JP7802817B2 - 処理装置、光学検査のための検査装置および対応する方法 - Google Patents
処理装置、光学検査のための検査装置および対応する方法Info
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Description
Claims (11)
- 試料(160)の光学検査のための検査装置(100)において使用される処理装置(130)であって、前記処理装置(130)は、
・光学検査手段(110)のカメラ(116)に通信可能に結合され、
・表示手段(122)を含むユーザインタフェース手段(120)に通信可能に結合され、
・前記ユーザインタフェース手段(120)および/または前記カメラ(116)から入力データを受信し、
・前記ユーザインタフェース手段(120)に出力データを供給し、
・ストレージ手段(180)に通信可能に結合され、データを記憶するためおよび取り出すために前記ストレージ手段(180)にアクセスする、
ように構成されており、
前記処理装置(130)は、前記ストレージ手段(180)に記憶された指示データ(190)にアクセスすることによって、前記ユーザインタフェース手段(120)を介して、ユーザ(150)によって実行される試料(160)の光学的品質検査のための指示(192)を提供し、前記指示(192)を出力データとして前記ユーザインタフェース手段(120)に供給するようにさらに構成されており、
前記指示(192)は、どの試料(160)に対してどの種類の光学的品質検査を実行するかに関する前記ユーザ(150)のための所定の指示を含み、
前記処理装置(130)は、前記ユーザインタフェース手段(120)を介して、光学的品質検査からの品質報告データ(196)および/または前記カメラ(116)によって取得された画像の画像データを入力データとして受信し、前記品質報告データ(196)および/または前記画像データを前記ストレージ手段(180)に記憶するようにさらに構成されており、
前記指示(192)は、前記表示手段(122)によって表示される少なくとも1つの所定のオーバーレイ(530)をさらに含み、これにより、前記オーバーレイ(530)が前記光学検査手段(110)によってかつ/または前記表示手段(122)を介してその時点で観察されている試料(160)に仮想的にオーバーレイされ、
前記処理装置(130)は、
その時点で観察されている試料のライブ画像(500,600)を取得するように前記カメラ(116)を制御し、
前記オーバーレイ(530)の対応するジオメトリ尺度と前記試料のライブ画像(500)との差に基づいて、合格もしくは不合格を判定するための品質特性を決定し、
前記オーバーレイ(530)が前記ライブ画像(500)に仮想的にオーバーレイされるように前記ライブ画像(500)と前記オーバーレイ(530)とを表示すべく、前記表示手段(122)を制御する、
ようにさらに構成されている、
処理装置(130)。 - 試料(160)の光学検査のための検査装置(100)であって、前記検査装置(100)は、
カメラ(116)を含む光学検査手段(110)と、表示手段(122)を含むユーザインタフェース手段(120)と、前記ユーザインタフェース手段(120)および前記カメラ(116)に通信可能に結合された、請求項1記載の処理装置(130)と、を備える、
検査装置(100)。 - 請求項2記載の検査装置(100)を使用して試料(160)の光学的品質検査をユーザに実行させる方法であって、前記方法は、
前記光学検査手段(110)を用いて試料(160)を観察するステップと、
前記表示手段(122)に表示された指示(192)に従って前記試料(160)の光学的品質検査をユーザに実行させるステップと、
実行された前記光学的品質検査に関する品質報告(194)を前記ユーザに作成させるステップと、
前記品質報告(194)を前記ストレージ手段(180)に記憶するステップおよび/または前記カメラを用いて画像を取得して前記画像を前記ストレージ手段(180)に記憶するステップと、
を含む方法。 - 前記方法は、
前記カメラ(116)および前記表示手段(122)を用いて前記試料(160)を観察するステップと、
前記表示手段(122)に表示されるオーバーレイ(530)を、観察されている前記試料と整合させるステップと、
前記オーバーレイ(530)の対応するジオメトリ尺度と前記試料もしくは前記試料のライブ画像(500)との差に基づいて、合格もしくは不合格を判定するための品質特性を決定するステップと、
をさらに含む、
請求項3記載の方法。 - カメラ(116)を含む光学検査手段(110)、表示手段(122)を含むユーザインタフェース手段(120)、処理装置(130)およびストレージ手段(180)を用意して、試料(160)の光学検査のための検査装置(100)をセットアップする方法であって、前記方法は、
前記処理装置(130)を前記ユーザインタフェース手段(120)および前記カメラ(116)に通信可能に結合するステップ(300)と、
前記処理装置(130)を前記ストレージ手段(180)に通信可能に結合するステップ(305)と、
前記処理装置(130)がデータを記憶するためおよび取り出すために前記ストレージ手段(180)にアクセスするように前記処理装置(130)を構成するステップ(310)と、
ユーザ(150)によって実行される試料(160)の光学的品質検査のための指示(192)を含む指示データ(190)を作成するステップ(330)および前記指示データ(190)を前記ストレージ手段(180)に記憶するステップであって、前記指示データ(190)を作成するステップ(330)は、どの試料(160)に対してどの種類の品質検査を実行するか、どのような品質報告を作成するかおよびどのような画像を前記試料(160)から取得するかに関する前記ユーザ(150)のための指示(192)を定義することを含むステップと、
前記処理装置(130)を、要求に応じてユーザ(150)に前記指示(192)を提供するように構成するステップ(315)と、
前記処理装置(130)を、前記指示(192)の提供中に要求に応じて品質報告データ(196)および画像データを記憶するように構成するステップ(320)と、
を含み、
前記指示データを作成するステップは、
前記光学検査手段(110)によってその時点で検査されているかつ/または前記表示手段(122)を介して観察されている試料(160)にオーバーレイ(530)が仮想的にオーバーレイされるように、前記表示手段(122)によって表示される少なくとも1つのオーバーレイ(530)を定義することをさらに含み、
前記方法は、
その時点で観察されている試料のライブ画像(500,600)を取得するように前記カメラ(116)を制御するステップと、
前記オーバーレイ(530)の対応するジオメトリ尺度と前記試料のライブ画像(500)との差に基づいて、合格もしくは不合格を判定するための品質特性を決定するステップと、
前記オーバーレイ(530)が前記ライブ画像(500)に仮想的にオーバーレイされるように前記ライブ画像(500)と前記オーバーレイ(530)とを表示すべく、前記表示手段(122)を制御するステップと、
をさらに含む、
方法。 - 前記光学検査手段(110)は、顕微鏡(112)をさらに備え、かつ/または
前記ユーザインタフェース手段(120)は、前記表示手段(122)としてのタッチディスプレイおよび/または前記表示手段(122)とは別個に設けられる入力手段(124,126)をさらに含む、
請求項5記載の方法。 - 前記ストレージ手段(180)は、フォルダベースのデータストレージおよび/またはデータベース用サーバを備える、
請求項5または6記載の方法。 - 請求項1記載の処理装置(130)が前記処理装置として使用される、請求項5から7までのいずれか1項記載の方法。
- 請求項1記載の処理装置(130)を動作させる方法であって、前記処理装置(130)は、
・光学検査手段(110)のカメラ(116)に通信可能に結合され、
・表示手段(122)を含むユーザインタフェース手段(120)に通信可能に結合され、
・前記ユーザインタフェース手段(120)および/または前記カメラ(116)から入力データを受信し、
・前記ユーザインタフェース手段(120)に出力データを供給し、
・ストレージ手段(180)に通信可能に結合され、データを記憶するためおよび取り出すために前記ストレージ手段(180)にアクセスする、
ように構成されており、
前記方法は、
前記処理装置(130)により、前記ストレージ手段(180)に記憶された指示データ(190)にアクセスすることによって、前記ユーザインタフェース手段(120)を介して、ユーザ(150)によって実行される試料(160)の光学的品質検査のための指示を提供し、前記指示(192)を出力データとして前記ユーザインタフェース手段(120)に供給することであって、前記指示(192)は、どの試料(160)に対してどの種類の品質検査を実行するかに関する前記ユーザ(150)のための所定の指示を含むステップと、
前記処理装置(130)により、前記ユーザインタフェース手段(120)を介しての前記光学的品質検査からの品質報告データ(196)および/または前記カメラ(116)によって取得された画像の画像データを入力データとして受信し、前記品質報告データ(196)および/または前記画像データを前記ストレージ手段(180)に記憶するステップと、
を含む方法。 - 前記指示は、前記表示手段(122)によって表示される少なくとも1つの所定のオーバーレイ(530)をさらに含み、これにより、前記オーバーレイ(530)は、前記光学検査手段(110)によってかつ/または前記表示手段(122)を介してその時点で観察されている試料(160)に仮想的にオーバーレイされ、前記オーバーレイ(530)は、前記試料(160)に対して特定の品質検査を実行するために前記ユーザ(150)によって使用され、
前記方法は、
前記処理装置(130)により、前記カメラ(116)を制御して、その時点で観察されている前記試料(160)のライブ画像を取得するステップと、
前記オーバーレイ(530)が前記ライブ画像(500)に仮想的にオーバーレイされるように前記ライブ画像(500)と前記オーバーレイ(530)とを表示すべく、前記表示手段(122)を制御するステップと、
をさらに含む、
請求項9記載の方法。 - 請求項1記載の処理装置(130)上で実行される際に、請求項9または10記載の方法を実行するためのプログラムコードを含む、コンピュータプログラム。
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