JPH10268300A - Reflective guest-host liquid crystal display - Google Patents
Reflective guest-host liquid crystal displayInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 反射型ゲストホスト液晶表示装置の画素開口
率を維持しつつ表示コントラストを改善する。
【解決手段】 反射型ゲストホスト液晶表示装置は所定
の間隙を介して互いに接合した一対の基板1,2と二色
性色素を含有し且つ間隙に保持されたゲストホスト液晶
3とを備えている。上側の基板1には少くとも対向電極
6が形成されている。下側の基板2には薄膜トランジス
タ8と、光反射層9とこれらの上方に成膜され且つ薄膜
トランジスタ8に連通するコンタクトホールを設けた四
分の一波長板層10とその上にパタニングされ且つコン
タクトホールを介して薄膜トランジスタ8に接続する画
素電極11とが形成されている。下側の基板2には個々
の画素電極11の境界に沿って遮光性のブラックマトリ
クスBMが形成されている。光反射層9は凹凸が形成さ
れ且つ遮光性を有する樹脂膜9aと、その表面に画素電
極11と整合した形状で成膜された反射性の金属膜9b
とからなる。ブラックマトリクスBMは樹脂膜9aの一
部を利用して形成されている。
[PROBLEMS] To improve display contrast while maintaining the pixel aperture ratio of a reflection type guest-host liquid crystal display device. SOLUTION: The reflection type guest-host liquid crystal display device includes a pair of substrates 1, 2 bonded to each other via a predetermined gap, and a guest-host liquid crystal 3 containing a dichroic dye and held in the gap. . At least the counter electrode 6 is formed on the upper substrate 1. On the lower substrate 2, a thin film transistor 8, a light reflection layer 9, a quarter-wave plate layer 10 formed thereon and provided with a contact hole communicating with the thin film transistor 8, and patterned and contacted thereon The pixel electrode 11 connected to the thin film transistor 8 through the hole is formed. A light-shielding black matrix BM is formed on the lower substrate 2 along boundaries of the individual pixel electrodes 11. The light reflection layer 9 is formed of a resin film 9a having irregularities and having a light-shielding property, and a reflective metal film 9b formed on the surface thereof in a shape matching the pixel electrode 11.
Consists of The black matrix BM is formed using a part of the resin film 9a.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は反射型ゲストホスト
液晶表示装置に関する。詳しくは、四分の一波長板層と
光反射層とを装置内に内蔵して入射光の利用効率を改善
する技術に関する。より詳しくは、画素の周辺を遮光す
るブラックマトリクスの構造に関する。The present invention relates to a reflection type guest-host liquid crystal display device. More specifically, the present invention relates to a technology for improving the efficiency of using incident light by incorporating a quarter-wave plate layer and a light reflection layer in a device. More specifically, the present invention relates to a structure of a black matrix for shielding the periphery of a pixel from light.
【0002】[0002]
【従来の技術】四分の一波長板層と光反射層とを内蔵し
た反射型ゲストホスト液晶表示装置は例えば特開平6−
222351号公報に開示されており、図6にその断面
構造を示す。この反射型液晶表示装置101は、上下一
対の基板102及び103、ゲストホスト液晶104、
二色性色素105、上下一対の透明電極106及び11
0、上下一対の配向層107及び111、光反射層10
8、四分の一波長板層109を含んで構成されている。
一対の基板102及び103は、例えばガラス、石英、
プラスチックなどの絶縁性を有する材料で構成されてい
る。また、少なくとも上側の基板102は透明である。
一対の基板102及び103の間隙には二色性色素10
5を含むゲストホスト液晶104が保持されている。ゲ
ストホスト液晶104はネマティック液晶分子104a
を含んでおり、二色性色素105はその分子の長軸にほ
ぼ平行な遷移双極子モーメントを有する、所謂p型色素
である。上側の基板102の内表面102aには図示し
ないがスイッチング素子が集積形成されている。また、
透明電極106は画素電極としてマトリクス状にパタニ
ングされており、対応するスイッチング素子により駆動
される。更に、上側の基板102の内表面はポリイミド
樹脂などからなる配向層107で被覆されている。この
配向層107の表面は例えばラビング処理が施されてお
りネマティック液晶分子104aを水平配向している。2. Description of the Related Art A reflection type guest-host liquid crystal display device having a built-in quarter-wave plate layer and a light reflection layer is disclosed, for example, in Japanese Patent Laid-Open No.
FIG. 6 shows a cross-sectional structure thereof. This reflective liquid crystal display device 101 includes a pair of upper and lower substrates 102 and 103, a guest host liquid crystal 104,
Dichroic dye 105, pair of upper and lower transparent electrodes 106 and 11
0, a pair of upper and lower alignment layers 107 and 111, and a light reflection layer 10
It is configured to include the eighth and quarter wave plate layers 109.
The pair of substrates 102 and 103 are made of, for example, glass, quartz,
It is made of an insulating material such as plastic. Further, at least the upper substrate 102 is transparent.
A dichroic dye 10 is provided between the pair of substrates 102 and 103.
5 is held. The guest host liquid crystal 104 is a nematic liquid crystal molecule 104a.
And the dichroic dye 105 is a so-called p-type dye having a transition dipole moment almost parallel to the long axis of the molecule. Although not shown, a switching element is integrally formed on the inner surface 102a of the upper substrate 102. Also,
The transparent electrode 106 is patterned as a pixel electrode in a matrix and is driven by a corresponding switching element. Further, the inner surface of the upper substrate 102 is covered with an alignment layer 107 made of polyimide resin or the like. The surface of the alignment layer 107 is, for example, subjected to a rubbing treatment, so that the nematic liquid crystal molecules 104a are horizontally aligned.
【0003】一方、下側の基板103の内表面103a
にはアルミニウムなどからなる光反射層108と、高分
子液晶などからなる四分の一波長板層109とがこの順
に形成されている。更に、四分の一波長板層109の上
には透明電極110と配向層111とがこの順に形成さ
れている。On the other hand, the inner surface 103a of the lower substrate 103
A light reflection layer 108 made of aluminum or the like and a quarter-wave plate layer 109 made of a polymer liquid crystal or the like are formed in this order. Further, a transparent electrode 110 and an alignment layer 111 are formed on the quarter-wave plate layer 109 in this order.
【0004】続いて、この反射型ゲストホスト液晶表示
装置101を用いて白黒表示を行なう場合の動作につい
て簡潔に説明する。電圧無印加状態では、ネマティック
液晶分子104aは水平に配向しており、二色性色素1
05も同様に配向する。上側の基板102側から入射し
た光がゲストホスト液晶104に進むと、入射光のうち
二色性色素105の分子の長軸方向に対して平行な振動
面を持つ成分が二色性色素105によって吸収される。
また、二色性色素105の分子の長軸方向に対して垂直
な振動面を持つ成分はゲストホスト液晶104を通過
し、下側の基板103の内表面103aに形成された四
分の一波長板層109で円偏光とされて、光反射層10
8で反射する。この時、反射光の偏光が逆回りとなり、
再び四分の一波長板層109を通過し、二色性色素10
5の分子の長軸方向に対して平行な振動面を持つ成分と
なる。この成分は二色性色素105によって吸収される
のでほぼ完全な黒色表示となる。Next, the operation of the reflective guest-host liquid crystal display device 101 for monochrome display will be briefly described. In the state where no voltage is applied, the nematic liquid crystal molecules 104a are horizontally aligned and the dichroic dye 1
05 is similarly oriented. When the light incident from the upper substrate 102 side travels to the guest-host liquid crystal 104, a component of the incident light having a vibration plane parallel to the major axis direction of the molecules of the dichroic dye 105 is caused by the dichroic dye 105. Absorbed.
In addition, a component of the dichroic dye 105 having a vibration plane perpendicular to the major axis direction of the molecule passes through the guest-host liquid crystal 104 and forms a quarter-wavelength formed on the inner surface 103 a of the lower substrate 103. The light reflected by the light reflecting layer 10
Reflect at 8. At this time, the polarization of the reflected light is reversed,
The dichroic dye 10 passes through the quarter-wave plate layer 109 again.
5 has a vibration surface parallel to the long axis direction of the molecule. Since this component is absorbed by the dichroic dye 105, almost complete black display is obtained.
【0005】一方、電圧印加時にはネマティック液晶分
子104aは電界方向に沿って垂直に配向し、二色性色
素105も同様に配向する。上側の基板102側から入
射した光は二色性色素105によって吸収されずにゲス
トホスト液晶104を通過し、更に四分の一波長板層1
09で実質的な影響を受けることなく光反射層108で
反射する。反射光は再び四分の一波長板層109を通過
し、ゲストホスト液晶104で吸収されずに出射する。
従って白色表示となる。On the other hand, when a voltage is applied, the nematic liquid crystal molecules 104a are vertically oriented along the direction of the electric field, and the dichroic dye 105 is similarly oriented. Light incident from the upper substrate 102 side passes through the guest-host liquid crystal 104 without being absorbed by the dichroic dye 105, and further passes through the quarter-wave plate layer 1.
At 09, the light is reflected by the light reflection layer 108 without being substantially affected. The reflected light passes through the quarter-wave plate layer 109 again and exits without being absorbed by the guest-host liquid crystal 104.
Therefore, white display is obtained.
【0006】図6に示した従来構造では、画素駆動用の
スイッチング素子が入射側の基板に形成されている。ス
イッチング素子は薄膜トランジスタなどからなり入射光
を遮断する為、その分画素の開口率が低下する。これに
対処する為、反射側の基板にスイッチング素子を集積形
成した構造が開発されており、その例を図7に示す。図
示する様に、上側の基板201は全面的に形成された透
明電極からなる対向電極203aを有し、下側の基板2
02はマトリクス状に細分化された反射電極からなる画
素電極204aを有している。即ち、本例はアクティブ
マトリクス型である。基板202の内表面にはマトリク
ス状にパタニングされた画素電極204aに加え、これ
に対応して薄膜トランジスタTFTも集積形成されてい
る。このTFTは画素電極204aを個々に駆動するス
イッチング素子となる。即ち、このTFTを選択的にオ
ン/オフ制御して対応する画素電極204aに信号電圧
を書き込む。TFTのドレイン領域Dは画素電極204
aに接続し、ソース領域Sは信号配線221に接続して
いる。TFTのゲート電極Gはゲート配線に接続してい
る。又、各画素電極204aに対応して補助容量Csも
形成されている。画素電極204aは平坦化層222に
よりTFTや補助容量Cs及び信号配線221などから
電気的に分離されている。一方、上側の基板201の内
表面には対向電極203aが全面的に形成されている。
互いに所定の間隙を介して対向配置された両基板20
1,202の間には電気光学体205が保持されてい
る。この電気光学体205はゲストホスト液晶206と
四分の一波長板層207とを含む積層構造を有する。ゲ
ストホスト液晶206はネマティック液晶分子209及
び二色性色素208を含有するとともに、上下の配向層
210及び211により水平配向されている。四分の一
波長板層207は画素電極204aに沿って成膜されて
いる。In the conventional structure shown in FIG. 6, a switching element for driving a pixel is formed on an incident side substrate. Since the switching element is formed of a thin film transistor or the like and blocks incident light, the aperture ratio of the pixel is reduced accordingly. To cope with this, a structure in which switching elements are integratedly formed on a substrate on the reflection side has been developed, and an example thereof is shown in FIG. As shown in the drawing, the upper substrate 201 has a counter electrode 203a made of a transparent electrode formed over the entire surface, and the lower substrate 2
Numeral 02 has a pixel electrode 204a composed of a reflective electrode subdivided in a matrix. That is, this example is an active matrix type. On the inner surface of the substrate 202, in addition to the pixel electrodes 204a patterned in a matrix, thin-film transistors TFT are integrally formed correspondingly. This TFT becomes a switching element for individually driving the pixel electrode 204a. That is, the TFT is selectively turned on / off to write a signal voltage to the corresponding pixel electrode 204a. The drain region D of the TFT is a pixel electrode 204
a, and the source region S is connected to the signal wiring 221. The gate electrode G of the TFT is connected to a gate wiring. Further, an auxiliary capacitance Cs is also formed corresponding to each pixel electrode 204a. The pixel electrode 204a is electrically separated from the TFT, the storage capacitor Cs, the signal wiring 221 and the like by the flattening layer 222. On the other hand, a counter electrode 203a is formed entirely on the inner surface of the upper substrate 201.
Both substrates 20 opposed to each other with a predetermined gap therebetween
An electro-optical body 205 is held between the first and second lenses 202. This electro-optical body 205 has a laminated structure including a guest-host liquid crystal 206 and a quarter-wave plate layer 207. The guest host liquid crystal 206 contains a nematic liquid crystal molecule 209 and a dichroic dye 208, and is horizontally aligned by upper and lower alignment layers 210 and 211. The quarter-wave plate layer 207 is formed along the pixel electrode 204a.
【0007】画素電極204aに信号電圧が書き込まれ
ると、対面する対向電極203aとの間に電界が生じ、
ゲストホスト液晶206は吸収状態と透過状態との間で
変化する。この光学変化は画素電極毎に表われる為、所
望の画像表示を行なうことができる。画素電極204a
の下方にTFT、補助容量Cs、信号配線221などが
配置している。これらの構成要素は入射光路中に介在し
ない為、画素開口率に影響を与えない。換言すると、画
素電極204aの面積がそのまま画素開口として利用で
き、明るい表示が可能である。When a signal voltage is written to the pixel electrode 204a, an electric field is generated between the pixel electrode 204a and the facing opposing electrode 203a.
The guest host liquid crystal 206 changes between an absorption state and a transmission state. Since this optical change appears for each pixel electrode, a desired image display can be performed. Pixel electrode 204a
, A TFT, an auxiliary capacitor Cs, a signal wiring 221, and the like are arranged below the pixel. Since these components do not intervene in the incident optical path, they do not affect the pixel aperture ratio. In other words, the area of the pixel electrode 204a can be used as it is as a pixel opening, and a bright display can be achieved.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述した反射型ゲスト
ホスト液晶表示装置は背面照明用のバックライトを用い
ることなく自然光などの外光を利用して表示を行なう
為、明るい画面を得る為には画素の開口率を大きくする
必要がある。この点、上述した様に図7に示した構造は
開口率を充分確保することができる。一方、カラー表示
を行なう場合、各画素に対応して3原色に着色されたカ
ラーフィルタを対向基板201側に設ける。カラー表示
でコントラストを向上させる為には、個々の画素の境界
に沿って黒色の遮光体(ブラックマトリクス)を設ける
ことが必要である。従来、ブラックマトリクスはカラー
フィルタと同様に対向基板に設けていた。しかし、この
構造ではブラックマトリクスが形成された対向基板20
1とTFTが形成された基板202との間で正確に位置
合わせを行なう必要がある。しかしながら、機械的な精
度には限界があり位置合わせにある程度の誤差が生じ
る。この誤差を吸収する為ブラックマトリクスの幅はあ
る程度広く設計されており、その分画素の開口率が犠牲
になるという課題がある。The above-mentioned reflection type guest-host liquid crystal display device performs display using external light such as natural light without using a backlight for back illumination, so that a bright screen is required. It is necessary to increase the aperture ratio of the pixel. In this regard, as described above, the structure shown in FIG. 7 can sufficiently secure the aperture ratio. On the other hand, when performing color display, a color filter colored in three primary colors corresponding to each pixel is provided on the counter substrate 201 side. In order to improve the contrast in color display, it is necessary to provide a black light shield (black matrix) along the boundaries between individual pixels. Conventionally, a black matrix has been provided on a counter substrate similarly to a color filter. However, in this structure, the opposing substrate 20 on which the black matrix is formed is formed.
It is necessary to perform accurate positioning between the substrate 1 and the substrate 202 on which the TFT is formed. However, there is a limit in mechanical accuracy, and a certain amount of error occurs in alignment. In order to absorb this error, the width of the black matrix is designed to be wide to some extent, and there is a problem that the aperture ratio of the pixels is sacrificed accordingly.
【0009】[0009]
【課題を解決する為の手段】上述した従来の技術の課題
を解決する為に以下の手段を講じた。即ち、本発明に係
る反射型ゲストホスト液晶表示装置は基本的な構成とし
て、所定の間隙を介して互いに接合した一対の基板と、
二色性色素を含有し且つ該間隙に保持されたゲストホス
ト液晶とを備えている。一方の基板には少なくとも対向
電極が形成されている。他方の基板にはスイッチング素
子と、光反射層と、これらの上方に成膜され且つスイッ
チング素子に連通するコンタクトホールを設けた四分の
一波長板層と、該四分の一波長板層の上にパタニングさ
れ且つ該コンタクトホールを介して該スイッチング素子
に接続する画素電極とが形成されている。特徴事項とし
て、該他方の基板には個々の画素電極の境界に沿って遮
光性のブラックマトリクスが形成されている。具体的に
は、前記光反射層は凹凸が形成され且つ遮光性を有する
樹脂膜と、その表面に画素電極と整合した形状で成膜さ
れた反射性の金属膜とからなる一方、前記ブラックマト
リクスは該樹脂膜の一部を利用して形成されている。好
ましくは、前記樹脂膜は黒色の顔料又は染料を添加した
感光性の樹脂膜である。又好ましくは、前記光反射層と
前記四分の一波長板層との間に凹凸を埋める平坦化層が
介在しており、該平坦化層は個々の画素電極に対応して
着色されておりカラーフィルタとして機能する。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems of the prior art, the following measures have been taken. That is, the reflective guest-host liquid crystal display device according to the present invention has, as a basic configuration, a pair of substrates bonded to each other with a predetermined gap therebetween,
A guest-host liquid crystal containing a dichroic dye and held in the gap. At least one counter electrode is formed on one substrate. On the other substrate, a switching element, a light reflection layer, a quarter-wave plate layer formed above these layers and provided with a contact hole communicating with the switching element, and a quarter-wave plate layer And a pixel electrode which is patterned and connected to the switching element via the contact hole. As a characteristic feature, a light-shielding black matrix is formed on the other substrate along boundaries of individual pixel electrodes. Specifically, the light reflection layer is formed of a resin film having irregularities and having a light-shielding property, and a reflective metal film formed on the surface thereof in a shape matching the pixel electrode. Is formed utilizing a part of the resin film. Preferably, the resin film is a photosensitive resin film to which a black pigment or dye is added. Also preferably, a flattening layer for filling irregularities is interposed between the light reflecting layer and the quarter-wave plate layer, and the flattening layer is colored corresponding to each pixel electrode. Functions as a color filter.
【0010】本発明によれば、ブラックマトリクス及び
カラーフィルタを対向電極が形成された基板側ではな
く、画素電極やスイッチング素子が形成された基板側に
設けている。所謂オンチップ構造となっており、ブラッ
クマトリクスやカラーフィルタは高精度で画素電極と整
合させることが可能となり、充分な画素開口率を確保で
きる。従来の様に、対向電極が形成された基板と画素電
極が形成さた基板との重ね合わせ精度を考慮する必要が
なくなる。その分、ブラックマトリクスなどのパタンに
誤差を吸収する為のマージンを設ける必要がない。According to the present invention, the black matrix and the color filters are provided not on the substrate on which the opposing electrodes are formed, but on the substrate on which the pixel electrodes and switching elements are formed. It has a so-called on-chip structure, the black matrix and the color filter can be aligned with the pixel electrode with high accuracy, and a sufficient pixel aperture ratio can be secured. Unlike the related art, there is no need to consider the overlay accuracy of the substrate on which the counter electrode is formed and the substrate on which the pixel electrode is formed. Accordingly, there is no need to provide a margin for absorbing errors in a pattern such as a black matrix.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を詳細に説明する。図1は本発明に係る反射型ゲ
ストホスト液晶表示装置の基本的な構成を示しており、
(A)は一画素分の断面図であり、(B)は一画素分の
平面図である。図示する様に、本表示装置は所定の間隙
を介して互いに接合した上下一対の基板1,2を用いて
構成されている。上側の基板1は入射側に位置しガラス
などの透明基材からなる。一方下側の基板2は反射側に
位置し、必ずしも透明材料を用いる必要はない。一対の
基板1,2の間隙にはゲストホスト液晶3が保持されて
いる。このゲストホスト液晶3は例えば負の誘電異方性
を有するネマティック液晶分子を主体とし、且つ二色性
色素を所定の割合で含有している。上側の基板1の内表
面には対向電極6と配向層(図示略)が形成されてい
る。対向電極6はITOなどの透明導電膜からなる。配
向層は例えばポリイミドフィルムからなり、ゲストホス
ト液晶3を垂直配向している。なお、本発明はこれに限
られるものではなく、図6や図7に示した様にゲストホ
スト液晶を水平配向してもよい。本実施形態では電圧無
印加状態でゲストホスト液晶3は垂直配向し、電圧印加
状態では水平配向に移行する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a basic configuration of a reflective guest-host liquid crystal display device according to the present invention,
(A) is a sectional view of one pixel, and (B) is a plan view of one pixel. As shown in the figure, this display device is configured using a pair of upper and lower substrates 1 and 2 joined to each other with a predetermined gap therebetween. The upper substrate 1 is located on the incident side and is made of a transparent base material such as glass. On the other hand, the lower substrate 2 is located on the reflection side, and it is not always necessary to use a transparent material. A guest host liquid crystal 3 is held in a gap between the pair of substrates 1 and 2. The guest-host liquid crystal 3 mainly includes, for example, nematic liquid crystal molecules having negative dielectric anisotropy, and contains a dichroic dye at a predetermined ratio. A counter electrode 6 and an alignment layer (not shown) are formed on the inner surface of the upper substrate 1. The counter electrode 6 is made of a transparent conductive film such as ITO. The alignment layer is made of, for example, a polyimide film, and vertically aligns the guest-host liquid crystal 3. The present invention is not limited to this, and the guest-host liquid crystal may be horizontally aligned as shown in FIGS. In the present embodiment, the guest host liquid crystal 3 is vertically aligned when no voltage is applied, and shifts to horizontal alignment when a voltage is applied.
【0012】下側の基板2には少なくとも、薄膜トラン
ジスタ8からなるスイッチング素子と光反射層9と四分
の一波長板層10と画素電極11とが形成されている。
四分の一波長板層10は薄膜トランジスタ8や光反射層
9の上方に成膜されており、且つ薄膜トランジスタ8に
連通するコンタクトホールが設けられている。画素電極
11はこの四分の一波長板層10の上にパタニングされ
ている。従って、画素電極11と対向電極6との間でゲ
ストホスト液晶3に充分な電界を印加することが可能で
ある。この画素電極11は四分の一波長板層10に開口
したコンタクトホールを介して薄膜トランジスタ8に電
気接続している。On the lower substrate 2, at least a switching element comprising a thin film transistor 8, a light reflection layer 9, a quarter-wave plate layer 10, and a pixel electrode 11 are formed.
The quarter wavelength plate layer 10 is formed above the thin film transistor 8 and the light reflection layer 9, and has a contact hole communicating with the thin film transistor 8. The pixel electrode 11 is patterned on the quarter-wave plate layer 10. Therefore, it is possible to apply a sufficient electric field to the guest host liquid crystal 3 between the pixel electrode 11 and the counter electrode 6. The pixel electrode 11 is electrically connected to the thin film transistor 8 via a contact hole opened in the quarter-wave plate layer 10.
【0013】特徴事項として、下側の基板2には個々の
画素電極11の境界に沿って遮光性のブラックマトリク
スBMが形成されている。一方、光反射層9は樹脂膜9
aと金属膜9bの積層構造を有している。樹脂膜9aは
凹凸が形成され且つ遮光性を有する。金属膜9bは画素
電極11と整合した形状で樹脂膜9aの上に成膜されて
いる。本実施形態では、上述したブラックマトリクスB
Mは遮光性を有する樹脂膜9aの一部を利用して形成さ
れている。樹脂膜9aは例えば黒色の顔料又は染料を添
加した感光性の樹脂膜である。なお、光反射層9と四分
の一波長板層10との間に凹凸を埋める平坦化層14が
介在している。この平坦化層14は個々の画素電極11
に対応して着色されており、カラーフィルタとして機能
する。以上の様に、本発明は画素電極11や薄膜トラン
ジスタ8が形成された下側の基板2側にブラックマトリ
クスBMやカラーフィルタを集積形成した所謂オンチッ
プ構造を採用している。As a characteristic feature, a light-shielding black matrix BM is formed on the lower substrate 2 along boundaries of the individual pixel electrodes 11. On the other hand, the light reflection layer 9 is a resin film 9
a and a metal film 9b. The resin film 9a has irregularities and has a light shielding property. The metal film 9b is formed on the resin film 9a in a shape matching the pixel electrode 11. In the present embodiment, the above-described black matrix B
M is formed using a part of the resin film 9a having a light shielding property. The resin film 9a is, for example, a photosensitive resin film to which a black pigment or dye is added. It should be noted that a flattening layer 14 for filling irregularities is interposed between the light reflecting layer 9 and the quarter-wave plate layer 10. The flattening layer 14 is formed on each pixel electrode 11
And functions as a color filter. As described above, the present invention employs a so-called on-chip structure in which a black matrix BM and a color filter are integrated on the lower substrate 2 side on which the pixel electrodes 11 and the thin film transistors 8 are formed.
【0014】本発明では、散乱性を有する光反射層9を
構成する凹凸樹脂膜9a自体を黒色にして遮光性を付与
している。この黒色樹脂膜9aの一部をブラックマトリ
クスBMに利用することで、ブラックマトリクスのオン
チップ構造を実現している。黒色樹脂膜9aの表面にア
ルミニウムなどからなる反射性の金属膜9bが形成され
ている。この金属膜9bは上層に位置する画素電極11
と同一パタンで形成されている。従って、画素電極11
によって規定される開口内では、黒色の樹脂膜9aは完
全に金属膜9bで被覆されており、外部から視認するこ
とはできない。換言すると、開口内では凹凸の付与され
た金属膜9bが観察されるだけである。(A)に示す様
に、黒色樹脂膜9aの一部は画素電極11間にも延設さ
れている。この部分には金属膜9bが形成されていな
い。従って、隣り合う画素電極11の間では黒色樹脂膜
9aが視認できる構造となっており、(B)に示す様に
これがブラックマトリクスBMとなる。即ち、ブラック
マトリクスBMは画素電極11を囲む様に格子状に形成
されている。ブラックマトリクスBMの幅は金属膜9b
のパタンによって規定されており、正確に制御できる。
換言すると、ブラックマトリクスBMのパタン精度は金
属膜9bのパタン精度によって決まり、黒色樹脂膜9a
のパタン精度には全く依存していない。この様に、本発
明では実質上、金属膜9bのパタン精度によって画素の
開口率が規定される。なお、(B)に示す様に、格子状
に形成されたブラックマトリクスBMの下方にはゲート
配線16xと信号配線21yが形成されている。樹脂膜
9aはフォトレジストなどの感光性を有する樹脂膜から
なり、黒色を呈する。フォトレジストはネガタイプ、ポ
ジタイプのどちらでも構わない。フォトレジストを黒色
にする為には、例えばあらかじめ黒色の染料又は顔料を
フォトレジスト材料に添加する。あるいは、透明なフォ
トレジストを所定の形状にパタニングした後、染料など
によって黒色に染色してもよい。場合によっては、透明
なフォトレジストを所定の形状にパタニングした後、熱
処理を加えて黒色にしてもよい。又、平坦化層14は個
々の画素電極11に対応して着色されており、RGB又
はYMCのカラーフィルタとして機能する。カラーフィ
ルタもオンチップ構造となる為、画素の開口率の低下を
招くことはない。カラーフィルタは染色法により形成す
ることができる。あるいは、印刷法を採用してもよい。
更には、顔料又は染料を分散したフォトレジストを使用
して形成することも可能である。ブラックマトリクス及
びカラーフィルタをオンチップにて下側の基板上に形成
することにより、上側の基板1には対向電極6を形成す
るだけでよくなり、上下一対の基板1,2の重ね合わせ
精度を考慮する必要がなくなる。In the present invention, the uneven resin film 9a constituting the light-reflective layer 9 having a scattering property is made black to provide a light-shielding property. By using a part of the black resin film 9a for the black matrix BM, an on-chip structure of the black matrix is realized. A reflective metal film 9b made of aluminum or the like is formed on the surface of the black resin film 9a. This metal film 9b is formed on the pixel electrode 11 located on the upper layer.
And the same pattern. Therefore, the pixel electrode 11
In the opening defined by, the black resin film 9a is completely covered with the metal film 9b and cannot be visually recognized from the outside. In other words, only the metal film 9b with the unevenness is observed in the opening. As shown in FIG. 1A, a part of the black resin film 9a also extends between the pixel electrodes 11. The metal film 9b is not formed in this portion. Therefore, the black resin film 9a has a structure in which the black resin film 9a can be visually recognized between the adjacent pixel electrodes 11, and this becomes the black matrix BM as shown in FIG. That is, the black matrix BM is formed in a lattice shape so as to surround the pixel electrode 11. The width of the black matrix BM is the metal film 9b.
And it can be controlled accurately.
In other words, the pattern accuracy of the black matrix BM is determined by the pattern accuracy of the metal film 9b, and the black resin film 9a
Does not depend at all on the pattern accuracy of As described above, in the present invention, the aperture ratio of the pixel is substantially determined by the pattern accuracy of the metal film 9b. As shown in (B), a gate wiring 16x and a signal wiring 21y are formed below a black matrix BM formed in a lattice shape. The resin film 9a is made of a photosensitive resin film such as a photoresist, and has a black color. The photoresist may be either a negative type or a positive type. To make the photoresist black, for example, a black dye or pigment is added to the photoresist material in advance. Alternatively, after a transparent photoresist is patterned into a predetermined shape, the photoresist may be dyed black with a dye or the like. In some cases, after a transparent photoresist is patterned into a predetermined shape, heat treatment may be applied to make the photoresist black. The flattening layer 14 is colored corresponding to each pixel electrode 11, and functions as an RGB or YMC color filter. Since the color filter also has an on-chip structure, the aperture ratio of the pixel does not decrease. The color filter can be formed by a dyeing method. Alternatively, a printing method may be employed.
Further, it can be formed using a photoresist in which a pigment or a dye is dispersed. By forming the black matrix and the color filter on the lower substrate on-chip, it is only necessary to form the counter electrode 6 on the upper substrate 1, and the accuracy of superposition of the pair of upper and lower substrates 1 and 2 is improved. There is no need to consider.
【0015】引き続き図1を参照して、個々の要素につ
いて具体的な説明を加える。本実施形態では、四分の一
波長板層10は一軸配向した高分子液晶膜で構成されて
いる。この高分子液晶膜を一軸配向する為一般には下地
配向層(図示せず)が用いられている。薄膜トランジス
タ8及び光反射層9の凹凸を埋める為平坦化層14が介
在しており、上述した下地配向層はこの平坦化層14の
上に形成される。そして、四分の一波長板層10もこの
平坦化層14の表面に成膜されている。この場合、画素
電極11は四分の一波長板層10及び平坦化層14に設
けたコンタクトホールや中間電極12aを介して薄膜ト
ランジスタ8に接続することになる。光反射層9は個々
の画素電極11に対応して細分化されている。個々に細
分化された部分は対応する画素電極11と同電位に接続
されている。係る構成により、光反射層9と画素電極1
1との間に介在する四分の一波長板層10や平坦化層1
4に不要な電界が加わることがない。光反射層9は図示
する様に散乱性の反射面を備えており、入射光の鏡面反
射を防止して画質の改善を図っている。薄膜トランジス
タ8はボトムゲート構造を有しており、下から順にゲー
ト電極16、2層のゲート絶縁膜17a,17b、半導
体薄膜18を重ねた積層構造を有している。半導体薄膜
18は例えば多結晶シリコンからなり、ゲート電極16
と整合するチャネル領域は上側からストッパ19により
保護されている。なお、本実施形態では薄膜トランジス
タ8は2本のゲート電極16を用いたダブルゲート構造
となっているが、これに代えてシングルゲート構造を採
用してもよい。係る構成を有するボトムゲート型の薄膜
トランジスタ8は2層の層間絶縁膜20a,20bによ
り被覆されている。層間絶縁膜20a,20bには一対
のコンタクトホールが開口しており、これらを介してソ
ース電極21及びドレイン電極22が薄膜トランジスタ
8に電気接続している。ソース電極21は前述した信号
配線21yの一部を構成している。ドレイン電極22は
光反射層9と同電位になっている。画素電極11は中間
電極12a及び光反射層9を介してドレイン電極22と
電気接続している。一方、ソース電極21には信号配線
21yを介して信号電圧が供給される。なお、本実施形
態では薄膜トランジスタ8と同一の層構造で補助容量C
sも形成されている。With continued reference to FIG. 1, a specific description will be given for each element. In the present embodiment, the quarter-wave plate layer 10 is composed of a uniaxially oriented polymer liquid crystal film. In general, a base alignment layer (not shown) is used to uniaxially align the polymer liquid crystal film. A flattening layer 14 is interposed to fill the unevenness of the thin film transistor 8 and the light reflecting layer 9, and the above-described underlying alignment layer is formed on the flattening layer 14. Then, the quarter-wave plate layer 10 is also formed on the surface of the flattening layer 14. In this case, the pixel electrode 11 is connected to the thin film transistor 8 via the contact hole provided in the quarter-wave plate layer 10 and the flattening layer 14 and the intermediate electrode 12a. The light reflection layer 9 is subdivided corresponding to each pixel electrode 11. Each of the subdivided portions is connected to the same potential as the corresponding pixel electrode 11. With such a configuration, the light reflection layer 9 and the pixel electrode 1
Quarter wave plate layer 10 or flattening layer 1
No unnecessary electric field is applied to 4. The light reflecting layer 9 is provided with a scattering reflecting surface as shown in the figure to prevent the specular reflection of the incident light and improve the image quality. The thin film transistor 8 has a bottom gate structure, and has a stacked structure in which a gate electrode 16, two layers of gate insulating films 17a and 17b, and a semiconductor thin film 18 are stacked in order from the bottom. The semiconductor thin film 18 is made of, for example, polycrystalline silicon.
The channel region which is aligned with is protected by a stopper 19 from above. In the present embodiment, the thin film transistor 8 has a double gate structure using two gate electrodes 16, but may have a single gate structure instead. The bottom gate type thin film transistor 8 having such a configuration is covered with two interlayer insulating films 20a and 20b. A pair of contact holes are opened in the interlayer insulating films 20a and 20b, and a source electrode 21 and a drain electrode 22 are electrically connected to the thin film transistor 8 through these. The source electrode 21 forms a part of the signal wiring 21y described above. The drain electrode 22 has the same potential as the light reflection layer 9. The pixel electrode 11 is electrically connected to the drain electrode 22 via the intermediate electrode 12a and the light reflection layer 9. On the other hand, a signal voltage is supplied to the source electrode 21 via the signal wiring 21y. In this embodiment, the auxiliary capacitor C has the same layer structure as the thin film transistor 8.
s is also formed.
【0016】次に、図2〜図5の工程図を参照して、本
発明に係る反射型ゲストホスト液晶表示装置の製造方法
を具体的に説明する。なお、理解を容易にする為、ここ
では図1に示した構造をより簡略化した形で製造方法を
説明する。まず図2の工程(A1)に示す様に、絶縁性
の基板2の表面に薄膜トランジスタ8を集積形成する。
具体的には、基板2の表面に高融点金属膜を成膜した後
所定の形状にパタニングしてゲート電極16に加工す
る。このゲート電極16を被覆する様にCVDなどで酸
化シリコンや窒化シリコンを堆積し、ゲート絶縁膜17
とする。更にその上にCVDなどで多結晶シリコンなど
からなる半導体薄膜18を成膜する。この半導体薄膜1
8を薄膜トランジスタ8の素子領域の形状に合わせて島
状にパタニングする。半導体薄膜18の上にゲート電極
16と整合して酸化シリコンなどからなるストッパ19
をパタニング形成する。このストッパ19をマスクとし
てイオンドーピングあるいはイオンインプラテーション
により不純物を半導体薄膜18に注入する。これによ
り、ボトムゲート構造の薄膜トランジスタ8が得られ
る。なお、本発明はこれに限られるものではなく、スイ
ッチング素子としてボトムゲート構造の薄膜トランジス
タに代えトップゲート構造の薄膜トランジスタを用いて
もよい。あるいは、薄膜トランジスタ(TFT)に代え
てMIMなどの2端子素子を用いてもよい。薄膜トラン
ジスタ8を被覆する様にPGSなどを堆積し層間絶縁膜
20とする。この層間絶縁膜20にコンタクトホールを
開口した後、アルミニウムなどを全面的に成膜する。こ
れを所定の形状にパタニングして、ソース電極21及び
信号配線に加工する。図示する様に、ソース電極21は
コンタクトホールを介して薄膜トランジスタ8のソース
領域に電気接続する。Next, a method for manufacturing the reflection type guest-host liquid crystal display device according to the present invention will be specifically described with reference to the process charts of FIGS. Here, for ease of understanding, the manufacturing method will be described here in a more simplified form of the structure shown in FIG. First, as shown in a step (A1) of FIG. 2, a thin film transistor 8 is integratedly formed on the surface of the insulating substrate 2.
Specifically, a refractory metal film is formed on the surface of the substrate 2 and then patterned into a predetermined shape to process the gate electrode 16. Silicon oxide or silicon nitride is deposited by CVD or the like so as to cover the gate electrode 16, and a gate insulating film 17 is formed.
And Further, a semiconductor thin film 18 made of polycrystalline silicon or the like is formed thereon by CVD or the like. This semiconductor thin film 1
8 is patterned in an island shape according to the shape of the element region of the thin film transistor 8. A stopper 19 made of silicon oxide or the like on the semiconductor thin film 18 in alignment with the gate electrode 16.
Is formed by patterning. Using the stopper 19 as a mask, impurities are implanted into the semiconductor thin film 18 by ion doping or ion implantation. Thus, a thin film transistor 8 having a bottom gate structure is obtained. Note that the present invention is not limited to this, and a thin film transistor having a top gate structure may be used instead of a thin film transistor having a bottom gate structure as a switching element. Alternatively, a two-terminal element such as a MIM may be used instead of a thin film transistor (TFT). PGS or the like is deposited so as to cover the thin film transistor 8 to form an interlayer insulating film 20. After opening a contact hole in the interlayer insulating film 20, aluminum or the like is entirely formed. This is patterned into a predetermined shape and processed into the source electrode 21 and the signal wiring. As shown, the source electrode 21 is electrically connected to the source region of the thin film transistor 8 via a contact hole.
【0017】工程(A2)に進み、層間絶縁膜20の表
面に光感光性の樹脂膜9aを全面的に塗布する。光感光
性の樹脂膜19aとしては例えばフォトレジストを用い
ることができる。このフォトレジストにはあらかじめ黒
色の顔料又は染料が添加されており、遮光性が付与され
ている。工程(A3)に進み、所定のマスクを介してフ
ォトレジストを露光処理し、樹脂膜9aを例えば離散的
な円柱状にパタニング加工する。この際、ブラックマト
リクスBMとして機能する部分にも樹脂膜9aを残して
おく。工程(A4)に進み、絶縁基板2を加熱処理して
樹脂膜9aのリフローを行なう。このリフローによりフ
ォトレジストの円柱形状はなだらかに変形し、所望の凹
凸形状が得られる。In step (A2), a photosensitive resin film 9a is applied to the entire surface of the interlayer insulating film 20. As the photosensitive resin film 19a, for example, a photoresist can be used. A black pigment or dye is added to this photoresist in advance, so that light-shielding properties are imparted. In step (A3), the photoresist is exposed through a predetermined mask, and the resin film 9a is patterned into, for example, a discrete columnar shape. At this time, the resin film 9a is also left in a portion functioning as the black matrix BM. Proceeding to the step (A4), the insulating substrate 2 is subjected to a heat treatment to reflow the resin film 9a. By this reflow, the cylindrical shape of the photoresist is gently deformed, and a desired uneven shape is obtained.
【0018】図3の工程(B)に進み、樹脂膜9aの凹
凸面に所望の膜厚で良好な反射率を有するアルミニウム
などの金属膜9bを真空蒸着などにより形成する。凹凸
の深さ寸法を数μmに設定することで、良好な光散乱特
性が得られ金属膜9bは白色を呈する。金属膜9bは所
定の形状にパタニングされ、画素電極に整合した光反射
層9が得られる。この時同時に、ソース電極21を含む
信号配線の上から金属膜9bが除去されており、ブラッ
クマトリクスBMが形成される。更に、薄膜トランジス
タ8のドレイン電極22も同時に金属膜9bで形成され
る。図から明らかな様に、金属膜9bはドレイン電極2
2と同電位である。Proceeding to step (B) in FIG. 3, a metal film 9b of aluminum or the like having a desired film thickness and good reflectance is formed on the uneven surface of the resin film 9a by vacuum evaporation or the like. By setting the depth dimension of the unevenness to several μm, good light scattering characteristics can be obtained, and the metal film 9b exhibits white. The metal film 9b is patterned into a predetermined shape, and the light reflection layer 9 matched with the pixel electrode is obtained. At this time, at the same time, the metal film 9b is removed from above the signal wiring including the source electrode 21, and the black matrix BM is formed. Further, the drain electrode 22 of the thin film transistor 8 is formed simultaneously with the metal film 9b. As is apparent from the figure, the metal film 9b is formed on the drain electrode 2
2 and the same potential.
【0019】工程(C)に進み、光反射層9の上に平坦
化層14を形成して凹凸を埋める。本実施例では平坦化
層14はRGBに着色したフォトレジストを用いてい
る。まず、R(赤)に着色したフォトレジストをスピン
コートで塗布し凹凸を埋める。これを光反射層9に整合
してパタニングすることで、赤色のカラーフィルタを形
成している。G(緑)及びB(青)のフォトレジストを
用いて同様の加工を繰り返し、RGBカラーフィルタを
設ける。この後、四分の一波長板層を形成する処理に進
む。まず、平坦化層14の上に下地配向層13を形成し
た後、その上に高分子液晶を塗工して一軸配向させるこ
とにより四分の一波長板層を形成する。この際、平坦化
層14を介在させることで下地配向層13の成膜及びラ
ビング処理が安定に行なえる。下地配向層13は例えば
ポリイミドフィルムからなり、所定の配向方向に沿って
ラビング処理が施される。場合によっては平坦化層14
の表面を直接ラビングしてもよい。Proceeding to the step (C), a flattening layer 14 is formed on the light reflecting layer 9 to fill the irregularities. In the present embodiment, a photoresist colored in RGB is used for the planarization layer 14. First, a photoresist colored R (red) is applied by spin coating to fill in irregularities. This is matched with the light reflection layer 9 and patterned to form a red color filter. Similar processing is repeated using G (green) and B (blue) photoresists to provide RGB color filters. Thereafter, the process proceeds to the formation of a quarter-wave plate layer. First, the base alignment layer 13 is formed on the flattening layer 14, and then a polymer liquid crystal is applied thereon and is uniaxially aligned to form a quarter-wave plate layer. At this time, the interposition of the planarizing layer 14 enables stable formation of the base alignment layer 13 and rubbing. The base alignment layer 13 is made of, for example, a polyimide film, and is subjected to rubbing along a predetermined alignment direction. In some cases, the planarization layer 14
May be directly rubbed.
【0020】次に工程(D)に進み、上述した下地配向
層13の上に実際に四分の一波長板層10を形成する。
具体的には、高分子液晶を所定の膜厚で下地配向層13
の上に塗工する。この高分子液晶は所定の転位点を境に
して高温側のネマティック液晶相と低温側のガラス固体
相との間を相転位可能な材料である。例えば、この高分
子液晶は室温でガラス状態であり、好ましくは100℃
以上に転位点を持つ主鎖型又は側鎖型である。この高分
子液晶は光学的には可視領域に吸収のない透明物質であ
る。この高分子液晶を有機溶媒(例えばシクロヘキサン
とn−ブタノンの混合溶液)に溶解させた後、スピンコ
ーティングによって下地配向層13の表面に塗布する。
スピンコーティングを行なう場合、溶液の濃度やスピン
回転数などの条件を適宜設定して、形成される薄膜の膜
厚が可視光領域でλ/4の位相差を生じさせる様にす
る。なお、λは入射光の波長である。この後温度処理を
行ない、基板2を一旦転位点以上に加熱した後転位点以
下の室温まで除冷し、成膜された高分子液晶を配向方向
に整列させて四分の一波長板層10を形成する。例えば
100℃以上の転位点を有し高分子の主鎖又は側鎖に液
晶分子を導入した高分子液晶材料に対して加熱及び冷却
を行なう。成膜段階では高分子液晶に含まれる液晶分子
はランダムな状態にあるのに対し、除冷後では液晶分子
は配向方向に沿って整列し、所望の一軸光学異方性が得
られる。具体的には、高分子液晶を成膜した基板2をあ
らかじめネマティック相温度又はイソトロピック相温度
に設定されたオーブンに投入して加熱する。その後除冷
して室温まで戻す。これによってコーティングされた高
分子液晶があらかじめ配向処理しておいた下地配向層1
3の配向方向に整列する。Next, the process proceeds to step (D), and the quarter-wave plate layer 10 is actually formed on the under orientation layer 13 described above.
Specifically, the polymer liquid crystal is coated with a predetermined thickness to form the base alignment layer 13.
Apply on top. This polymer liquid crystal is a material capable of phase transition between a high temperature side nematic liquid crystal phase and a low temperature side glass solid phase at a predetermined dislocation point. For example, this polymer liquid crystal is in a glassy state at room temperature, and is preferably 100 ° C.
As described above, it is a main chain type or a side chain type having a dislocation point. This polymer liquid crystal is a transparent substance that does not optically absorb in the visible region. This polymer liquid crystal is dissolved in an organic solvent (for example, a mixed solution of cyclohexane and n-butanone), and then applied to the surface of the base alignment layer 13 by spin coating.
When spin coating is performed, conditions such as the concentration of the solution and the number of spin rotations are appropriately set so that the thickness of the formed thin film causes a phase difference of λ / 4 in the visible light region. Here, λ is the wavelength of the incident light. Thereafter, a temperature treatment is performed to heat the substrate 2 once to a temperature equal to or higher than the dislocation point, and then to cool the substrate 2 to a room temperature equal to or lower than the dislocation point. To form For example, heating and cooling are performed on a polymer liquid crystal material having a dislocation point of 100 ° C. or higher and liquid crystal molecules introduced into the main chain or side chain of the polymer. In the film formation stage, the liquid crystal molecules contained in the polymer liquid crystal are in a random state, but after cooling, the liquid crystal molecules are aligned along the alignment direction, and a desired uniaxial optical anisotropy can be obtained. Specifically, the substrate 2 on which the polymer liquid crystal has been formed is put into an oven set to a nematic phase temperature or an isotropic phase temperature in advance and heated. Then, it is cooled down and returned to room temperature. The base alignment layer 1 in which the polymer liquid crystal coated in this way has been subjected to an alignment treatment in advance.
3 are aligned.
【0021】次に図4に示す様に、四分の一波長板層1
0、下地配向層13及び平坦化層14の積層に対して下
方の薄膜トランジスタ8のドレイン電極22に連通する
コンタクトホールを開口する。まず工程(E)で四分の
一波長板層10の表面に感光膜10aを全面的に塗工す
る。工程(F)に進み感光膜10aの露光処理を行な
う。例えば、マスク10bを介して感光膜10aを露光
することにより、光の照射を受けた部分が硬化する一
方、光の照射を受けなかった部分が未硬化で残される。
本実施例では、水溶性の感光膜10aを用いている。工
程(G)に進み、純水などを用いて現像処理を行ない、
感光膜10aから未硬化の部分を除去する。この様なフ
ォトリソグラフィ工程により感光膜10aは所望の形状
にパタニングされる。即ち、図示する様にドレイン電極
22と整合する様に感光膜10aに窓10cが開けられ
る。工程(H)に進み、パタニングされた感光膜をマス
クとして四分の一波長板層10、下地配向層13及び平
坦化層14をエッチングしコンタクトホールを開口す
る。このエッチング工程はドライエッチング方式を採用
することができる。Next, as shown in FIG.
A contact hole communicating with the drain electrode 22 of the thin film transistor 8 below the stack of the base alignment layer 13 and the planarization layer 14 is opened. First, in step (E), a photosensitive film 10a is applied to the entire surface of the quarter-wave plate layer 10. Proceeding to step (F), exposure processing of the photosensitive film 10a is performed. For example, by exposing the photosensitive film 10a through the mask 10b, a portion irradiated with light is cured, while a portion not irradiated with light is left uncured.
In this embodiment, a water-soluble photosensitive film 10a is used. Proceeding to step (G), a development process is performed using pure water or the like,
An uncured portion is removed from the photosensitive film 10a. By such a photolithography process, the photosensitive film 10a is patterned into a desired shape. That is, a window 10c is opened in the photosensitive film 10a so as to be aligned with the drain electrode 22 as shown. In step (H), the quarter-wave plate layer 10, the underlying alignment layer 13, and the planarizing layer 14 are etched using the patterned photosensitive film as a mask to form contact holes. This etching step can employ a dry etching method.
【0022】図5の工程(I)に進み、四分の一波長板
層10の上にコンタクトホール12を介して薄膜トラン
ジスタ8のドレイン電極22と接続する様に画素電極1
1を形成する。例えば、ITOなどからなる透明導電膜
をスパッタリングで成膜した後、エッチングにより所定
の形状にパタニングすることで画素電極11を形成でき
る。図から明らかな様に、互いに隣り合う画素電極11
の境界には下地のブラックマトリクスBMが整合してい
る。工程(J)に進み、画素電極11を被覆する様に配
向層15を形成する。例えば垂直配向用のポリイミドフ
ィルムを成膜することで所望の配向層15が得られる。
最後に工程(K)で、あらかじめ対向電極6及び配向層
7が形成された透明基板1を所定の間隙を介して絶縁基
板2に接合する。両基板1,2の間隙にゲストホスト液
晶3を注入すれば、反射型ゲストホスト液晶表示装置の
完成となる。なお、ゲストホスト液晶3はホストなるネ
マティック液晶4にゲストとなる二色性色素5を添加し
たものである。Proceeding to the step (I) of FIG. 5, the pixel electrode 1 is connected to the drain electrode 22 of the thin film transistor 8 via the contact hole 12 on the quarter-wave plate layer 10.
Form one. For example, the pixel electrode 11 can be formed by forming a transparent conductive film made of ITO or the like by sputtering and then patterning it into a predetermined shape by etching. As is clear from the figure, the pixel electrodes 11 adjacent to each other
Is aligned with the underlying black matrix BM. Proceeding to the step (J), the alignment layer 15 is formed so as to cover the pixel electrode 11. For example, a desired alignment layer 15 can be obtained by forming a polyimide film for vertical alignment.
Finally, in a step (K), the transparent substrate 1 on which the counter electrode 6 and the alignment layer 7 are formed in advance is bonded to the insulating substrate 2 via a predetermined gap. When the guest host liquid crystal 3 is injected into the gap between the two substrates 1 and 2, the reflection type guest host liquid crystal display device is completed. The guest-host liquid crystal 3 is obtained by adding a dichroic dye 5 serving as a guest to a nematic liquid crystal 4 serving as a host.
【0023】[0023]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
四分の一波長板層、光反射層、画素電極、薄膜トランジ
スタなどを絶縁基板に集積した反射型ゲストホスト液晶
表示装置において、各画素間のブラックマトリクスを絶
縁基板上に形成することにより、開口率を減少させるこ
となくコントラストを向上させることが可能になった。
特に、光反射層の下地をなす凹凸樹脂膜に黒色顔料又は
染料を添加したフォトレジストを用いることにより、開
口率を低下させず且つ工程を増やすことなく、画素間に
ブラックマトリクスを形成することが可能となり、表示
コントラストが顕著に改善できる。更には、ブラックマ
トリクスばかりでなく平坦化層を利用してカラーフィル
タを絶縁基板上に形成することにより、対向基板には対
向電極のみを形成するだけでよくなり、両基板の重ね合
わせ精度を考慮する必要がなくなり、その分画素開口率
を改善できる。As described above, according to the present invention,
In a reflective guest-host liquid crystal display device in which a quarter-wave plate layer, a light reflection layer, a pixel electrode, a thin film transistor, and the like are integrated on an insulating substrate, an aperture ratio is formed by forming a black matrix between pixels on the insulating substrate. It has become possible to improve the contrast without reducing.
In particular, by using a photoresist in which a black pigment or a dye is added to an uneven resin film serving as a base of a light reflection layer, a black matrix can be formed between pixels without reducing the aperture ratio and increasing the number of steps. And display contrast can be significantly improved. Furthermore, by forming a color filter on an insulating substrate using not only a black matrix but also a flattening layer, only the counter electrode needs to be formed on the counter substrate, and the overlay accuracy of both substrates is considered. The pixel aperture ratio can be improved accordingly.
【図1】本発明に係る反射型ゲストホスト液晶表示装置
の基本的な構成を示す断面図及び平面図である。FIG. 1 is a sectional view and a plan view showing a basic configuration of a reflection type guest-host liquid crystal display device according to the present invention.
【図2】本発明に係る反射型ゲストホスト液晶表示装置
の製造方法を示す工程図である。FIG. 2 is a process diagram showing a method for manufacturing a reflective guest-host liquid crystal display device according to the present invention.
【図3】本発明に係る反射型ゲストホスト液晶表示装置
の製造方法を示す工程図である。FIG. 3 is a process diagram illustrating a method for manufacturing a reflective guest-host liquid crystal display device according to the present invention.
【図4】本発明に係る反射型ゲストホスト液晶表示装置
の製造方法を示す工程図である。FIG. 4 is a process diagram showing a method for manufacturing a reflective guest-host liquid crystal display device according to the present invention.
【図5】本発明に係る反射型ゲストホスト液晶表示装置
の製造方法を示す工程図である。FIG. 5 is a process diagram showing a method for manufacturing a reflective guest-host liquid crystal display device according to the present invention.
【図6】従来の反射型ゲストホスト液晶表示装置の一例
を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an example of a conventional reflective guest-host liquid crystal display device.
【図7】従来の反射型ゲストホスト液晶表示装置の他の
例を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating another example of a conventional reflective guest-host liquid crystal display device.
1・・・基板、2・・・基板、3・・・ゲストホスト液
晶、6・・・対向電極、8・・・薄膜トランジスタ、9
・・・光反射層、9a・・・樹脂膜、9b・・・金属
膜、10・・・四分の一波長板層、11・・・画素電
極、14・・・平坦化層、BM・・・ブラックマトリク
スDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate, 2 ... Substrate, 3 ... Guest-host liquid crystal, 6 ... Counter electrode, 8 ... Thin-film transistor, 9
... light reflection layer, 9a ... resin film, 9b ... metal film, 10 ... quarter-wave plate layer, 11 ... pixel electrode, 14 ... flattening layer, BM ..Black matrix
Claims (4)
の基板と、二色性色素を含有し且つ該間隙に保持された
ゲストホスト液晶とを備え、 一方の基板には少なくとも対向電極が形成されており、 他方の基板にはスイッチング素子と、光反射層と、これ
らの上方に成膜され且つスイッチング素子に連通するコ
ンタクトホールを設けた四分の一波長板層と、該四分の
一波長板層の上にパタニングされ且つ該コンタクトホー
ルを介して該スイッチング素子に接続する画素電極とが
形成された反射型ゲストホスト液晶表示装置であって、 該他方の基板には個々の画素電極の境界に沿って遮光性
のブラックマトリクスが形成されていることを特徴とす
る反射型ゲストホスト液晶表示装置。1. A semiconductor device comprising: a pair of substrates joined to each other via a predetermined gap; and a guest-host liquid crystal containing a dichroic dye and held in the gap. At least one counter electrode is formed on one of the substrates. The other substrate has a switching element, a light reflecting layer, a quarter-wave plate layer formed thereon and provided with a contact hole communicating with the switching element, and A reflective guest-host liquid crystal display device in which a pixel electrode patterned on a wavelength plate layer and connected to the switching element through the contact hole is formed, and the other substrate is provided with individual pixel electrodes. A reflective guest-host liquid crystal display device, wherein a light-shielding black matrix is formed along a boundary.
光性を有する樹脂膜と、その表面に画素電極と整合した
形状で成膜された反射性の金属膜からなり、 前記ブラックマトリクスは該樹脂膜の一部を利用して形
成されていることを特徴とする請求項1記載の反射型ゲ
ストホスト液晶表示装置。2. The light reflection layer comprises a resin film having irregularities and a light-shielding property, and a reflective metal film formed on a surface thereof in a shape matching a pixel electrode. 2. The reflection-type guest-host liquid crystal display device according to claim 1, wherein the reflection-type guest-host liquid crystal display device is formed using a part of the resin film.
した感光性の樹脂膜であることを特徴とする請求項2記
載の反射型ゲストホスト液晶表示装置。3. The reflection-type guest-host liquid crystal display device according to claim 2, wherein the resin film is a photosensitive resin film to which a black pigment or dye is added.
の間に凹凸を埋める平坦化層が介在しており、該平坦化
層は個々の画素電極に対応して着色されておりカラーフ
ィルタとして機能することを特徴とする請求項2記載の
反射型ゲストホスト液晶表示装置。4. A flattening layer for filling unevenness is interposed between the light reflecting layer and the quarter-wave plate layer, and the flattening layer is colored corresponding to each pixel electrode. 3. The reflective guest-host liquid crystal display device according to claim 2, wherein the reflective guest-host liquid crystal display device functions as a cage color filter.
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