JP5099688B2

JP5099688B2 - 液状材料塗布装置およびそれを用いた欠陥修正装置

Info

Publication number: JP5099688B2
Application number: JP2007294383A
Authority: JP
Inventors: 昭浩山中; 昌良松島
Original assignee: NTN Corp
Current assignee: NTN Corp
Priority date: 2007-11-13
Filing date: 2007-11-13
Publication date: 2012-12-19
Anticipated expiration: 2027-11-13
Also published as: TW200932375A; TWI508789B; JP2009122259A; KR20090049527A; KR101525621B1

Description

この発明は液状材料塗布装置およびそれを用いた欠陥修正装置に関し、特に、基板上の微細領域に液状材料を塗布する液状材料塗布装置と、それを用いた欠陥修正装置に関する。より特定的には、この発明は、液晶カラーフィルタ基板の白欠陥に修正液を塗布して修正する欠陥修正装置に関する。

近年、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の大型化、高精細化に伴い画素数も増大し、ＬＣＤを無欠陥で製造することは困難となり、欠陥の発生確率も増加してきている。このような状況下において歩留まり向上のために、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を修正する欠陥修正装置が生産ラインに不可欠となってきている。

図１５（ａ）〜（ｃ）は、ＬＣＤのカラーフィルタの製造工程において発生する欠陥を示す図である。図１５（ａ）〜（ｃ）において、カラーフィルタは、透明基板と、その表面に形成されたブラックマトリクス５１と呼ばれる格子状のパターンと、複数組のＲ（赤色）画素５２、Ｇ（緑色）画素５３、およびＢ（青色）画素５４とを含む。カラーフィルタの製造工程においては、図１５（ａ）に示すように画素やブラックマトリクス５１の色が抜けてしまった白欠陥５５や、図１５（ｂ）に示すように隣の画素と色が混色したり、ブラックマトリクス５１が画素にはみ出してしまった黒欠陥５６や、図１５（ｃ）に示すように画素に異物が付着した異物欠陥５７などが発生する。

白欠陥５５を修正する方法としては、インク塗布機構により、白欠陥５５が存在する画素と同色のインクを塗布針の先端部に付着させ、塗布針の先端部に付着したインクを白欠陥５５に塗布して修正する方法がある。また、黒欠陥５６や異物欠陥５７を修正する方法としては、欠陥部分をレーザカットして矩形の白欠陥５５を形成した後、インク塗布機構により、塗布針の先端部に付着したインクをその白欠陥５５に塗布して修正する方法がある。

図１６は、従来のインク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図である。図１６において、このインク塗布機構は、インク塗布用の塗布針６１と、塗布針６１を垂直駆動させるための塗布針駆動シリンダ６２とを含む。塗布針６１は、塗布針ホルダ６４および固定ベース６５を介して塗布針駆動シリンダ６２の駆動軸６３の先端部に設けられる。

また、このインク塗布機構は、水平に設けられた回転テーブル６６を含み、回転テーブル６６上には円周方向に複数のインクタンク６７〜７０が順次配置され、さらに、回転テーブル６６上には洗浄装置７１とエアパージ装置７２とが設けられる。回転テーブル６６の中心には回転軸７３が立設されている。また、回転テーブル６６には、インク塗布時に塗布針６１を通過させるための切欠部７４が形成されている。インクタンク６７〜７０には、それぞれＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）および黒のインクが適宜注入されている。洗浄装置７１は、塗布針６１に付着したインクを除去するためのものであり、エアパージ装置７２は塗布針６１に付着した洗浄液を吹き飛ばすためのものである。

さらに、このインク塗布機構は、回転テーブル６６の回転軸７３を回転させるためのインデックス用モータ７５を含み、さらに回転軸７３とともに回転するインデックス板７６と、インデックス板７６を介して回転テーブル６６の回転位置を検出するためのインデックス用センサ７７と、インデックス板７６を介して回転テーブル６６の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ７８とが設けられる。モータ７５はセンサ７７，７８の出力に基づいて制御され、回転テーブル６６を回転させて切欠部７４、インクタンク６７〜７０、洗浄装置７１およびエアパージ装置７２のうちいずれかを塗布針６１の下方に位置させる。

次に、このインク塗布機構の動作について説明する。まず、図示しない位置決め装置により、カラーフィルタ基板の欠陥部の上方の所定位置に塗布針６１の先端が位置決めされる。次いで、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、所望のインクタンク（たとえば６７）が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１の先端部にインクが付着される。

次いで、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、切欠部７４が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１の先端部に付着したインクがカラーフィルタ基板の欠陥部に塗布される。

塗布針６１の洗浄時は、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、洗浄装置７１が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１に付着したインクが洗浄される。次いで、モータ７５によって回転テーブル６６が回転され、エアパージ装置７２が塗布針６１の下に移動される。次に、塗布針駆動シリンダ６２によって塗布針６１が上下に駆動され、塗布針６１に付着した洗浄液が吹き飛ばされる。
特開平９−２３６９３３号公報

しかし、従来のインク塗布機構では、塗布針６１が１本しか設けられておらず、修正インクの色を変えるたびに塗布針６１を洗浄していたので、修正時間が長くなるという問題があった。

それゆえに、この発明の主たる目的は、塗布時間の短縮化を図ることが可能な液状材料塗布装置とそれを用いた欠陥修正装置を提供することである。

この発明に係る液状材料塗布装置は、基板上の微細領域に液状材料を塗布する液状材料塗布装置において、微細領域を観察するための観察鏡筒と、基板と観察鏡筒との間の基板に平行な平面内で移動可能に設けられた可動板と、可動板の下面に設けられた複数の対物レンズと、可動板の下面に設けられ、各々が、塗布針の先端に付着した液状材料を微細領域に塗布するための複数の塗布ユニットと、微細領域を観察する場合は、可動板を移動させて複数の対物レンズのうちの選択された対物レンズを観察鏡筒の下に配置し、微細領域に液状材料を塗布する場合は、可動板を移動させて複数の塗布ユニットのうちの選択された塗布ユニットを観察鏡筒の下に配置する第１の駆動手段とを備えたことを特徴とする。

好ましくは、可動板は互いに直交する第１および第２の方向に移動可能に設けられ、第１の駆動手段は可動板を第１および第２の方向に移動させる。

また好ましくは、さらに、可動板の位置を検出する検出手段と、検出手段の検出結果を記憶する記憶手段とを備え、第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸を観察鏡筒の光軸に略一致させたときの可動板の第１の位置と、各塗布ユニットの塗布針の先端を観察鏡筒の光軸に略一致させたときの可動板の第２の位置とを検出手段によって検出し、その検出結果を記憶手段によって記憶しておく。第１の駆動手段は、検出手段の検出結果と記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、微細領域を観察する場合は、選択された対物レンズに対応する第１の位置に可動板を移動させ、微細領域に液状材料を塗布する場合は、選択された塗布ユニットに対応する第２の位置に可動板を移動させる。

また好ましくは、さらに、観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に液状材料を塗布すべき他の微細領域がある場合、観察中心から他の微細領域までの第１および第２の方向の距離を演算する演算手段を備え、第１の駆動手段は、演算手段の演算結果に基づいて可動板を移動させ、選択された塗布ユニットの塗布針の先端を観察中心から他の微細領域の上方に移動させる。

また好ましくは、可動板は第１の方向に移動可能に設けられ、複数の対物レンズおよび複数の塗布ユニットは可動板の下面に第１の方向に１列に配置され、第１の駆動手段は可動板を第１の方向に移動させる。

また好ましくは、さらに、可動板の第１の方向の位置を検出する第１の検出手段と、第１の検出手段の検出結果を記憶する第１の記憶手段とを備え、第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸と観察鏡筒の光軸との第１の方向の位置を略一致させたときの可動板の第１の位置と、各塗布ユニットの塗布針の先端と観察鏡筒の光軸との第１の方向の位置を略一致させたときの可動板の第２の位置とを第１の検出手段によって検出し、その検出結果を第１の記憶手段によって記憶しておく。第１の駆動手段は、第１の検出手段の検出結果と第１の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、微細領域を観察する場合は、選択された対物レンズに対応する第１の位置に可動板を移動させ、微細領域に液状材料を塗布する場合は、選択された塗布ユニットに対応する第２の位置に可動板を移動させる。

また好ましくは、さらに、観察鏡筒、可動板および第１の駆動手段を基板と平行な平面内で第１の方向と直交する第２の方向に移動させる第２の駆動手段と、可動板の第２の方向の位置を検出する第２の検出手段と、第２の検出手段の検出結果を記憶する第２の記憶手段とを備え、第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸と観察鏡筒の光軸との第１の方向の位置を略一致させるとともに第２の駆動手段によって該対物レンズの光軸と微小領域との第２の方向の位置を略一致させたときの可動板の第３の位置と、第１の駆動手段によって各塗布ユニットの塗布針の先端と観察鏡筒の光軸との第１の方向の位置を略一致させるとともに第２の駆動手段によって該塗布ユニットの塗布針の先端と微小領域との第２の方向の位置を略一致させたときの可動板の第４の位置とを第２の検出手段によって検出し、その検出結果を第２の記憶手段によって記憶しておく。第２の駆動手段は、第２の検出手段の検出結果と第２の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、微細領域を観察する場合は、選択された対物レンズに対応する第３の位置に可動板を移動させ、微細領域に液状材料を塗布する場合は、選択された塗布ユニットに対応する第４の位置に可動板を移動させる。

また好ましくは、さらに、観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に液状材料を塗布すべき他の微細領域がある場合、観察中心から他の微細領域までの第１および第２の方向の距離を演算する演算手段を備え、第１および第２の駆動手段は、演算手段の演算結果に基づいて可動板を移動させ、選択された塗布ユニットの塗布針の先端を観察中心から他の微細領域の上方に移動させる。

また好ましくは、可動板は回転可能に設けられ、複数の対物レンズおよび複数の塗布ユニットは可動板の回転軸を中心とする円に沿って１列に配置され、観察鏡筒の光軸と可動板の回転軸とは円の半径だけ離れて平行に配置され、第１の駆動手段は可動板を回転させる。

また好ましくは、さらに、可動板の回転角度を検出する第１の検出手段と、第１の検出手段の検出結果を記憶する第１の記憶手段とを備え、第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸を観察鏡筒の光軸に略一致させたときの可動板の第１の回転角度と、各塗布ユニットの塗布針の先端を観察鏡筒の光軸に略一致させたときの可動板の第２の回転角度とを第１の検出手段によって検出し、その検出結果を第１の記憶手段によって記憶しておく。第１の駆動手段は、第１の検出手段の検出結果と第１の記憶手段の記憶結果とに基づいて動作し、微細領域を観察する場合は、選択された対物レンズに対応する第１の回転角度だけ可動板を回転させ、微細領域に液状材料を塗布する場合は、選択された塗布ユニットに対応する第２の回転角度だけ可動板を回転させる。

また好ましくは、さらに、観察鏡筒、可動板および第１の駆動手段を基板に平行な方向に移動させる第２の駆動手段と、可動板の位置を検出する第２の検出手段と、第２の検出手段の検出結果を記憶する第２の記憶手段とを備え、第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸と観察鏡筒の光軸とを略一致させるとともに第２の駆動手段によって該対物レンズの光軸と微小領域とを略一致させたときの可動板の第１の位置と、第１の駆動手段によって各塗布ユニットの塗布針の先端と観察鏡筒の光軸とを略一致させるとともに第２の駆動手段によって該塗布ユニットの塗布針の先端と微小領域とを略一致させたときの可動板の第２の位置とを第２の検出手段によって検出し、その検出結果を第２の記憶手段によって記憶しておく。第２の駆動手段は、第２の検出手段の検出結果と第２の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、微細領域を観察する場合は、選択された対物レンズに対応する第１の位置に可動板を移動させて該対物レンズの光軸と微細領域とを略一致させ、微細領域に液状材料を塗布する場合は、選択された塗布ユニットに対応する第２の位置に可動板を移動させて該塗布ユニットの塗布針の先端と微細領域とを略一致させる。

また好ましくは、さらに、観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に液状材料を塗布すべき他の微細領域がある場合、観察中心から他の微細領域までの距離および方向を演算する演算手段を備え、第２の駆動手段は、演算手段の演算結果に基づいて可動板を移動させ、選択された塗布ユニットの塗布針の先端を観察中心から他の微細領域の上方に移動させる。

また好ましくは、選択された塗布ユニットは、先端に液状材料が付着した塗布針を下方に突出させ、さらに、観察鏡筒、可動板および第１の駆動手段を下降させて塗布針の先端を微細領域に接触させる第３の駆動手段を備える。

また、この発明に係る欠陥修正装置は、上記液状材料塗布装置を備え、微細領域は基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、液状材料は欠陥部を修正するための修正液であることを特徴とする。

この発明に係る液状材料塗布装置および欠陥修正装置では、基板と観察鏡筒の間の基板に平行な平面内で移動可能な可動板を設け、可動板の下面に複数の対物レンズおよび複数の塗布ユニットを設け、微細領域を観察する場合は、可動板を移動させて所望の対物レンズを観察鏡筒の下に配置し、微細領域に液状材料を塗布する場合は、可動板を移動させて所望の塗布ユニットを観察鏡筒の下に移動させる。したがって、複数の塗布ユニットにそれぞれ複数種類の液状材料を塗布させることにより、液状材料の種類を変える毎に塗布針を洗浄する必要がなくなるので、塗布時間の短縮化を図ることができる。

本願発明の実施の形態について説明する前に、本願発明の基礎となる欠陥修正装置について説明する。図１は、そのような欠陥修正装置の要部を示す図である。図１において、この欠陥修正装置は、観察鏡筒１と、倍率の異なる複数の対物レンズ２とを含む観察光学系３を備える。図示しないレボルバにより、複数の対物レンズ２のうちの所望の対物レンズ２を選択し、選択した対物レンズ２を観察鏡筒１の下に移動させることが可能となっている。観察光学系３はＺ軸テーブル４に搭載されている。修正対象の液晶カラーフィルタ基板５は、対物レンズ２に対向してＸＹテーブル（図示せず）に搭載される。ＸＹテーブルによって基板５をＸＹ方向（水平方向）に移動させ、Ｚ軸テーブル４によって観察光学系３をＺ軸方向（垂直方向）に移動させることにより、基板５表面の任意の位置に対物レンズ２の焦点を合わせて拡大して観察することが可能となっている。

Ｚ軸テーブル４には、インク塗布機構６も搭載されている。インク塗布機構６は、図２（ａ）（ｂ）に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂおよび黒用の４つの塗布ユニット７〜１０を備え、塗布ユニット７〜１０の各々は、塗布針１１、塗布針ホルダ１２、およびインク容器１３を含む。塗布ユニット７，８はＸ１テーブル１４に搭載され、塗布ユニット９，１０はＸ２テーブル１５に搭載され、図１に示すように、テーブル１４，１５はＺ軸テーブル１６に搭載され、Ｚ軸テーブル１６はＹ軸テーブル１７に搭載されている。

塗布を行なうために選択された塗布針１１を、Ｙ軸テーブル１７によって、塗布針１１が塗布を行なう欠陥位置のＹ軸方向位置と同じ位置に来るように移動させ、次いでＺ軸テーブル１６によって、選択された塗布針１１を含む塗布ユニット７〜１０のいずれかを対物レンズ２の下に挿入できるように垂直方向に下降させ、さらに、塗布針１１が塗布を行なう欠陥位置のＸ軸方向位置と同じ位置に来るように、選択された塗布針１１を含む塗布ユニット７〜１０のいずれかを搭載するＸ１テーブル１４またはＸ２テーブル１５を対物レンズ２の方向に移動させることにより、対物レンズ２と基板５の間に挿入することが可能となっている。

塗布ユニット７は、図２（ａ）（ｂ）に示すように、２本のアーム１８，１９を含む。アーム１８の先端には塗布針ホルダ１２が取り付けられ、アーム１９の先端にはインク容器１３が取り付けられ、塗布針１１はインク容器１３に挿入されている。

図３に示すように、インク容器１３の底には孔１３ａが開口され、インク２０が注入されている。孔１３ａは、インク２０が流出しないような小さな寸法に設定されている。インク容器１３の側部には保持部２１が設けられており、保持部２１にはインク容器１３をアーム１９の先端部に磁石（図示せず）を介して固定するためのインク容器固定ピン２２が設けられている。インク容器１３の開口部は蓋２３で閉じられており、蓋２３には孔２３ａが開口されている。

塗布針１１は、先端部１１ａ側の小径部１１ｂと、塗布針ホルダ１２に固着される大径部１１ｃからなる段付形状を有し、小径部１１ｂの直径はインク容器１３の孔１３ａの直径よりも若干小さく設定され、大径部１１ｃの直径は蓋２３の孔２３ａの直径よりも若干小さく設定されている。

図２（ａ）（ｂ）に戻って、アーム１９の基端部はスライド機構２４によってアーム１８の中央部に上下動可能に支持され、アーム１８の基端部はスライド機構２５によって支持台２６に上下動可能に支持されている。支持台２６の下端には、アーム１８，１９の下方への移動を制限するストッパ２７が設けられ、支持台２６にはアーム１８の基端部の下端を上下動させるシリンダ２８が搭載されている。

次に、この欠陥修正装置の動作について説明する。待機時は、シリンダ２８によってアーム１８が上限位置に保持され、アーム１９はアーム１８にぶら下がった状態になっている。このときアーム１８，１９間の上下方向の距離は最大になっており、図３に示すように、塗布針１１の先端部１１ａはインク２０に浸漬されている。

修正時は、図４に示すように、ステップＳ１において、モニタ画面（図示せず）に表示された欠陥に対して、作業者がインク２０を塗布する位置を指定する。ステップＳ２において、現在観察に用いている対物レンズ２が、塗布針１１の挿入が可能な対物レンズ２か否か、すなわち倍率が１０倍の対物レンズ２か否かを確認する。対物レンズ２の倍率が１０倍以外のたとえば２０倍である場合、ステップＳ３において、レボルバを回転させて対物レンズ２を１０倍の対物レンズ２に切換え、ステップＳ４において、レボルバによる対物レンズ２の切換えの完了を確認する。対物レンズ２の切換えを完了した場合、およびステップＳ２において対物レンズ２が１０倍のものであった場合は、ステップＳ５において、テーブル１４〜１７を駆動して、所望の塗布針１１を欠陥修正位置へ移動させる。

次に、ステップＳ６において、シリンダ２８によってアーム１８，１９を下限位置まで下降させる。このとき、アーム１９がアーム１８よりも先にストッパ２７に接触し、アーム１８，１９間の上下方向の距離が最小になり、塗布針１１の先端部１１ａがインク容器１３の孔１３ａを貫通してインク容器１３の底から突出する。突出した塗布針１１の先端部１１ａには、インク２０が付着している。次いでステップＳ７において、Ｚ軸テーブル４によって塗布針１１を下降させ、塗布針１１の先端部１１ａを基板５の欠陥部に接触させ、ステップＳ８において、基板５の欠陥部にインク２０を塗布する。ステップＳ９において、Ｚ軸テーブル１６によって塗布針１１を上昇させ、ステップＳ１０において、シリンダ２８を駆動して塗布針１１をインク容器１３内に収納する。ステップＳ６〜Ｓ１０で、１回のインク塗布が完了する。

欠陥部が複数存在する場合はインク塗布位置も複数存在するので、ステップＳ１１において、次の塗布位置があるか否かを確認し、次の塗布位置が存在する場合は、ステップＳ１２において、基板５をＸＹテーブル（図示せず）によって移動させ、再度、ステップＳ６〜Ｓ１０を実施する。この動作を繰り返すことで、全ての欠陥部分へのインク塗布が完了する。ステップＳ１１において、次の塗布位置が無いと判別した場合は、ステップＳ１３において、塗布針１１を欠陥修正位置から退避させ、ステップＳ１４において、修正を完了する。

このインク塗布機構６では、塗布するインク２０の色を変える毎に塗布針１１を洗浄する必要はないので、この洗浄時間分、修正タクトを短縮することが可能となる。しかし、塗布針１１を対物レンズ２の直下に挿入して塗布を行なうので、対物レンズ２との干渉を避けた状態で塗布針１１を挿入する必要がある。対物レンズ２は、その倍率により、ワークディスタンス（修正対象基板５の観察面から対物レンズ２の下端までの距離）が異なり、高倍率になる程ワークディスタンスは短くなる。

このインク塗布機構６では、ワークディスタンスとの関係で、対物レンズ２の倍率が１０倍以下である必要があり、たとえば、２０倍の対物レンズ２を用いて観察している状態から塗布を行なう場合、対物レンズ２を１０倍のものに切換えてから塗布針２を挿入する必要がある。対物レンズ２の交換は、対物レンズ２を回転させて交換するレボルバで行なうので、通常待機時には、対物レンズ２と塗布針１１が干渉しないように、塗布針１１を対物レンズ２の回転範囲外に配置する必要がある。この通常待機位置から、対物レンズ２の交換のためのレボルバの回転完了を待って、塗布針１１を対物レンズ２の直下に挿入し、欠陥部にインク２０を塗布することになる。

このため、対物レンズ２の交換時間と、対物レンズ２との干渉範囲外から対物レンズ２の直下まで塗布針１１を挿入する時間分は修正タクトを短縮することができない。換言すると、この時間分、修正タクトが長くなってしまう。また、図１のインク塗布機構６は、図１６に示したインク塗布機構よりも駆動軸の数が多く、装置価格が高くなるという問題もあった。本願発明は、この問題の解決を図るものである。

[実施の形態１]
図５は、この発明の実施の形態１による欠陥修正装置の全体構成を示す図である。図５において、この欠陥修正装置は、観察光学系３１、ＣＣＤカメラ３２、カット用レーザ装置３３、インク塗布機構３４、およびインク硬化用光源３５から構成される修正ヘッド部と、この修正ヘッド部を修正対象の液晶カラーフィルタ基板５に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸テーブル３６と、Ｚ軸テーブル３６を搭載してＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル３７と、基板５を搭載してＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル３８と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ３９と、ＣＣＤカメラ３２によって撮影された画像などを表示するモニタ４０と、制御用コンピュータ３９に作業者からの指令を入力するための操作パネル４１とを備える。

観察光学系３１は、基板５の表面状態や、インク塗布機構３４によって塗布された修正インク２０の状態を観察するためのものである。観察光学系３１によって観察される画像は、ＣＣＤカメラ３２により電気信号に変換され、モニタ４０に表示される。カット用レーザ装置３３は、観察光学系１を介して基板５上の不要部にレーザ光を照射して除去する。

インク塗布機構３４は、基板６に発生した白欠陥５５に修正インク２０を塗布して修正する。インク硬化用光源５は、たとえばＣＯ_２レーザを含み、インク塗布機構３４によって塗布された修正インク２０にレーザ光を照射して硬化させる。

なお、この装置構成は一例であり、たとえば、観察光学系３１などを搭載したＺ軸テーブル３６をＸ軸テーブル３７に搭載し、さらにＸ軸テーブル３７をＹ軸テーブル３８に搭載し、Ｚ軸テーブル３６をＸＹ方向に移動可能とするガントリー方式と呼ばれる構成でもよく、観察光学系３１などを搭載したＺ軸テーブル３６を、修正対象の基板５に対してＸＹ方向に相対的に移動可能な構成であればどのような構成でもよい。

図６は、観察光学系１およびインク塗布機構３４の要部を示す斜視図であり、図７（ａ）〜（ｃ）は、図６のＡ方向から要部を見た図であって、インク塗布動作を示す図である。図６および図７（ａ）〜（ｃ）において、この欠陥修正装置は、可動板４２と、倍率の異なる複数（たとえば５個）の対物レンズ２と、異なる色のインクを塗布するための複数（たとえば５個）の塗布ユニット４３とを備える。

可動板４２は、観察光学系３１の観察鏡筒３１ａの下端と基板５との間で、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に設けられている。また、可動板４２には、それぞれ５個の対物レンズ２に対応する５個の貫通孔４２ａが形成されている。５個の貫通孔４２ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。各対物レンズ２は、その光軸が対応の貫通孔４２ａの中心線に一致するようにして、可動板４２の下面に固定されている。なお、観察鏡筒３１ａの光軸および各対物レンズ２の光軸は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に垂直なＺ軸方向に配置されている。

また、５個の塗布ユニット４３は、Ｙ軸方向に所定の間隔で、可動板４２の下面に固定されている。５個の塗布ユニット４３は、それぞれ５個の対物レンズ２に隣接して配置されている。各塗布ユニット４３は、図１〜図３で示した塗布ユニット７のアーム１８，１９の水平方向の長さを短縮するとともに、シリンダ２８をアーム１８，１９の上方に配置して、装置構成を横長型から縦長型に変更したものである。これは、対物レンズ２と塗布ユニット４３の切換えを迅速に行なうためには横長型よりも縦長型の方が有利であるからである。

可動板４２は、図８に示すように、ＸＹテーブル４４に搭載されており、そのＸＹテーブル４４は図５のＺ軸テーブル３６に搭載されている。ＸＹテーブル４４は、基板５表面の欠陥を観察する場合は、可動板４２を移動させて５個の対物レンズ２のうちの選択された対物レンズ２の光軸を観察鏡筒３１ａの光軸に一致させ、欠陥に修正インク２０を塗布する場合は、可動板４２を移動させて５個の塗布ユニット４３のうちの選択された塗布ユニット４３の塗布針１１の中心軸を観察鏡筒３１ａの光軸に一致させる。

なお、各対物レンズ２は位置精度の低いネジ（図示せず）で可動板４２に固定されているので、各対物レンズ２の位置は設計された位置から微妙にずれた位置に固定されている。この対物レンズ２の微妙な位置ずれを補正するため、可動板４２をＸＹ方向に駆動するＸＹテーブル４４には、そのＸＹ座標（可動板４２の位置）を検出するスケール４４ａが組み込まれており、対物レンズ２を切換えても修正対象基板５の観察中心位置がずれないように、それぞれの対物レンズ２の位置を補正することが可能となっている。

具体的には、操作パネル４１を操作して観察鏡筒３１ａの光軸を修正対象基板５上の予め決められた位置（たとえば白欠陥５５）に配置した後、予め決められた位置が観察範囲の中心にくるように、操作パネル４１を操作して可動板４２を介して対物レンズ２を移動させ、予め決められた位置が中心に来たときのＸＹ座標を、観察鏡筒３１ａに対する対物レンズ２の移動位置として制御用コンピュータ３９に記憶する。次回からは、制御用コンピュータ３９は、観察鏡筒３１ａの光軸に対物レンズ２の光軸を一致させるように指示された場合は、スケール４４ａによって検出されるＸＹ座標が記憶したＸＹ座標に一致するようにＸＹテーブル４４を制御する。このような初期設定を５個の対物レンズ２の各々に対して行なう。

これにより、可動板４２に設ける対物レンズ取り付けネジの位置を機械的に高精度に加工および設定する必要もなく、また、機械的な機構を用いて、対物レンズ位置を補正する機構を設ける必要も無い。これは、塗布ユニット４３に対しても同様であり、観察中心位置と塗布針１１の位置が一致したときのＸＹ座標を記憶することで、観察中心位置に対してずれることなくインク２０を塗布することが可能となる。これにより、塗布ユニット４３についても機械的に補正機構を設ける必要は無い。

塗布ユニット４３を用いてインク塗布を行なう場合は、図７（ａ）に示すように、ＸＹテーブル４４によって、所望の塗布針１１を観察中心位置に移動させ、図７（ｂ）に示すように、シリンダ２８によってアーム１８，１９を下降させて塗布針１１の先端部をインク容器１３の底から突出させ、図７（ｃ）に示すように、Ｚ軸テーブル３６によって可動板４２を下降させて塗布針１１の先端を修正対象基板５表面の欠陥部に接触させ、インク２０を塗布する。

図９に示すように、モニタ４０の画面の観察範囲内に観察中心以外にも白欠陥５５が存在する場合は、観察中心から白欠陥５５までのＸ軸方向の距離およびＹ軸方向の距離を計算し、その距離分だけＸＹテーブル４４によって可動板４２をＸＹ方向に移動させ、塗布針１１を観察中心から白欠陥５５の上方に移動させて図７（ａ）〜（ｃ）で示した塗布動作を行なう。白欠陥５５と観察中心との間の距離の計算は、ＣＣＤカメラ３２によって撮影された画像に基づいて、コンピュータ３９によって行なわれる。

図１０は、この欠陥修正装置のインク塗布動作を示すフローチャートであって、図４と対比される図である。ステップＳ２１において、モニタ４０の画面に表示された欠陥に対して、作業者がインク２０を塗布する位置を指定する。塗布位置の指定が完了した後、ステップＳ２２において、可動板４２を移動させて塗布針１１を塗布位置に移動させ、ステップＳ２３において、シリンダ２８を駆動させて、インク容器１３の底から塗布針１１の先端部１１ａを突出させる。ステップＳ２４において、Ｚ軸テーブル３６を下降させて塗布針１１の先端を修正対象基板５に接触させ、ステップＳ２５において、修正対象基板５にインク２０を塗布する。

ステップＳ２６において、Ｚ軸テーブル３６を上昇させて塗布針１１を修正対象基板５の上方に移動させ、ステップＳ２７において、シリンダ２８を駆動して、塗布針１１の先端部１１ａをインク容器１３内に収納する。これで、１回のインク塗布が完了する。そして、ステップＳ２８において、次の塗布位置があるか否かを確認し、塗布位置がある場合は、ステップＳ２２〜Ｓ２７を繰り返す。ステップＳ２８において、次の塗布位置がない場合は、インク塗布が完了する。

この実施の形態１では、図７（ａ）〜（ｃ）に示したように、塗布針１１を対物レンズ２の直下に挿入する必要が無いので、現在観察している対物レンズ２の倍率に関係なく、直ちに塗布針１１を塗布位置に移動させることができる。したがって、図１に示した欠陥修正装置のように、レボルバによる対物レンズ２の回転完了を待つ必要がなく、その分、タクトタイムを短縮することができる。

また、対物レンズ２と塗布針１１の干渉が無いので、観察位置に対して塗布針１１を対物レンズ２の近傍に配置することができる。このため、塗布針１１の移動距離が短く、さらに、塗布針１１を塗布位置に移動させる際のＺ軸方向の移動がなく、ＸＹ方向のみの移動のため、この分、タクトタイムの短縮が可能である。

そして、複数の塗布位置が存在した場合の塗布針１１の移動（ステップＳ２２）を、可動板４２のＸＹ方向の移動で行なうことが可能で、装置本体の大型ＸＹテーブルで移動する従来の場合に対して、さらにタクトタイムの短縮が可能である。

以上のように、この実施の形態１によれば、図１の欠陥修正装置で課題となっていた、タクトタイムの短縮が可能となる。また、図６に示したように、対物レンズ２の交換と、塗布ユニット４３の移動を同一の駆動機構で行なうことができ、図１に示したような塗布専用の駆動機構（テーブル１４〜１７）が不要であるので、装置原価の低減も可能である。

[実施の形態２]
図１１は、この発明の実施の形態２による欠陥修正装置の要部を示す図であって、図６と対比される図である。図１１において、この欠陥修正装置が図６の欠陥修正装置と異なる点は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な可動板４２がＹ軸方向のみに移動可能な可動板４５と置換され、複数（図では３つ）の対物レンズ２と複数（図では３つ）の塗布ユニット４３がＹ軸方向に一列に所定の間隔で可動板４５の下面に配置されている点である。

可動板４５は、図１２に示すように、Ｙ軸テーブル４６によってＹ軸方向に移動され、Ｙ軸テーブル４６は図５のＺ軸テーブル３６に搭載される。このＹ軸テーブル４６は、Ｙ座標（可動板４５の位置）を検出するスケール４６ａを有する。また、可動板４５には、それぞれ３つの対物レンズ２に対応する３つの貫通孔４５ａが形成されている。３つの貫通孔４５ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔で配置されている。各対物レンズ２は、その光軸が対応の貫通孔４５ａの中心線に一致するようにして、可動板４５の下面に固定されている。

この欠陥修正装置では、観察鏡筒３１ａに対して可動板４５をＸ軸方向に移動させることはできないので、対物レンズ２や塗布ユニット４３のＸ軸方向の位置を、観察鏡筒３１ａと可動板４５の相対移動によって補正することはできない。したがって、選択された対物レンズ２を観察鏡筒３１ａの位置に移動した時、対物レンズ２の光軸が観察鏡筒３１ａの光軸からＸ軸方向にずれ、観察中心位置がＸ軸方向にずれることになる。また、塗布ユニット４３の移動においてもＸ軸方向にずれが発生し、指示された塗布位置に対して、Ｘ軸方向にずれた位置に塗布を行なうことになってしまう。しかし、この欠陥修正装置では、Ｘ軸方向の位置補正を装置本体のＸ軸テーブル３７で行なうことにより、図６に示した機構と同等の機能を得ることができるようになっている。

具体的には、操作パネル４１を操作して観察鏡筒３１ａの光軸を修正対象基板５上の予め決められた位置（たとえば白欠陥５５）に配置した後、その予め決められた位置が観察範囲の中心にくるように、操作パネル４１を操作してＹ軸テーブル４６によって可動板４５を介して対物レンズ２をＹ軸方向に移動させるとともに、Ｘ軸テーブル３７によって可動板４５を介して対物レンズ２をＸ軸方向に移動させ、予め決められた位置が観察中心に来たときにＹ軸テーブル４６のスケール４６ａで検出されたＹ座標とＸ軸テーブル３７のスケール３７ａで検出されたＸ座標とを観察鏡筒３１ａに対する対物レンズ２の移動位置として制御用コンピュータ３９に記憶する。次回からは、制御用コンピュータ３９は、観察鏡筒３１ａの光軸に対物レンズ２の光軸を一致させるように指示された場合は、スケール４６ａ，３７ａによって検出されるＹ座標およびＸ座標が記憶したＹ座標およびＸ座標に一致するようにテーブル４６，３７を制御する。このような初期設定を３つの対物レンズ２の各々に対して行なう。また、同様の設定を３つの塗布ユニット４３の各々に対して行なう。

また、図９で示したように、モニタ４０の画面の観察範囲内に観察中心以外にも白欠陥５５が存在する場合は、観察中心から白欠陥５５までのＸ軸方向の距離およびＹ軸方向の距離を計算し、そのＹ軸方向の距離分だけＹ軸テーブル４６によって可動板４５をＹ軸方向に移動させるとともに、そのＸ軸方向の距離分だけＸ軸テーブル３７によって可動板４５をＸ軸方向に移動させて塗布針１１を観察中心から白欠陥５５の上方に移動させ、図７（ａ）〜（ｃ）で示した塗布動作を行なう。白欠陥５５と観察中心との間の距離の計算は、ＣＣＤカメラ３２によって撮影された画像に基づいて、コンピュータ３９によって行なわれる。

この実施の形態２でも、実施の形態１と同じ効果が得られる。ただし、この実施の形態２では、Ｘ軸方向の移動を装置本体の大型のＸ軸テーブル３７で行なうため、タクトタイムは実施の形態１よりも長くなる。

[実施の形態３]
図１３は、この発明の実施の形態３による欠陥修正装置の要部を示す図であって、図１１と対比される図である。図１３において、この欠陥修正装置が図１１の欠陥修正装置と異なる点は、Ｙ軸方向に移動可能な可動板４５が回転板４７で置換され、複数の対物レンズ２と複数の塗布ユニット４３が回転板４７の回転軸を中心とする円に沿って一列に所定の間隔で回転板４７の下面に配置されている点である。観察鏡筒３１ａの光軸と回転板４７の回転軸とは、上記円の半径だけ離れて平行に配置されている。

回転板４７は、図１４に示すように、回転テーブル４８によって回転され、回転テーブル４８は図５のＺ軸テーブル３６に搭載される。この回転テーブル４８は、回転板４７の回転角度を検出するスケール４８ａを有する。また、回転板４７には、それぞれ複数の対物レンズ２に対応する複数の貫通孔４７ａが形成されている。複数の貫通孔４７ａは、円周方向に所定の間隔で配置されている。各対物レンズ２は、その光軸が対応の貫通孔４７ａの中心線に一致するようにして、回転板４７の下面に固定されている。回転板４７は、修正対象の基板５に対して傾斜しておらず、基板５表面に対して平行になっている。これにより、塗布ユニット４３のインク容器１３内のインク２０の液面を常に水平に保って回転させることができる。

この欠陥修正装置では、観察鏡筒３１ａに対して回転板４７をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させることはできないので、対物レンズ２や塗布ユニット４３のＸ軸方向の位置を、観察鏡筒３１ａと回転板４７の相対移動によって補正することはできない。したがって、選択された対物レンズ２を観察鏡筒３１ａの位置に移動した時、観察中心位置がＸ軸方向およびＹ軸方向にずれることになる。また、塗布ユニット４３の移動においてもＸ軸方向およびＹ軸方向にずれが発生し、指示された塗布位置に対して、Ｘ軸方向およびＹ軸方向にずれた位置に塗布を行なうことになってしまう。しかし、この欠陥修正装置では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の位置補正を装置本体のＸ軸テーブル３７およびＹ軸テーブル３８で行なうことにより、図６に示した機構と同等の機能を得ることができるように構成されている。

具体的には、操作パネル４１を操作して観察鏡筒３１ａの光軸を修正対象基板５上の予め決められた位置（たとえば白欠陥５５）に配置し、回転テーブル４８を回転させて所望の対物レンズ２を観察鏡筒３１ａの下に配置する。次に、その予め決められた位置が観察範囲の中心にくるように、操作パネル４１を操作してＸ軸テーブル３７によって回転板４７を介して対物レンズ２をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｙ軸テーブル３８によって回転板４７を介して対物レンズ２をＹ軸方向に移動させ、予め決められた位置が観察中心に来たときに、回転テーブル４８のスケール４８ａで検出された回転角度と、Ｙ軸テーブル３８のスケール３８ａで検出されたＹ座標と、Ｘ軸テーブル３７のスケール３７ａで検出されたＸ座標とを観察鏡筒３１ａに対する対物レンズ２の移動位置として制御用コンピュータ３９に記憶する。次回からは、制御用コンピュータ３９は、観察鏡筒３１ａの光軸に対物レンズ２の光軸を一致させるように指示された場合は、スケール４８ａ，３８ａ，３７ａによって検出される回転角度、Ｙ座標およびＸ座標が記憶した回転角度、Ｙ座標およびＸ座標に一致するようにテーブル４８，３８，３７を制御する。このような初期設定を３つの対物レンズ２の各々に対して行なう。また、同様の設定を３つの塗布ユニット４３の各々に対して行なう。

また、図９で示したように、モニタ４０の画面の観察範囲内に観察中心以外にも白欠陥５５が存在する場合は、観察中心から白欠陥５５までのＸ軸方向の距離およびＹ軸方向の距離を計算し、そのＸ軸方向の距離分だけＸ軸テーブル３７によって回転板４７をＸ軸方向に移動させるとともに、そのＹ軸方向の距離分だけＹ軸テーブル３８によって回転板４７をＹ軸方向に移動させ、塗布針１１を観察中心から白欠陥５５の上方に移動させて図７（ａ）〜（ｃ）で示した塗布動作を行なう。白欠陥５５と観察中心との間の距離の計算は、ＣＣＤカメラ３２によって撮影された画像に基づいて、コンピュータ３９によって行なわれる。

この実施の形態３でも、実施の形態１と同じ効果が得られる。ただし、この実施の形態３では、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の移動を装置本体の大型のＸ軸テーブル３７およびＹ軸テーブル３８で行なうため、タクトタイムは実施の形態１よりも長くなる。

なお、実施の形態２，３の欠陥修正装置では、実施の形態１の欠陥修正装置に対してタクトタイムが長くなるが、図１の欠陥修正装置よりはタクトタイムが短くなる。また、塗布駆動機構（テーブル１４〜１７）が必要ない分、装置価格の低減化が可能である。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

この発明の基礎となる欠陥修正装置の要部を示す図である。図１に示した塗布ユニットの構成を示す図である。図２に示したインク容器の構成を示す断面図である。図１〜図３に示した欠陥修正装置のインク塗布動作を示すフローチャートである。この発明の実施の形態１による欠陥修正装置の全体構成を示す図である。図５に示した欠陥修正装置の要部を示す図である。図６に示したインク塗布機構の動作を示す図である。図６に示した可動板の駆動方法を示すブロック図である。図５に示したモニタの画面に表示された基板表面の白欠陥を示す図である。図５〜図８に示した欠陥修正装置のインク塗布動作を示すフローチャートである。この発明の実施の形態２による欠陥修正装置の要部を示す図である。図１１に示した可動板の駆動方法を示すブロック図である。この発明の実施の形態３による欠陥修正装置の要部を示す図である。図１３に示した回転板の駆動方法を示すブロック図である。欠陥修正装置の修正対象である液晶カラーフィルタ基板の表面に発生した種々の欠陥を示す図である。従来のインク塗布機構を示す図である。

符号の説明

１，３１ａ観察鏡筒、２対物レンズ、３，３１観察光学系、４，１６，３６Ｚ軸テーブル、５液晶カラーフィルタ基板、６，３４インク塗布機構、７〜１０，４３塗布ユニット、１１塗布針、１１ａ先端部、１１ｂ小径部、１１ｃ大径部、１２塗布針ホルダ、１３インク容器、１３ａ孔、１４Ｘ１テーブル、１５Ｘ２テーブル、１７，３８，４６Ｙ軸テーブル、１８，１９アーム、２０インク、２１保持部、２２インク容器固定ピン、２３蓋、２３ａ孔、２４，２５スライド機構、２６支持台、２７ストッパ、２８シリンダ、３２ＣＣＤカメラ、３３カット用レーザ装置、３５インク硬化用光源、３７Ｘ軸テーブル、３７ａ，３８ａ，４４ａ，４６ａ，４８ａスケール、３９制御用コンピュータ、４０モニタ、４１操作パネル、４２，４５可動板、４２ａ，４５ａ，４７ａ貫通孔、４４ＸＹテーブル、４７回転板、４８回転テーブル、５１ブラックマトリクス、５２Ｒ画素、５３Ｇ画素、５４Ｂ画素、５５白欠陥、５６黒欠陥、５７異物欠陥、６２塗布針駆動シリンダ、６３駆動軸、６４塗布針ホルダ、６５固定ベース、６６回転テーブル、６７〜７０インクタンク、７１洗浄装置、７２エアパージ装置、７３回転軸、７４切欠部、７５モータ、７６インデックス板、７７インデックス用センサ、７８原点復帰用センサ。

Claims

基板上の微細領域に液状材料を塗布する液状材料塗布装置において、
前記微細領域を観察するための観察鏡筒と、
前記基板と前記観察鏡筒との間の前記基板に平行な平面内で移動可能に設けられた可動板と、
前記可動板の下面に設けられた複数の対物レンズと、
前記可動板の下面に設けられ、各々が、塗布針の先端に付着した前記液状材料を前記微細領域に塗布するための複数の塗布ユニットと、
前記微細領域を観察する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の対物レンズのうちの選択された対物レンズを前記観察鏡筒の下に配置し、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の塗布ユニットのうちの選択された塗布ユニットを前記観察鏡筒の下に配置する第１の駆動手段とを備え、
前記可動板は互いに直交する第１および第２の方向に移動可能に設けられ、
前記第１の駆動手段は前記可動板を前記第１および第２の方向に移動させ、
さらに、前記可動板の位置を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果を記憶する記憶手段とを備え、
前記第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第１の位置と、各塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第２の位置とを前記検出手段によって検出し、その検出結果を前記記憶手段によって記憶しておき、
前記第１の駆動手段は、前記検出手段の検出結果と前記記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第１の位置に前記可動板を移動させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第２の位置に前記可動板を移動させることを特徴とする、液状材料塗布装置。
さらに、前記観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に前記液状材料を塗布すべき他の微細領域がある場合、前記観察中心から前記他の微細領域までの前記第１および第２の方向の距離を演算する演算手段を備え、
前記第１の駆動手段は、前記演算手段の演算結果に基づいて前記可動板を移動させ、前記選択された塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察中心から前記他の微細領域の上方に移動させる、請求項１に記載の液状材料塗布装置。
前記選択された塗布ユニットは、先端に前記液状材料が付着した前記塗布針を下方に突出させ、
さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および前記第１の駆動手段を下降させて前記塗布針の先端を前記微細領域に接触させる第２の駆動手段を備えることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の液状材料塗布装置。
基板上の微細領域に液状材料を塗布する液状材料塗布装置において、
前記微細領域を観察するための観察鏡筒と、
前記基板と前記観察鏡筒との間の前記基板に平行な平面内で移動可能に設けられた可動板と、
前記可動板の下面に設けられた複数の対物レンズと、
前記可動板の下面に設けられ、各々が、塗布針の先端に付着した前記液状材料を前記微細領域に塗布するための複数の塗布ユニットと、
前記微細領域を観察する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の対物レンズのうちの選択された対物レンズを前記観察鏡筒の下に配置し、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の塗布ユニットのうちの選択された塗布ユニットを前記観察鏡筒の下に配置する第１の駆動手段とを備え、
前記可動板は第１の方向に移動可能に設けられ、
前記複数の対物レンズおよび前記複数の塗布ユニットは前記可動板の下面に前記第１の方向に１列に配置され、
前記第１の駆動手段は前記可動板を前記第１の方向に移動させ、
さらに、前記可動板の前記第１の方向の位置を検出する第１の検出手段と、
前記第１の検出手段の検出結果を記憶する第１の記憶手段とを備え、
前記第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸と前記観察鏡筒の光軸との前記第１の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第１の位置と、各塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記観察鏡筒の光軸との前記第１の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第２の位置とを前記第１の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第１の記憶手段によって記憶しておき、
前記第１の駆動手段は、前記第１の検出手段の検出結果と前記第１の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第１の位置に前記可動板を移動させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第２の位置に前記可動板を移動させることを特徴とする、液状材料塗布装置。
さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および第１の駆動手段を前記基板と平行な平面内で前記第１の方向と直交する第２の方向に移動させる第２の駆動手段と、
前記可動板の前記第２の方向の位置を検出する第２の検出手段と、
前記第２の検出手段の検出結果を記憶する第２の記憶手段とを備え、
前記第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸と前記観察鏡筒の光軸との前記第１の方向の位置を略一致させるとともに前記第２の駆動手段によって該対物レンズの光軸と前記微小領域との前記第２の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第３の位置と、前記第１の駆動手段によって各塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記観察鏡筒の光軸との前記第１の方向の位置を略一致させるとともに前記第２の駆動手段によって該塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記微小領域との前記第２の方向の位置を略一致させたときの前記可動板の第４の位置とを前記第２の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第２の記憶手段によって記憶しておき、
前記第２の駆動手段は、前記第２の検出手段の検出結果と前記第２の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第３の位置に前記可動板を移動させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第４の位置に前記可動板を移動させることを特徴とする、請求項４に記載の液状材料塗布装置。
さらに、前記観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に前記液状材料を塗布すべき他の前記微細領域がある場合、前記観察中心から前記他の微細領域までの前記第１および第２の方向の距離を演算する演算手段を備え、
前記第１および第２の駆動手段は、前記演算手段の演算結果に基づいて前記可動板を移動させ、前記選択された塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察中心から前記他の微細領域の上方に移動させる、請求項５に記載の液状材料塗布装置。
基板上の微細領域に液状材料を塗布する液状材料塗布装置において、
前記微細領域を観察するための観察鏡筒と、
前記基板と前記観察鏡筒との間の前記基板に平行な平面内で移動可能に設けられた可動板と、
前記可動板の下面に設けられた複数の対物レンズと、
前記可動板の下面に設けられ、各々が、塗布針の先端に付着した前記液状材料を前記微細領域に塗布するための複数の塗布ユニットと、
前記微細領域を観察する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の対物レンズのうちの選択された対物レンズを前記観察鏡筒の下に配置し、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記可動板を移動させて前記複数の塗布ユニットのうちの選択された塗布ユニットを前記観察鏡筒の下に配置する第１の駆動手段とを備え、
前記可動板は回転可能に設けられ、
前記複数の対物レンズおよび前記複数の塗布ユニットは前記可動板の回転軸を中心とする円に沿って１列に配置され、
前記観察鏡筒の光軸と前記可動板の回転軸とは前記円の半径だけ離れて平行に配置され、
前記第１の駆動手段は前記可動板を回転させることを特徴とする、液状材料塗布装置。
さらに、前記可動板の回転角度を検出する第１の検出手段と、
前記第１の検出手段の検出結果を記憶する第１の記憶手段とを備え、
前記第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第１の回転角度と、各塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察鏡筒の光軸に略一致させたときの前記可動板の第２の回転角度とを前記第１の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第１の記憶手段によって記憶しておき、
前記第１の駆動手段は、前記第１の検出手段の検出結果と前記第１の記憶手段の記憶結果とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第１の回転角度だけ前記可動板を回転させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第２の回転角度だけ前記可動板を回転させることを特徴とする、請求項７に記載の液状材料塗布装置。
さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および第１の駆動手段を前記基板に平行な方向に移動させる第２の駆動手段と、
前記可動板の位置を検出する第２の検出手段と、
前記第２の検出手段の検出結果を記憶する第２の記憶手段とを備え、
前記第１の駆動手段によって各対物レンズの光軸と前記観察鏡筒の光軸とを略一致させるとともに前記第２の駆動手段によって該対物レンズの光軸と前記微小領域とを略一致させたときの前記可動板の第１の位置と、前記第１の駆動手段によって各塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記観察鏡筒の光軸とを略一致させるとともに前記第２の駆動手段によって該塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記微小領域とを略一致させたときの前記可動板の第２の位置とを前記第２の検出手段によって検出し、その検出結果を前記第２の記憶手段によって記憶しておき、
前記第２の駆動手段は、前記第２の検出手段の検出結果と前記第２の記憶手段の記憶内容とに基づいて動作し、前記微細領域を観察する場合は、前記選択された対物レンズに対応する第１の位置に前記可動板を移動させて該対物レンズの光軸と前記微細領域とを略一致させ、前記微細領域に前記液状材料を塗布する場合は、前記選択された塗布ユニットに対応する第２の位置に前記可動板を移動させて該塗布ユニットの前記塗布針の先端と前記微細領域とを略一致させることを特徴とする、請求項８に記載の液状材料塗布装置。
さらに、前記観察鏡筒の観察範囲内において観察中心以外の位置に前記液状材料を塗布すべき他の前記微細領域がある場合、前記観察中心から前記他の微細領域までの距離および方向を演算する演算手段を備え、
前記第２の駆動手段は、前記演算手段の演算結果に基づいて前記可動板を移動させ、前記選択された塗布ユニットの前記塗布針の先端を前記観察中心から前記他の微細領域の上方に移動させる、請求項８に記載の液状材料塗布装置。
前記選択された塗布ユニットは、先端に前記液状材料が付着した前記塗布針を下方に突出させ、
さらに、前記観察鏡筒、前記可動板および前記第１の駆動手段を下降させて前記塗布針の先端を前記微細領域に接触させる第３の駆動手段を備えることを特徴とする、請求項４から請求項１０までのいずれかに記載の液状材料塗布装置。
請求項１から請求項１１までのいずれかに記載の液状材料塗布装置を備え、
前記微細領域は前記基板上に形成された微細パターンの欠陥部であり、
前記液状材料は前記欠陥部を修正するための修正液であることを特徴とする、欠陥修正装置。