착 마스크 부분 즉 증착 마스크(20)의 긴 변(26)의 방향이, 긴 금속판(64)의 길이 방향과 일치하도록, 복수의 증착 마스크(20)를 금속판(64)에 배치한다.

먼저, 도 10에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제1 면(64a) 상 및 제2 면(64b) 상에 네가티브형의 감광성 레지스트 재료를 포함하는 레지스트막(65c, 65d)을 형성한다. 예를 들어, 금속판(64)의 제1 면(64a) 상 및 제2 면(64b) 상에 네가티브형의 감광성 레지스트 재료를 포함하는 도포액을 도포하고, 그 후, 도포액을 건조시킴으로써, 레지스트막(65c, 65d)을 형성한다.

이어서, 레지스트막(65c, 65d) 중의 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키지 않도록 한 노광 마스크(68a, 68b)를 준비하고, 노광 마스크(68a, 68b)를 각각 도 11에 도시하는 바와 같이 레지스트막(65c, 65d) 상에 배치한다. 노광 마스크(68a, 68b)로서는, 예를 들어, 레지스트막(65c, 65d) 중의 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키지 않도록 한 유리 건판을 사용한다. 그 후, 진공 밀착에 의해 노광 마스크(68a, 68b)를 레지스트막(65c, 65d)에 충분히 밀착시킨다.

또한 감광성 레지스트 재료로서, 포지티브형의 것이 사용되어도 된다. 이 경우, 노광 마스크로서, 레지스트막 중 제거하고자 하는 영역에 광을 투과시키도록한 노광 마스크를 사용한다.

그 후, 레지스트막(65c, 65d)을 노광 마스크(68a, 68b) 너머로 노광한다(노광 공정). 또한, 노광된 레지스트막(65c, 65d)에 상을 형성하기 위하여 레지스트막(65c, 65d)을 현상한다(현상 공정). 이상과 같이 하여, 도 12에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제1 면(64a) 상에 제1 레지스트 패턴(65a)을 형성하고, 금속판(64)의 제2 면(64b) 상에 제2 레지스트 패턴(65b)을 형성할 수 있다. 또한 현상 공정은, 레지스트막(65c, 65d)의 경도를 높이기 위한, 또는 금속판(64)에 대하여 레지스트막(65c, 65d)을 보다 견고하게 밀착시키기 위한 레지스트 열처리 공정을 포함하고 있어도 된다. 레지스트 열처리 공정은, 예를 들어 실온 이상이며 또한 400℃ 이하에서 실시될 수 있다.

이어서, 도 13에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제1 면(64a) 중 제1 레지스트 패턴(65a)에 의해 덮여 있지 않은 영역을, 제1 에칭액을 사용하여 에칭하는 제1 면 에칭 공정을 실시한다. 예를 들어, 제1 에칭액을, 반송되는 금속판(64)의 제1 면(64a)에 대면하는 측에 배치된 노즐로부터, 제1 레지스트 패턴(65a) 너머로 금속판(64)의 제1 면(64a)을 향하여 분사한다. 이 결과, 도 13에 도시하는 바와 같이, 금속판(64) 중 제1 레지스트 패턴(65a)에 의해 덮여 있지 않은 영역에서, 제1 에칭액에 의한 침식이 진행된다. 이에 의해, 금속판(64)의 제1 면(64a)에 다수의 제1 오목부(30)가 형성된다. 제1 에칭액으로서는, 예를 들어 염화 제2철 용액 및 염산을 포함하는 것을 사용한다.

그 후, 도 14에 도시하는 바와 같이, 나중의 제2 면 에칭 공정에 있어서 사용되는 제2 에칭액에 대한 내성을 가진 수지(69)에 의해, 제1 오목부(30)를 피복한다. 즉, 제2 에칭액에 대한 내성을 가진 수지(69)에 의해, 제1 오목부(30)를 밀봉한다. 도 14에 도시하는 예에 있어서는, 수지(69)의 막을, 형성된 제1 오목부(30)뿐만 아니라, 제1 면(64a)(제1 레지스트 패턴(65a))도 덮도록 형성한다.

이어서, 도 15에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제2 면(64b) 중 제2 레지스트 패턴(65b)에 의해 덮여 있지 않은 영역을 에칭하여, 제2 면(64b)에 제2 오목부(35)를 형성하는 제2 면 에칭 공정을 실시한다. 제2 면 에칭 공정은, 제1 오목부(30)와 제2 오목부(35)가 서로 통하고, 이에 의해 관통 구멍(25)이 형성되게 될 때까지 실시된다. 제2 에칭액으로서는, 상술한 제1 에칭액과 마찬가지로, 예를 들어 염화 제2철 용액 및 염산을 포함하는 것을 사용한다.

또한 제2 에칭액에 의한 침식은, 금속판(64) 중 제2 에칭액에 닿아 있는 부분에 있어서 행하여져 간다. 따라서, 침식은, 금속판(64)의 법선 방향 N(두께 방향)으로만 진행하는 것이 아니라, 금속판(64)의 판면을 따른 방향으로도 진행해 간다. 여기서 바람직하게는, 제2 면 에칭 공정은, 제2 레지스트 패턴(65b)이 인접하는 두 구멍(66a)에 대면하는 위치에 각각 형성된 두 제2 오목부(35)가 두 구멍(66a)의 사이에 위치하는 브리지부(67a)의 이측에 있어서 합류하기보다도 전에 종료된다. 이에 의해, 도 16에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)의 제2 면(64b)에 상술한 톱부(43)를 남길 수 있다.

그 후, 도 17에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)으로부터 수지(69)를 제거한다. 수지(69)는 예를 들어 알칼리계 박리액을 사용함으로써 제거할 수 있다. 알칼리계 박리액이 사용되는 경우, 도 17에 도시하는 바와 같이, 수지(69)와 동시에 레지스트 패턴(65a, 65b)도 제거된다. 또한, 수지(69)를 제거한 후, 수지(69)를 박리시키기 위한 박리액과는 다른 박리액을 사용하여, 수지(69)와는 별도로 레지스트 패턴(65a, 65b)을 제거해도 된다.

도 18은, 상술한 바와 같이 하여 증착 마스크(20)를 가공하여 관통 구멍(25)을 형성함으로써 얻어진 중간 제품(50)을 도시하는 평면도이다. 중간 제품(50)에는, 증착 마스크(20)가 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 중간 제품(50)은 복수의 증착 마스크 부분(51)과 지지 부분(56)을 구비한다. 도 18에 있어서, 부호 T1은, 증착 마스크(20)의 제조 공정에 있어서의 금속판(64)의 반송 방향을 나타내고, 부호 T2는, 반송 방향 T1에 직교하는 방향(이하, 폭 방향이라고도 칭함)을 나타낸다. 반송 방향 T1은, 긴 금속판(64)의 길이 방향과 일치한다.

증착 마스크 부분(51)은 금속판(64) 중, 분리됨으로써 증착 마스크(20)로 되는 부분이다. 증착 마스크 부분(51)은 증착 마스크(20)의 한 쌍의 긴 변(26) 및 한 쌍의 짧은 변(27)에 대응하는 한 쌍의 긴 변(52) 및 한 쌍의 짧은 변(53)을 포함한다. 또한, 증착 마스크 부분(51)에는, 복수의 관통 구멍(25)이 형성되어 있다. 예를 들어, 증착 마스크 부분(51)은 복수의 관통 구멍(25)이 형성된 유효 영역(22)과, 유효 영역(22)을 둘러싸는 주위 영역(23)을 포함한다.

도 18에 도시하는 바와 같이, 복수의 증착 마스크 부분(51)은 긴 변(52)에 교차하는 방향으로 배열되어 있다. 예를 들어, 긴 변(52)은 반송 방향 T1에 평행하며, 복수의 증착 마스크 부분(51)이 배열되는 방향은 폭 방향 T2에 평행하다.

지지 부분(56)은 평면에서 보아 복수의 증착 마스크 부분(51)을 둘러쌈과 함께 증착 마스크 부분(51)에 부분적으로 접속되어 있는 부분이다. 도 18에 도시하는 예에 있어서, 지지 부분(56)은 금속판(64) 중 증착 마스크 부분(51) 이외의 부분이다.

이하, 증착 마스크 부분(51)과 지지 부분(56) 사이의 접속 개소(54)에 대하여 설명한다. 도 19는, 도 18의 중간 제품(50) 중 부호 XIX가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 확대하여 도시하는 도면이다. 도 18 및 도 19에 도시하는 예에 있어서, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53)은 지지 부분(56)에 부분적으로 접속되어 있다. 예를 들어, 도 19에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53)은 지지 부분(56)을 향하여 돌출되고, 또한 지지 부분(56)에 접속되어 있는 복수의 볼록부(53a)를 포함하고 있다. 한편, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)은 지지 부분(56)에 접속되어 있지 않다. 바꾸어 말하면, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)과 지지 부분(56) 사이에는, 긴 변(52)의 전역에 걸쳐 간극(55)이 존재하고 있다. 또한, 인접하는 두 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)의 사이에도 지지 부분(56)이 존재하고 있지 않다. 바꾸어 말하면, 인접하는 두 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)의 사이에는, 긴 변(52)의 전역에 걸쳐 간극(55)이 존재하고 있다.

간극(55)은 상술한 가공 공정에 있어서 관통 구멍(25)과 동시에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상술한 가공 공정에 있어서, 금속판(64) 중 간극(55)이 형성되어야 할 부분에는 레지스트 패턴(65a, 65b)이 남지 않도록, 레지스트막(65c, 65d)을 노광 및 현상한다. 계속해서, 금속판(64) 중 레지스트 패턴(65a, 65b)에 의해 덮여 있지 않은 영역을 에칭에 의해 제거한다. 이에 의해, 복수의 관통 구멍(25)과 동시에, 도 18 및 도 19에 도시하는 간극(55)을 금속판(64)에 형성할 수 있다.

또한, 간극(55)을 형성하기 위한 에칭은, 금속판(64)의 제1 면(64a) 및 제2 면(64b)의 양측에서 각각 실시되어도 되고(예 1), 금속판(64)의 제1 면(64a) 및 제2 면(64b) 중 어느 한쪽에만 실시되어도 된다(예 2).

예 1의 경우, 금속판(64)의 제1 면(64a) 중 간극(55)이 형성되어야 할 부분(이하, 간극 예정부라고도 칭함)에는 레지스트 패턴(65a)이 남지 않도록, 레지스트막(65c)을 노광 및 현상한다. 또한, 금속판(64)의 제2 면(64b)의 간극 예정부에도 레지스트 패턴(65b)이 남지 않도록, 레지스트막(65d)을 노광 및 현상한다. 계속해서, 금속판(64)을 제1 면(64a)측으로부터 에칭한다. 이에 의해, 금속판(64)의 제1 면(64a) 중 증착 마스크(20)의 유효 영역(22)이 되어야 할 부분에 제1 오목부(30)를 형성하고, 동시에, 제1 면(64a)의 간극 예정부에 제1 오목부(30)를 형성한다. 이어서, 수지(69)에 의해 제1 오목부(30)를 피복한다. 그 후, 금속판(64)을 제2 면(64b)측으로부터 에칭한다. 이에 의해, 금속판(64)의 제2 면(64b) 중 증착 마스크(20)의 유효 영역(22)이 되어야 할 부분에 제2 오목부(35)를 형성하고, 동시에, 제2 면(64b)의 간극 예정부에 제2 오목부(35)를 형성한다. 이에 의해, 관통 구멍(25)과 동시에 간극(55)을 형성할 수 있다.

예 2의 경우, 예를 들어, 금속판(64)의 제2 면(64b)의 간극 예정부에는 레지스트 패턴(65b)이 남지 않도록, 레지스트막(65d)을 노광 및 현상한다. 한편, 금속판(64)의 제1 면(64a)의 간극 예정부에는 레지스트 패턴(65a)이 남도록, 레지스트막(65c)을 노광 및 현상한다. 계속해서, 금속판(64)을 제1 면(64a)측으로부터 에칭하여, 금속판(64) 중 증착 마스크(20)의 유효 영역(22)이 되어야 할 부분에 제1 오목부(30)를 형성한다. 이때, 제1 면(64a)의 간극 예정부에는 제1 오목부(30)가 형성되지 않는다. 이어서, 수지(69)에 의해 제1 오목부(30)를 피복한다. 이때, 제1 면(64a)의 간극 예정부도 수지(69)에 의해 피복된다. 그 후, 금속판(64)을 제2 면(64b)측으로부터 에칭한다. 이에 의해, 금속판(64)의 제2 면(64b) 중 증착 마스크(20)의 유효 영역(22)이 되어야 할 부분에 제2 오목부(35)를 형성하고, 동시에, 제2 면(64b)의 간극 예정부에 제2 오목부(35)를 형성한다. 이때, 제2 오목부(35)가 제1 면(64a)측에까지 달하도록 에칭을 실시함으로써, 간극 예정부에 간극(55)을 형성할 수 있다.

예 2의 경우, 제1 오목부(30)를 형성하는 제1 에칭 공정 시에, 금속판(64)의 제1 면(64a)의 간극 예정부에 하프 에칭이 실시되지 않는다. 이 때문에, 금속판(64)의 두께가 얇은 경우에도, 제1 에칭 공정 후에 금속판(64)의 간극 예정부에 꺾임이 발생해버리는 것을 억제할 수 있다.

간극(55)의 치수는, 중간 제품(50)의 반송 등 시에 증착 마스크 부분(51)이 지지 부분(56)이나 다른 증착 마스크 부분(51)에 접촉하지 않도록 설정된다. 증착 마스크 부분(51)과 지지 부분(56) 사이의 간극(55)의, 폭 방향 T2에 있어서의 치수 S1은, 예를 들어 0.1mm 이상이며 또한 5mm 이하이다. 또한, 인접하는 두 증착 마스크 부분(51)의 사이의 간극(55)의, 폭 방향 T2에 있어서의 치수 S2는, 예를 들어 0.1mm 이상이며 또한 5mm 이하이다. 또한, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53)과 지지 부분(56) 사이의, 반송 방향 T1에 있어서의 치수 S3은, 예를 들어 30㎛ 이상 또한 100㎛ 이하이다. 또한, 짧은 변(53)의 방향에 있어서의 볼록부(53a)의 피치 P는, 예를 들어 200㎛ 이상 또한 400㎛ 이하이다.

(분리 공정)

계속해서, 상술한 중간 제품(50)에 있어서 증착 마스크 부분(51)을 지지 부분(56)으로부터 분리하는 분리 공정을 실시한다. 먼저, 도 9에 도시하는 바와 같이, 금속판(64)을 가공함으로써 얻어진 중간 제품(50)을 분리 공정을 실시하기 위한 분리 장치(73)로 반송한다. 예를 들어, 중간 제품(50)을 끼움 지지한 상태에서 회전하는 반송 롤러(72, 72)에 의해, 분리 장치(73)로 반송한다. 그런데, 상술한 바와 같이 중간 제품(50)에 있어서 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)이 지지 부분(56)에 접속되어 있지 않은 경우, 반송 시에 증착 마스크 부분(51)이 흔들리거나 휘거나 하기 쉽다고 생각된다. 이 점을 고려하여, 증착 마스크 부분(51)의 흔들림이나 휨을 억제하는 억제 수단을, 중간 제품(50), 반송 롤러(72) 또는 반송로에 설치해도 된다. 예를 들어, 억제 수단은, 중간 제품(50)의 제1 면측 및 제2 면측에 설치된 한 쌍의 필름을 포함한다. 중간 제품(50)을 한 쌍의 필름 사이에 끼운 상태에서 중간 제품(50)을 분리 장치(73)로 반송함으로써, 증착 마스크 부분(51)이 흔들리거나 휘거나 하는 것을 억제할 수 있다.

도 20은, 증착 마스크 부분(51)을 지지 부분(56)으로부터 분리하는 분리 공정을 도시하는 도면이다. 상술한 바와 같이, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)과 지지 부분(56)은 접속되어 있지 않다. 이 때문에, 짧은 변(53)에 있어서 증착 마스크 부분(51)과 지지 부분(56) 사이의 접속 개소(54)를 파단시킴으로써, 증착 마스크 부분(51)을 지지 부분(56)으로부터 분리하여 증착 마스크(20)를 얻을 수 있다. 도 21은, 중간 제품(50)으로부터 얻어진 증착 마스크(20)를 확대하여 도시하는 평면도이다.

분리 공정은, 예를 들어, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 접속 개소(54)를 파단시키는 파단 공정을 포함한다. 이 경우, 도 21에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20) 중 접속 개소(54)가 파단된 개소, 예를 들어 짧은 변(53)의 볼록부(53a)의 선단이 파단면(27b)이 된다. 이와 같이, 증착 마스크(20)의 짧은 변(27)에는 부분적으로 파단면(27b)이 존재한다. 도 22는, 도 21의 화살표 XXII의 방향으로부터 증착 마스크(20)의 짧은 변(27)의 볼록부(27a)의 파단면(27b)을 본 경우를 도시하는 측면도이다.

파단 공정에 있어서는, 증착 마스크 부분(51)을 지지 부분(56)에 대하여 예를 들어 도 22의 상방으로 인장함으로써, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53)과 지지 부분(56) 사이의 접속 개소(54)를 파단시킨다. 이 경우, 볼록부(27a)의 파단면(27b)에는, 도 22에 도시하는 바와 같이, 파단 시에 지지 부분(56)으로부터 받은 힘에 기인하는 버(27c)가 발생하는 경우가 있다. 버(27c)는 파단 시에 지지 부분(56)으로부터 받은 힘의 방향(도 22에 있어서는 하측 방향)을 향하여 연장되어 있다. 파단면(27b)은 이러한 버(27c)가 존재하는 면으로서 정의될 수 있다. 한편, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)은 지지 부분(56)에 접속되어 있지 않으므로, 증착 마스크(20)의 긴 변(26)에는 파단면이 존재하지 않는다.

도 23a 및 도 23b는 각각, 도 22의 증착 마스크(20) 중 부호 XXIII가 부여된 점선으로 둘러싸인 긴 변(26)의 영역을, 제1 면(20a)측 및 제2 면(20b)측에서 관찰한 결과를 도시하는 도면이다. 또한, 도 24a 및 도 24b는 각각, 도 22의 증착 마스크(20) 중 부호 XXIV가 부여된 점선으로 둘러싸인 짧은 변(27)의 영역을, 제1 면(20a)측 및 제2 면(20b)측에서 관찰한 결과를 도시하는 도면이다. 도 23a, 도 23b, 도 24a 및 도 24b의 어느 경우든, 관찰 시의 배율은 10배이다.

도 24a에 도시하는 바와 같이, 짧은 변(27)의 볼록부(27a)의 선단에는, 검게 보이는 부분(이하, 암부라고도 칭함)(27x)이 관찰되었다. 암부(27x)의 폭은, 13.8㎛였다. 도 24b에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제2 면(20b)측에서 관찰한 경우에도 동일한 암부(27y)가 확인되었다.

한편, 긴 변(26)의 영역에는, 암부가 확인되지 않았거나, 또는, 짧은 변(27)의 경우보다도 얇은 두께를 갖는 암부가 확인되었다. 예를 들어 도 23b에 도시하는 바와 같이, 제2 면(20b)측에서 본 경우에, 5.1㎛의 폭의 암부(26y)가 확인되었다.

도 25a는, 도 22의 증착 마스크(20) 중 부호 XXIII가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역, 즉 증착 마스크(20)의 긴 변(26)의 단면 형상을 모식적으로 도시하는 도면이다. 또한, 도 25b는, 긴 변(26)의 단면 형상의 일 변형예를 도시하는 도면이다. 도 25a 및 도 25b에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 긴 변(26)에는, 관통 구멍(25)을 형성하기 위하여 실시하는 에칭 공정 시에 발생하는 사이드 에칭에 기인하여 내측으로 볼록해지는 형상의 만곡면이 형성되는 경우가 있다. 도 25a는, 금속판(64)의 제2 면(64b)만으로부터의 에칭에 의해 간극(55)을 형성하는 경우의, 긴 변(26)의 단면 형상의 일례를 도시하는 도면이다. 또한, 도 25b는, 금속판(64)의 제1 면(64a) 및 제2 면(64b)의 양측으로부터의 에칭에 의해 간극(55)을 형성하는 경우의, 긴 변(26)의 단면 형상의 일례를 도시하는 도면이다. 도 23a 및 도 23b에 도시하는 평면 사진에 대응하는 단면 형상은, 도 25a 쪽이다.

금속판(64)의 제2 면(64b)으로부터만의 에칭에 의해 간극(55)을 형성하는 경우, 긴 변(26)에는, 도 25a에 도시하는 바와 같이, 제2 면(20b)측으로부터 제1 면(20a)측을 향함에 따라서 외측으로 확대되는 만곡면이 형성된다. 이 만곡면은, 긴 변(26)을 제2 면(20b)측에서 관찰한 경우에는 시인되지만, 긴 변(26)을 제1 면(20a)측에서 관찰한 경우에는 시인되지 않는다. 바꾸어 말하면, 긴 변(26)은 제1 면(20a)과 교차하는 부분에 있어서 가장 외측으로 돌출된 단면 형상을 갖는다. 긴 변(26)을 제2 면(20b)측에서 관찰한 경우에 확인된 암부(26y)는 만곡면에 있어서의 광의 산란에 기인하고 있다고 생각된다.

금속판(64)의 제1 면(64a) 및 제2 면(64b)의 양측으로부터의 에칭에 의해 간극(55)을 형성하는 경우, 긴 변(26)에는, 도 25b에 도시하는 바와 같이, 제1 면(20a)측에 위치하는, 제1 오목부(30)를 형성할 때의 사이드 에칭에 기인하는 만곡면과, 제2 면(20b)측에 위치하는, 제2 오목부(35)를 형성할 때의 사이드 에칭에 기인하는 만곡면이 형성된다. 이 경우, 긴 변(26)은 제1 면(20a)측의 만곡면과 제2 면(20b)측의 만곡면이 교차하는 부분에 있어서 가장 외측으로 돌출된 단면 형상을 갖는다. 제2 면(20b)측의 제2 오목부(35)의 치수 쪽이 제1 면(20a)측의 제1 오목부(30)의 치수보다도 크므로(도 5 내지 7 참조), 사이드 에칭의 정도도 제2 면(20b) 쪽이 크게 된다. 이 때문에, 긴 변(26)에 형성되는 만곡면도, 제2 면(20b) 쪽이 크게 된다. 따라서, 긴 변(26)을 제2 면(20b)측에서 관찰한 경우에 확인되는 암부의 폭도, 긴 변(26)을 제1 면(20a)측에서 관찰한 경우에 확인되는 암부의 폭보다도 크게 될 것으로 생각된다.

도 25c는, 도 25a에 도시하는 단면 형상을 갖는 긴 변(26)을 구비한 증착 마스크(20)가 유기 EL 기판(92)에 대면하고 있는 모습을 도시하는 도면이다. 또한, 도 25d는, 도 25b에 도시하는 단면 형상을 갖는 긴 변(26)을 구비한 증착 마스크(20)가 유기 EL 기판(92)에 대면하고 있는 모습을 도시하는 도면이다. 도 25c 및 도 25d에 도시하는 예에 있어서는, 복수의 증착 마스크(20)가 짧은 변(27)의 방향으로 소정의 간격 M을 두고 나란히 배열되어 있다. 간격 M은, 인접하는 두 증착 마스크(20)의 긴 변(26)끼리가 접촉하는 것을 방지하도록, 소정의 이격 거리 이상으로 설정되어 있다. 간격 M은, 인접하는 두 증착 마스크(20)의 긴 변(26) 중 외측으로 가장 돌출되어 있는 부분의 사이의 간격이다. 도 25c에 도시하는 예에 있어서는, 긴 변(26) 중 제1 면(20a)과 교차하는 부분에 있어서의 간격 M이 소정의 이격 거리 이상으로 되도록 증착 마스크(20)가 배열된다. 도 25d에 도시하는 예에 있어서는, 긴 변(26) 중 제1 면(20a)측의 만곡면과 제2 면(20b)측의 만곡면이 교차하는 부분에 있어서의 간격 M이 소정의 이격 거리 이상으로 되도록, 증착 마스크(20)가 배열된다.

도 25c에 도시하는 예와 도 25d에 도시하는 예를 비교하면, 도 25c에 도시하는 예 쪽이, 유기 EL 기판(92)에 대한 접촉 면적이 커진다. 이 때문에, 유기 EL 기판(92)에 대한 밀착성이라고 하는 점에서, 도 25c에 도시하는 예 쪽이 유리하다.

또한, 가령 도 25d에 도시하는 예에 있어서, 유기 EL 기판(92)에 대한 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 접촉 면적을 도 25c에 도시하는 예의 경우와 동등하게 하려고 하면, 인접하는 두 증착 마스크(20)의 긴 변(26) 간의 거리가 짧아져, 증착 마스크(20)끼리가 접촉할 위험이 높아진다.

이와 같이, 유기 EL 기판(92)에 대한 밀착성의 향상과, 인접하는 두 증착 마스크(20)끼리의 접촉 리스크의 저감은, 서로 트레이드오프의 관계에 있다. 도 25c에 도시하는 예에 의하면, 트레이드오프의 관계에 있는 두 요구를, 도 25d에 도시하는 예의 경우에 비하여 높은 레벨로 만족시킬 수 있다.

또한, 증착 마스크(20)끼리가 접촉하면, 증착 마스크(20)의 손상이나 변형이 발생되어버린다. 증착 마스크(20)가 변형되면, 유기 EL 기판(92)에 대한 증착 마스크(20)의 제1 면(20a)의 접촉 면적이 감소하고, 유기 EL 기판(92)에 대한 밀착성이 저하되어버린다. 이와 같이, 인접하는 두 증착 마스크(20) 간의 거리를 과잉으로 축소하는 것은, 유기 EL 기판(92)에 대한 밀착성의 저하를 발생시킬 수 있다.

도 26은, 도 22의 증착 마스크(20) 중 부호 XXIV가 부여된 점선으로 둘러싸인 영역을 모식적으로 도시하는 단면도이다. 도 26에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)의 짧은 변(27)에는, 상술한 파단 공정 시에 짧은 변(27)이 지지 부분(56)으로부터 제1 면(20a)측으로 당겨지는 것에 기인하여 제2 면(20b)측에, 외측으로 볼록해지는 형상의 만곡면이 형성되는 경우가 있다. 짧은 변(27)을 제2 면(20b)측에서 관찰한 경우에 확인된 암부(27y)는 만곡면에 있어서의 광의 산란에 기인하고 있다고 생각된다. 또한, 제1 면(20a)측에는, 제1 면(20a)으로부터 돌출된 버(27c)가 형성되는 경우가 있다. 짧은 변(27)을 제1 면(20a)측에서 관찰한 경우에 확인된 암부(27x)는 버(27c)에 있어서의 광의 산란에 기인하고 있다고 생각된다.

(본 실시 형태의 작용)

증착 마스크(20)의 긴 변(26)으로부터 관통 구멍(25)까지의, 기재(21)의 면 방향에 있어서의 최단 거리 S4(도 21 참조)는 일반적으로, 짧은 변(27)으로부터 관통 구멍(25)까지의, 기재(21)의 면 방향에 있어서의 최단 거리에 비하여 짧다. 이 때문에, 긴 변(26)에 물결 형상 등의 변형이 나타나면, 긴 변(26)의 근방에 위치하는 관통 구멍(25)을 통하여 유기 EL 기판(92)에 부착되는 증착 재료(98)의 치수 정밀도나 위치 정밀도가 저하되어버린다. 여기서 본 실시 형태에 있어서는, 중간 제품(50)의 증착 마스크 부분(51)이 지지 부분(56)에 접속되어 있지 않다. 이 때문에, 증착 마스크 부분(51)을 지지 부분(56)으로부터 분리하는 분리 공정 시에, 긴 변(52)은 지지 부분(56)으로부터의 힘을 받지 않으므로, 긴 변(26)에 물결 형상 등의 변형이 나타나는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 높은 치수 정밀도나 위치 정밀도로 유기 EL 기판(92)에 증착 재료(98)를 부착시킬 수 있다.

또한, 상술한 실시 형태에 대하여 여러가지 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라 도면을 참조하면서, 변형예에 대하여 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대해서, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대하여 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 하고, 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에 있어서 얻어지는 작용 효과가 변형예에 있어서도 얻어지는 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하기도 한다.

(접속 개소 및 파단면의 변형예)

상술한 실시 형태에 있어서는, 중간 제품(50)의 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)의 전역이 지지 부분(56)에 접속되어 있지 않은 예를 나타냈다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 관통 구멍(25)의 위치 정밀도에 영향을 미치지 않는 범위 내에서, 중간 제품(50)의 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)이 지지 부분(56)에 접속되어 있어도 된다. 예를 들어, 긴 변(52) 중, 중간 제품(50)의 폭 방향 T2를 따라서 긴 변(52)을 본 경우에 관통 구멍(25)과 겹치지 않는 영역에 있어서, 긴 변(52)이 지지 부분(56)에 접속되어 있어도 된다. 바꾸어 말하면, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52) 중, 적어도, 중간 제품(50)의 폭 방향 T2를 따라서 긴 변(52)을 본 경우에 관통 구멍(25)과 겹치는 영역은, 지지 부분(56)에 접속되어 있지 않은 것이 바람직하다. 이 경우, 증착 마스크(20)의 폭 방향에 있어서 긴 변(26)을 본 경우에 관통 구멍(25)과 겹치는 영역에는 파단면이 존재하지 않는다. 바꾸어 말하면, 증착 마스크(20)의 폭 방향에 있어서 긴 변(26)을 본 경우에 관통 구멍(25)과 겹치지 않는 영역에는, 파단면이 존재하고 있어도 된다. 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52) 중 폭 방향 T2에 있어서 관통 구멍(25)과 겹치는 영역을 지지 부분(56)에 접속하지 않음으로써, 증착 마스크 부분(51)을 지지 부분(56)으로부터 분리할 때에 증착 마스크 부분(51)에 발생하는 변형이 관통 구멍(25)의 위치 정밀도에 영향을 미치는 것을 억제할 수 있다.

바람직하게는, 중간 제품(50)에 있어서, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 개소의 비율이, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 개소의 비율보다도 작아지도록 한다. 이에 의해, 파단 시의 긴 변(52)의 변형에 기인하여 증착 공정의 정밀도가 저하되어버리는 것을 억제할 수 있다. 이 경우, 분리 공정에 의해 얻어지는 증착 마스크(20)에 있어서, 긴 변(26)에 있어서의 파단면의 비율이, 짧은 변(27)에 있어서의 파단면의 비율보다도 작아진다.

증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 개소의 비율은, 예를 들어, 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 부분의 폭 K4(도 19 참조)의 총합을 짧은 변(53)의 길이 K2(도 18 참조)로 나눔으로써 산출된다. 폭 K4는, 예를 들어 도 19에 도시하는 바와 같이, 지지 부분(56)에 접속되어 있는 볼록부(53a) 중 가장 좁은 부분의 폭이다. 마찬가지로, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 개소의 비율은, 예를 들어, 긴 변(52) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 긴 변(52)의 길이 K1(도 18 참조)로 나눔으로써 산출된다.

또한, 증착 마스크(20)의 짧은 변(27)에 있어서의 파단면(27b)의 비율은, 예를 들어, 짧은 변(27)에 존재하는 파단면(27b)의 폭 K6(도 21 참조)의 총합을 짧은 변(27)의 길이 K5(도 21 참조)로 나눔으로써 산출된다. 마찬가지로, 증착 마스크(20)의 긴 변(26)에 있어서의 파단면의 비율은, 예를 들어, 긴 변(26)에 존재하는 파단면의 폭의 총합을 긴 변(26)의 길이로 나눔으로써 산출된다.

또는, 증착 마스크 부분(51)의 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 개소의 비율은, 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 부분의 개수를 짧은 변(53)의 길이 K2로 나눔으로써 산출되어도 된다. 도 19에 도시하는 예에 있어서, 짧은 변(53) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 부분의 개수는 4이다. 마찬가지로, 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 개소의 비율은, 긴 변(52) 중 지지 부분(56)에 접속되어 있는 부분의 개수를 긴 변(52)의 길이 K1로 나눔으로써 산출되어도 된다.

마찬가지로, 증착 마스크(20)의 짧은 변(27)에 있어서의 파단면(27b)의 비율은, 짧은 변(27)에 존재하는 파단면(27b)의 개수를 짧은 변(27)의 길이 K5로 나눔으로써 산출되어도 된다. 마찬가지로, 증착 마스크(20)의 긴 변(26)에 있어서의 파단면의 비율은, 긴 변(26)에 존재하는 파단면의 개수를 긴 변(26)의 길이로 나눔으로써 산출되어도 된다.

(지지 부분의 변형예)

상술한 실시 형태에 있어서는, 인접하는 두 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)의 사이에 지지 부분(56)이 존재하지 않는 예를 나타냈다. 그러나, 이것에 한정되는 일은 없고, 도 27에 도시하는 바와 같이, 인접하는 두 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)의 사이에, 반송 방향 T1으로 연장되고, 또한 증착 마스크 부분(51)의 긴 변(52)에 접속되어 있지 않은 지지 부분(56)이 존재하고 있어도 된다.

10: 증착 마스크 장치
15: 프레임
20: 증착 마스크
21: 기재
22: 유효 영역
23: 주위 영역
25: 관통 구멍
26: 긴 변
27: 짧은 변
27a: 볼록부
27b: 파단면
27c: 버
30: 제1 오목부
31: 벽면
35: 제2 오목부
36: 벽면
41: 접속부
43: 톱부
50: 중간 제품
51: 증착 마스크 부분
52: 긴 변
53: 짧은 변
53a: 볼록부
54: 접속 개소
55: 간극
56: 지지 부분
64: 금속판
65a: 제1 레지스트 패턴
65b: 제2 레지스트 패턴
65c: 제1 레지스트막
65d: 제2 레지스트막
70: 가공 장치
72: 반송 롤러
73: 분리 장치
90: 증착 장치
92: 유기 EL 기판
98: 증착 재료

Claims

한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크의 제조 방법이며,
금속판을 준비하는 공정과,
상기 금속판을, 한 쌍의 긴 변, 한 쌍의 짧은 변 및 모서리부를 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 복수의 증착 마스크 부분과, 상기 복수의 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 복수의 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하는 중간 제품으로 가공하는 가공 공정과,
상기 증착 마스크 부분을 상기 지지 부분으로부터 분리하여 상기 증착 마스크를 얻는 분리 공정을 구비하고,
상기 한 쌍의 긴 변과 상기 한 쌍의 짧은 변은 상기 모서리부로 접속되고,
상기 증착 마스크부분의 상기 한 쌍의 짧은 변 중 적어도 하나의 짧은 변에는 상기 짧은 변의 방향을 따라 배열되고, 상기 모서리부보다 바깥쪽으로 돌출되어 상기 지지 부분에 접속되는 복수의 볼록부가 형성되어 있고,
상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않은, 증착 마스크의 제조 방법.
한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크의 제조 방법이며,
금속판을 준비하는 공정과,
상기 금속판을, 한 쌍의 긴 변, 한 쌍의 짧은 변 및 모서리부를 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 복수의 증착 마스크 부분과, 상기 복수의 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 복수의 증착 마스크 부분에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하는 중간 제품으로 가공하는 가공 공정과,
상기 증착 마스크 부분을 상기 지지 부분으로부터 분리하여 상기 증착 마스크를 얻는 분리 공정을 구비하고,
상기 한 쌍의 긴 변과 상기 한 쌍의 짧은 변은 상기 모서리부로 접속되고,
상기 증착 마스크부분의 상기 한 쌍의 짧은 변 중 적어도 하나의 짧은 변에는 상기 짧은 변의 방향을 따라 배열되고, 상기 모서리부보다 바깥쪽으로 돌출되어 상기 지지 부분에 접속되는 복수의 볼록부가 형성되어 있고,
상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율이, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율보다도 작은, 증착 마스크의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고,
상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되는, 증착 마스크의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 개수를 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고,
상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 개수를 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되는, 증착 마스크의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중, 상기 중간 제품의 폭 방향을 따라서 상기 긴 변을 본 경우에 상기 관통 구멍과 겹치는 영역은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않은, 증착 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변은, 상기 지지 부분을 향하여 돌출되고, 또한 상기 지지 부분에 접속되어 있는 복수의 볼록부를 포함하는, 증착 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중간 제품에 있어서, 상기 복수의 증착 마스크 부분은, 상기 긴 변에 교차하는 방향으로 배열되어 있고,
인접하는 두 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 사이에는, 상기 지지 부분이 존재하지 않는, 증착 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가공 공정은, 상기 금속판을 에칭하여, 상기 관통 구멍, 및 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변과 상기 지지 부분 사이의 간극을 형성하는 공정을 포함하는, 증착 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가공 공정에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 방향을 따라서 상기 금속판을 반송하면서 상기 금속판을 가공하는, 증착 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 분리 공정에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소를 파단시킴으로써 상기 증착 마스크 부분을 상기 지지 부분으로부터 분리하는, 증착 마스크의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금속판의 두께가 50㎛ 이하인, 증착 마스크의 제조 방법.
한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크가 배치된, 금속제의 판형 중간 제품이며,
한 쌍의 긴 변, 한 쌍의 짧은 변 및 모서리부를 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크 부분과,
상기 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하고,
상기 한 쌍의 긴 변과 상기 한 쌍의 짧은 변은 상기 모서리부로 접속되고,
상기 증착 마스크부분의 상기 한 쌍의 짧은 변 중 적어도 하나의 짧은 변에는 상기 짧은 변의 방향을 따라 배열되고, 상기 모서리부보다 바깥쪽으로 돌출되어 상기 지지 부분에 접속되는 복수의 볼록부가 형성되어 있고,
상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않은, 중간 제품.
한 쌍의 긴 변 및 한 쌍의 짧은 변을 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크가 배치된, 금속제의 판형 중간 제품이며,
한 쌍의 긴 변, 한 쌍의 짧은 변 및 모서리부를 포함함과 함께 복수의 관통 구멍이 형성된 증착 마스크 부분과,
상기 증착 마스크 부분을 둘러쌈과 함께 상기 증착 마스크 부분에 부분적으로 접속되어 있는 지지 부분을 구비하고,
상기 한 쌍의 긴 변과 상기 한 쌍의 짧은 변은 상기 모서리부로 접속되고,
상기 증착 마스크부분의 상기 한 쌍의 짧은 변 중 적어도 하나의 짧은 변에는 상기 짧은 변의 방향을 따라 배열되고, 상기 모서리부보다 바깥쪽으로 돌출되어 상기 지지 부분에 접속되는 복수의 볼록부가 형성되어 있고,
상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율이, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율보다도 작은, 중간 제품.
제13항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고,
상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 폭의 총합을 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되는, 중간 제품.
제13항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 긴 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 개수를 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고,
상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 개소의 비율은, 상기 짧은 변 중 상기 지지 부분에 접속되어 있는 부분의 개수를 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되는, 중간 제품.
제13항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변 중, 상기 중간 제품의 폭 방향을 따라서 상기 긴 변을 본 경우에 상기 관통 구멍과 겹치는 영역은, 상기 지지 부분에 접속되어 있지 않은, 중간 제품.
제12항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분의 상기 짧은 변은, 상기 지지 부분을 향하여 돌출되고, 또한 상기 지지 부분에 접속되어 있는 복수의 볼록부를 포함하는, 중간 제품.
제12항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 증착 마스크 부분 및 상기 지지 부분의 두께가 50㎛ 이하인, 중간 제품.
제12항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 증착 마스크 부분은, 상기 긴 변에 교차하는 방향으로 배열되어 있고,
인접하는 두 상기 증착 마스크 부분의 상기 긴 변의 사이에는, 상기 지지 부분이 존재하지 않는, 중간 제품.
증착 마스크이며,
한 쌍의 긴 변, 한 쌍의 짧은 변 및 모서리부를 포함하는, 금속제의 판형 기재와,
상기 기재에 형성된 복수의 관통 구멍을 구비하고,
상기 한 쌍의 긴 변과 상기 한 쌍의 짧은 변은 상기 모서리부로 접속되고,
상기 기재의 상기 한 쌍의 짧은 변 중 적어도 하나의 짧은 변에는 상기 짧은 변의 방향을 따라 배열되고, 상기 모서리부보다 바깥쪽으로 돌출되어 파단면을 가지는 복수의 볼록부가 형성되어 있고, 한편, 상기 기재의 상기 긴 변에는 파단면이 존재하지 않는, 증착 마스크.
증착 마스크이며,
한 쌍의 긴 변, 한 쌍의 짧은 변 및 모서리부를 포함하는, 금속제의 판형 기재와,
상기 기재에 형성된 복수의 관통 구멍을 구비하고,
상기 한 쌍의 긴 변과 상기 한 쌍의 짧은 변은 상기 모서리부로 접속되고,
상기 기재의 상기 한 쌍의 짧은 변 중 적어도 하나의 짧은 변에는 상기 짧은 변의 방향을 따라 배열되고, 상기 모서리부보다 바깥쪽으로 돌출되어 파단면을 가지는 복수의 볼록부가 형성되어 있고,
상기 기재의 상기 긴 변에 있어서의 파단면의 비율이, 상기 기재의 상기 짧은 변에 있어서의 파단면의 비율보다도 작은, 증착 마스크.
제21항에 있어서, 상기 기재의 상기 긴 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 긴 변에 존재하는 상기 파단면의 폭의 총합을 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고,
상기 기재의 상기 짧은 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 짧은 변에 존재하는 상기 파단면의 폭의 총합을 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되는, 증착 마스크.
제21항에 있어서, 상기 기재의 상기 긴 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 긴 변에 존재하는 상기 파단면의 개수를 상기 긴 변의 길이로 나눔으로써 산출되고,
상기 기재의 상기 짧은 변에 있어서의 파단면의 비율은, 상기 짧은 변에 존재하는 상기 파단면의 개수를 상기 짧은 변의 길이로 나눔으로써 산출되는, 증착 마스크.
제21항에 있어서, 상기 파단면은, 상기 증착 마스크의 폭 방향을 따라서 상기 긴 변을 본 경우에 상기 관통 구멍과 겹치는 영역에는 존재하지 않는, 증착 마스크.
제20항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기재의 상기 짧은 변은, 외측으로 돌출됨과 함께 상기 파단면을 갖는 복수의 볼록부를 포함하는, 증착 마스크.
제20항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기재의 상기 긴 변으로부터 상기 관통 구멍까지의, 상기 기재의 면 방향에 있어서의 최단 거리가, 50㎛ 이하인, 증착 마스크.
제20항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기재는, 상기 관통 구멍을 통한 증착 재료가 부착되는 기판에 대면하는 제1 면과, 상기 제1 면의 반대측에 위치하는 제2 면을 갖고,
상기 기재의 상기 긴 변은, 상기 제1 면과 교차하는 부분에 있어서 가장 외측으로 돌출된 단면 형상을 갖는 증착 마스크.
제20항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기재의 두께가 50㎛ 이하인, 증착 마스크.