KR101118210B1 - 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 유닛의 외관 검사 방법에 관한 것으로, 본 발명의 외관 검사 방법은 검사 대상물의 전체 검사 영역을 제1영역과 제2영역으로 구분하는 단계; 서로 다른 조명을 사용하는 제1카메라와 제2카메라로 검사 대상물의 전체 검사 영역을 촬상하는 단계; 및 상기 제1카메라로부터 획득된 제1이미지를 가지고 제1영역의 불량 유무를 판단하고, 상기 제2카메라로 획득된 제2이미지를 가지고 제2영역의 불량 유무를 판단하는 판별 단계를 포함한다.
인쇄회로기판, 그린조명, 적색조명,외관검사

Description

인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 방법{VISUAL INSPECTION SYSTEM OF PRINTED CIRCUIT BOARD AND METHOD OF THE SAME}
본 발명은 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다.
액정표시장치의 드라이버 집적회로, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들의 제조에 사용되는 주요 재료의 하나인 인쇄회로기판은 반도체 디바이스의 소형화, 경량화 추세에 따라 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 플렉시블 인쇄회로 기판(Flexible Printed Circuit Board)을 많이 사용하고 있다. 플렉시블 형태의 인쇄회로기판 중에서는 예를 들어, TAB(Tape Automatic Bonding), COF(Chip On Film) 기판 등이 있으며, 노광, 현상, 에칭 공정 등을 통하여 기판에 미세 회로 패턴이 형성된다.
이러한 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 최종 출하 전 전체 외관을 검사하기 위한 외관 검사기(AVI)를 이용한 검사 공정을 실시하고 있으며, 플렉시블 인쇄회로기판의 생산업체에서는 외관 검사를 보다 효율적이면서 신속하게 검사할 수 있는 검사 장비를 요구하고 있다.
본 발명은 검사 속도를 향상시킬 수 있는 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 그 방법을 제공하는데 있다.
본 발명은 최적화된 검사 영역별 검사가 가능한 인쇄회로기판의 외관 검사 시스템 및 그 방법을 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 외관 검사 시스템은 검사 대상물이 놓여지는 스테이지; 상기 스테이지에 놓여진 검사 대상물을 검사하는 검사부를 포함하되; 상기 검사부는 제1조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제1촬영부재; 제2조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제2촬영부재; 및 상기 제1촬영부재로부터 제공받은 제1이미지에서는 제1영역을 검사하고, 상기 제2촬영부재로부터 제공받은 제2이미지에서는 제2영역을 검사하되; 2개의 검사 결과를 통합하여 최종 불량 유무를 판별하는 영상처리부를 포함하되; 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1조명과 상기 제2조명은 서로 상이한 종류의 조명이며, 상기 제1조명은 동축낙사 조명이고, 상기 제2조명은 집광 조명이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1조명은 적색 파장을 갖는 조명이고, 상기 제2조명은 그린 파장을 갖는 조명이며, 상기 제1,2조명은 LED 조명이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1촬영부재와 상기 제2촬영부재가 검사 대상물을 라인단위로 연속 촬영할 수 있도록 상기 제1촬영부재와 상기 제2촬영부재를 함께 이동시키는 이동부재를 더 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 본 발명의 검사대상물의 외관 검사 방법은 제1조명을 제공하여 검사대상물의 제1이미지를 획득하는 단계; 제2조명을 제공하여 상기 검사대상물의 제2이미지를 획득하는 단계; 상기 제1이미지에서는 제1영역에 대한 불량 유무를 판단하고, 상기 제2이미지에서는 제2영역에 대한 불량 유무를 판단하는 단계를 포함하되; 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 존재할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 존재하지 않는다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1이미지와 상기 제2이미지를 획득하는 카메라는 상이하다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1,2이미지는 동일한 상기 검사대상물의 촬상영역에 대한 이미지이며, 상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 서로 다른 해상도의 이미지이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대 상물의 항목별 검사영역들로 구분된다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 본 발명의 외관 검사 방법은 검사 대상물의 전체 검사 영역을 제1영역과 제2영역으로 구분하는 단계; 서로 다른 조명을 사용하는 제1카메라와 제2카메라로 검사 대상물의 전체 검사 영역을 촬상하는 단계; 및 상기 제1카메라로부터 획득된 제1이미지를 가지고 제1영역의 불량 유무를 판단하고, 상기 제2카메라로 획득된 제2이미지를 가지고 제2영역의 불량 유무를 판단하는 판별 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 검사 대상물의 항목별 검사영역들로 구분된다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1카메라는 동축낙사 조명을 이용하여 촬영하고, 상기 제2카메라는 집광 조명을 이용하여 촬영한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1카메라는 적색 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영하고, 상기 제2카메라는 그린 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 판별 단계에서는 상기 제1영역의 불량 유무와 상기 제2영역의 불량 유무 중 어느 하나라도 불량인 경우에는 최종 검사 결과가 불량으로 판별된다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 제1영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 커버레이(cover layer)영역을 포함하고, 상기 제2영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 도금영역과 솔더레지스트(SR) 영역을 포함한다.
본 발명에 의하면, 조명 타입에 따라 최적화된 영역별 검사가 가능하다.
또한, 본 발명에 의하면, 검사 속도 및 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면 필요에 따라 각각의 검사 영역에 최적화된 색상의 파장대를 갖는 조명을 이용하여 얻은 양질의 이미지로 검사가 가능함으로 검사가 매우 효율적이다.
또한, 본 발명에 의하면 검사 영역에 따라 일부 이미지는 저화질로 제공될 수 있으므로 영상 데이터의 크기를 줄일 수 있고 따라서 양불을 판별하는 처리 속도가 증대될 수 있다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 1은 플렉시블 인쇄회로기판인 검사대상물의 일 예를 항목별 검사영역들로 구분한 도면이다. 도 1를 참조하면, 검사대상물은 도금영역(1), 솔더레지스트(SR) 영역(2), 커버레이(CL;cover Layer) 영역(3), 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역(4) 과 같은 항목별 검사영역들로 구분될 수 있다. 이러한 각 항목별 검사영역들은 서로 중첩되는 영역이 존재하거나 또는 중첩되지 않을 수 있다.
본 발명의 외관 검사 시스템에서는 도금영역(1), 솔더레지스트(SR) 영역(2), 커버레이(CL;cover Layer) 영역(3), 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역(4)을 포함하는 검사영역들에 대해 외관 검사를 하게 된다.
참고로, 플렉시블 인쇄회로기판(FPCB)은 주로 컨텍(contact)을 위한 목적으로 사용되기 때문에 제품 위에 각종 전자 디바이스의 표면 실장이 가능해야 하고 또 굴곡성을 가져야 한다. 플렉시블 인쇄회로기판의 사용과정에서 도체회로가 외부로 노출되면 반복/장기 사용시 제품에 불가피한 손상이 가해지게 되고 이를 방지하기 위하여 도체 보호용 필름 혹은 고분자 절연체(INK)를 도포하기도 한다.
여기서, 오버코팅(O/C) 영역은 도체 회로를 절연성 및 굴곡에 뛰어난 성능을 지닌 고분자 절연체로 도포한 영역이다. 일반적으로 커버 레이(C/L)와 같이 도체 회로의 많은 부분을 보호하기 위한 용도로는 사용되지 않고 실버 페스트(Ag Paste)가 도포된 부분의 보호용 등의 제한적인 소규모 면적의 보호용으로 많이 사용된다. 그리고, 커버 레이(C/L) 영역은 제품 표면에 형성된 도체 회로를 외부 요인으로 인한 손상에 대비하기 위한 보호 역할로 절연성 및 굴곡성을 가진 필름을 이용하여 코팅된 영역이다. 물론, 본 발명은 플렉시블한 기판 외에 다른 종류의 기판 외관 검사에도 적용 가능하다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 개략도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 시스템(1)은 서로 다른 조명을 이용한 제1,2촬영부재(300,400)를 이용하여 플렉시블 인쇄회로기판인 검사대상물(10)의 항목별 검사영역들을 검사할 수 있는 시스템이다.
외관 검사 시스템(1)은 검사대상물(10)이 놓여지는 스테이지(100)와 스테이지(100)에 놓여진 검사대상물(10)을 검사하는 검사부(200)를 포함한다.
검사부(200)는 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400), 이동부재(500) 그리고 영상처리부(600)를 포함할 수 있다.
제1촬영부재(300)는 제1카메라(310)와 제1조명(320)을 포함한다. 제1조명(320)은 동축낙사 조명으로 적색 파장을 갖는 LED 또는 적색 필터를 장착한 메탈할라이드 조명으로 이루어진다. 적색 파장을 갖는 동축낙사 방식의 제1조명(320)을 사용한 제1촬영부재(300)는 검사대상물의 항목별 검사영역들인 도금영역, 솔더레지스트(SR) 영역, 커버레이(C/L;cover Layer) 영역, 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역 중에서 도금 영역과 커버레이(C/L) 영역을 검사하는데 가장 적합하다.
적색의 파장대를 갖는 동축낙사 방식의 제1조명(320)은 도금 영역 및 커버레이 영역에 대해서 다른 파장대의 조명보다 선명한 영상 획득이 가능하다. 도금 영역의 검사를 위해서는 표면에 노출된 부분의 영역에 대해서 표면의 요철 및 오염 변색 등의 검사를 수행해야 하는데 이것에는 표면에 수직으로 조사되는 동축낙사 방식이 매우 유리하다. 또한, 커버레이 영역 밑에 존재하는 도체 회로를 검사하기 위해서는 커버레이를 투과하여 영상을 획득해야 하며, 이를 위해 반투명의 오렌지 색상의 커버레이와 비슷한 적색파장대의 조명을 사용함으로써 기타 파장대의 조명 보다 선명한 촬상이 가능하다. 또한, 커버레이와 비슷한 색상의 적색 파장대의 조명을 사용하면 커버레이 표면의 영상도 선명하게 촬상이 가능할 수 있다.
제2촬영부재(400)는 제2카메라(410)와 제2조명(420)을 포함한다. 제2조명(420)은 제1조명(320)과 서로 상이한 조명을 사용하게 된다. 제2조명(420)은 집광 조명으로 그린 파장을 갖는 LED 또는 그린 필터를 장착한 메탈할라이드 조명으로 이루어진다. 그린 파장을 갖는 집광 방식의 제2조명(420)을 사용한 제2촬영부재(400)는 검사대상물의 항목별 검사영역들인 도금영역, 솔더레지스트(SR) 영역, 커버레이(C/L;cover Layer) 영역, 오버코팅(O/C;Over Coating) 영역 중에서 솔더레지스트(SR) 영역과 오버코팅(O/C) 영역을 검사하는데 가장 적합하다.
예컨대, 솔더레지스트(SR) 영역을 검사하는데 그린색의 LED 조명을 사용하는 이유는 보다 정확한(선명한) 이미지를 얻기 위함이다. 예컨대, 검사대상물(20)은 패턴 성분 위로 절연성분인 그린색의 솔더 레지스트(SR)가 덮고 있는데, 만약 흰색 또는 적색의 조명을 사용하게 되면 솔더 레지스트 때문에 패턴이 선명하게 촬상되지 않는다. 하지만, 솔더 레지스트의 색상과 동일하거나 유사한 파장의 그린색 LED 조명을 조사하여 촬영하면 동일한 파장의 LED 조명이 솔더 레지스트층을 통과해서 안쪽의 패턴면을 밝게 비추게 된다. 따라서, 그린의 LED 조명을 사용하면 솔더 레지스트 내부에 있는 패턴이 깨끗하게(SR이 없는 것처럼) 촬상된다. 본 발명에서 사용하는 조명들은 LED, 메탈할라이드 이외에도 칼라 필터를 장착한 다양한 조명이 사용될 수 있다.
이처럼, 제2촬상부재(400)는 솔더 레지스트와 비슷한 파장의 조명을 사용하 여 SR 영역의 솔더 레지스트 내의 이물뿐만 아니라 내부에 있는 패턴까지 깨끗하게 이미지를 얻을 수 있다.
그리고, 오버코팅(O/C) 영역에서도 솔더 레지스트와 비슷한 고분자 절연체를 이용하기 때문에 비슷한 효과를 얻을 수 있습니다.
본 발명에서 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)가 서로 다른 파장의 조명을 사용하는 이유는 검사 영역에서 각 파장별로 깨끗한(선명한) 이미지를 얻을 수 있기 때문이다. 예컨대, 본 발명에서는 필요에 따라 각각의 검사 영역의 특성에 따라 최적화된 색상(유사한 색상)의 파장대를 갖는 조명을 이용하여 양질의 이미지를 얻을 수 있다.
이동부재(500)는 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)가 검사대상물(10)을 라인단위로 촬영할 수 있도록 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)를 이동시키기 위한 직선이동장치이다. 이동부재(500)는 검사대상물(10)을 검사할 때 제1촬영부재(300)와 제2촬영부재(400)를 검사대상물(10)의 일측에서 타측까지 편도 이동시키거나 또는 왕복 이동시킬 수 있다. 여기서, 이동부재(500)는 유압을 이용한 실린더 방식 또는 모터, 볼스크류 그리고 이송너트를 이용한 다양한 직선 이동 방식이 사용될 수 있다.
본 발명에서 제1촬상부재(300)의 제1카메라(310)와 제2촬상부재(400)의 제2카메라(410) 모두 검사대상물(10)의 전체 영역을 동일하게 촬영하게 된다. 영상 처리부(600)에서는 제1,2카메라(310,410)로부터 제공받은 검사대상물의 전체 영역에 대한 제1,2이미지로부터 제1,2조명(320,420)에 의해 최적화되어 있는 영역의 이미 지만을 사용하여 기준이 되는 영상과 비교를 하게 된다. 예컨대, 제1이미지와 제2이미지에 대해 획득된 검사 대상물의 촬상영역은 서로 상이할 수 도 있고, 제1이미지와 제2이미지는 하나의 카메라에 의해 획득될 수 있다. 그리고, 제1이미지와 제2이미지는 동일 조명에 의해 획득될 수 있다.
영상처리부(600)는 전형적인 컴퓨터 시스템(일명 마이컴)으로써, 영상처리부(600)는 제1촬영부재(300)로부터 제1이미지를 제공받고, 제2촬영부재(400)로부터 제2이미지를 제공받아 이를 기준데이터와 비교하여 불량 여부를 판별하게 된다. 여기서, 영상처리부(600)는 검사대상물의 전체 검사 영역(제1카메라와 제2카메라에 의해 촬상되는 영역)을 영역별로 구분한다. 본 실시예에서는 도금 영역과 커버레이(C/L) 영역을 포함하는 제1영역과 솔더레지스트(SR) 영역과 오버코팅(O/C) 영역을 포함하는 제2영역으로 구분한다. 예컨대, 제1영역과 제2영역은 검사대상물의 항목별 검사영역 이외에 다른 기준(영역의 색상이나 재질 등)에 의해 구분될 수 있다.
그리고, 영상처리부(600)는 제1카메라가 촬상한 제1이미지에서 제1영역에 해당되는 이미지를 선별하여 검사하고, 제2카메라가 촬상한 제2이미지에서 제2영역에 해당되는 이미지만을 선별하여 검사한다. 이때 비교의 대상이 되는 기준데이터는 설계 기준을 사용하는 방식과 양품 기판의 데이터를 사용하는 2가지 방식이 있다.
도 3은 외관 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 4는 항목별 검사영역들의 제1,2이미지를 비교하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 외관 검사 방법은 영상처리 부(600)가 검사대상물의 전체 검사 영역(제1카메라와 제2카메라에 의해 촬상되는 영역)을 제1영역과 제2영역으로 구분한다(S10).
제1촬상부재(300)의 제1카메라(310)는 제1조명을 이용하여 검사대상물(10)의 전체 영역을 촬영하고, 제2촬상부재(400)의 제2카메라(410)는 제2조명을 이용하여 검사대상물(10)의 전체 영역을 촬영한다(S20). 제1카메라(310)에서 획득한 제1이미지와 제2카메라(410)에서 획득한 제2이미지는 동일한 검사대상물의 촬상영역에 대한 이미지이다.
제1카메라(310)에서 획득한 제1이미지와 제2카메라(410)에서 획득한 제2이미지는 영상처리부(600)로 제공되고, 영상처리부(600)는 제1이미지에서 제1영역에 해당되는 도금 영역과 커버레이(C/L) 영역에 해당되는 이미지를 가지고 불량 유무를 판단하고, 제2이미지에서 제2영역에 해당되는 솔더레지스트(SR) 영역과 오버코팅(O/C) 영역에 해당되는 이미지를 가지고 불량 유무를 판단하게 된다(S30).
도 3에서와 같이, 커버레이 영역과 도금 영역에 대한 검사는 제1카메라(310)로 얻은 제1이미지가 제2카메라(410)로 얻은 제2이미지보다 선명하기 때문에 제1이미지를 가지고 검사를 하고, 솔더레지스트 영역에 대한 검사는 제2카메라(410)로 얻은 제2이미지가 제1카메라(310)로 얻은 제1이미지보다 선명하기 때문에 제2이미지를 가지고 검사를 한다. 그리고, 최종적으로 영상처리부(600)는 두 개의 검사 결과를 통합하여 양불 여부를 판단하게 된다(S40).
이처럼, 본 발명의 외관 검사 방법은 각각의 영역에 특화된 조명들을 사용하여 이미지를 얻고, 이렇게 얻은 이미지들에서 최적화되어 있는 영역의 이미지만을 사용하여 불량 유무를 검사함으로써, 검사 속도뿐만 아니라 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
본 실시예에서는 2대의 카메라를 기본 구성으로 하고 있으나, 필요에 따라서는 칼라 카메라가 추가로 적용될 수 있다.
본 발명은 검사대상물에 대한 최종 외관 검사를 실시하는 장비로써, 이러한 최종 외관 검사 장비의 특성은 기본적으로 기존의 목시 검사를 대체하기 위한 것으로 저렴하면서도 빠른 검사 속도가 매우 중요하다. 따라서, 본 발명에서는 제1카메라(310)와 제2카메라(410)에 사용되는 조명 파장을 달리하여 검사 대상물을 촬상하고, 제1카메라(310)가 촬상한 제1이미지에서는 검사대상물의 제1영역을 검사하고, 제2카메라(410)가 촬상한 제2이미지에서는 검사대상물의 제2영역을 검사하여 검사 속도뿐만 아니라 검사 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 외관 검사 장치 및 방법에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 플렉시블 인쇄회로기판인 검사대상물의 일 예를 항목별 검사영역들로 구분한 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 외관 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 개략도이다.
도 3은 외관 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
도 4는 항목별 검사영역들의 제1,2이미지를 비교하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 스테이지
200 : 검사부
300 : 제1촬영부재
400 : 제2촬영부재
600 : 영상처리부

Claims (19)

  1. 외관 검사 시스템에 있어서:
    검사 대상물이 놓여지는 스테이지;
    상기 스테이지에 놓여진 검사 대상물을 검사하는 검사부를 포함하되;
    상기 검사부는
    제1조명 및 상기 제1조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제1카메라를 가지는 제1촬영부재;
    제2조명 및 상기 제2조명을 이용하여 검사 대상물을 촬상하는 제2카메라를 가지는 제2촬영부재;
    상기 제1카메라와 상기 제2카메라가 검사 대상물을 라인단위로 연속 촬영할 수 있도록 상기 제1촬영부재와 상기 제2촬영부재를 함께 이동시키는 이동부재; 및
    상기 제1카메라로부터 제공받은 제1이미지에서는 제1영역을 검사하고, 상기 제2카메라로부터 제공받은 제2이미지에서는 제2영역을 검사하여 불량 유무를 판별하는 영상처리부를 포함하되;
    상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 동일한 상기 검사대상물의 전체 검사 영역에 대한 이미지이고, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명과 상기 제2조명은 서로 상이한 종류의 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명은 동축낙사 조명이고,
    상기 제2조명은 집광 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명은
    적색 파장을 갖는 조명이고,
    상기 제2조명은
    그린 파장을 갖는 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1,2조명은 LED 조명 또는 칼라필터가 장착된 메탈할라이드 조명인 것을 특징으로 하는 외관 검사 시스템.
  6. 삭제
  7. 검사대상물의 외관 검사 방법에 있어서:
    제1조명 및 제1카메라를 가지는 제1촬영부재와 제2조명 및 제2카메라를 가지는 제2촬영부재를 동시에 이동하고, 상기 제1촬영부재를 이용하여 상기 검사대상물의 제1이미지를 획득하고, 상기 제2촬영부재를 이용하여 상기 검사 대상물의 제2이미지를 획득하는 단계와;
    상기 제1이미지에서는 상기 검사대상물의 제1영역에 대한 불량 유무를 판단하고, 상기 제2이미지에서는 상기 검사대상물의 제2영역에 대한 불량 유무를 판단하는 단계를 포함하되;
    상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 동일한 상기 검사대상물의 전체 검사 영역에 대한 이미지이고, 상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물에서 서로 상이한 영역이며,
    상기 제1카메라와 상기 제2카메라는 상기 검사대상물을 라인단위로 연속촬영함으로써 상기 제1이미지와 상기 제2이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 존재하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제1영역과 상기 제2영역은 서로 중첩되는 영역이 없는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1이미지와 상기 제2이미지는 서로 다른 해상도의 이미지인 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  13. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1영역과 상기 제2영역은 상기 검사대상물의 항목별 검사영역들로 구분되는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1카메라는 동축낙사 조명을 이용하여 촬영하고, 상기 제2카메라는 집광 조명을 이용하여 촬영하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  17. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1카메라는 적색 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영하고,
    상기 제2카메라는 그린 파장을 갖는 LED 조명을 이용하여 촬영하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
  18. 삭제
  19. 제7항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 커버레이(cover layer)영역을 포함하고,
    상기 제2영역은 검사대상물의 항목별 검사영역들 중에서 도금영역과 솔더레지스트(SR) 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 외관 검사 방법.
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