JP3309420B2 - 半田ブリッジの検査方法 - Google Patents
半田ブリッジの検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半田ブリッジの検査方法
に係り、詳しくは、電子部品を基板に接着する半田の外
観検査などの際に、画像データのノイズとなるシルク印
刷部のデータを除去できる半田ブリッジの検査方法に関
する。
に係り、詳しくは、電子部品を基板に接着する半田の外
観検査などの際に、画像データのノイズとなるシルク印
刷部のデータを除去できる半田ブリッジの検査方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ，ＬＳＩ，抵抗チップ、コンデンサ
チップなどの電子部品を基板に接着した後、半田の外観
検査が行われる。次に、カメラによる半田ブリッジの有
無の検査方法を説明する。
チップなどの電子部品を基板に接着した後、半田の外観
検査が行われる。次に、カメラによる半田ブリッジの有
無の検査方法を説明する。
【０００３】図７において、４は検査対象となる基板で
あり、その上面には回路パターン２３が形成されてい
る。この回路パターン２３は、銅箔上に半田メッキを施
して形成されており、鏡面性を有している。また基板４
には電子部品の搭載位置を示す枠体２４ａや、電子部品
の品種を示す「ＩＣ５」などの文字２４ｂがシルク印刷
により形成されている。図８はこの枠体２４ａ内に電子
部品２０を搭載した後、この電子部品２０のリード２１
を回路パターン２３に接着する半田２２の外観検査を行
っている様子を示している。
あり、その上面には回路パターン２３が形成されてい
る。この回路パターン２３は、銅箔上に半田メッキを施
して形成されており、鏡面性を有している。また基板４
には電子部品の搭載位置を示す枠体２４ａや、電子部品
の品種を示す「ＩＣ５」などの文字２４ｂがシルク印刷
により形成されている。図８はこの枠体２４ａ内に電子
部品２０を搭載した後、この電子部品２０のリード２１
を回路パターン２３に接着する半田２２の外観検査を行
っている様子を示している。
【０００４】図中、１は基板４を上方から観察するカメ
ラ、２は照明光を照射するリング状の光源である。図９
はカメラ１に取り込まれた画像を示している。図中、２
６は半田ブリッジであって、半田２２を加熱処理して硬
化させる際に、半田２２が側方へ溶出して生じる。半田
ブリッジ２６はリード２１同士を短絡するので、半田ブ
リッジ２６が生じたものは不良基板として選別される。
上記枠体２４ａや文字２４ｂ等のシルク印刷部２４は、
作業者が肉眼で明瞭に識別できるように、白色などの明
色塗料で形成されている。また半田ブリッジ２６も明る
い金属質である。したがってカメラ１により観察した場
合、図示するように枠体２４ａと半田ブリッジ２６は暗
い背景の中に明るく観察される。
ラ、２は照明光を照射するリング状の光源である。図９
はカメラ１に取り込まれた画像を示している。図中、２
６は半田ブリッジであって、半田２２を加熱処理して硬
化させる際に、半田２２が側方へ溶出して生じる。半田
ブリッジ２６はリード２１同士を短絡するので、半田ブ
リッジ２６が生じたものは不良基板として選別される。
上記枠体２４ａや文字２４ｂ等のシルク印刷部２４は、
作業者が肉眼で明瞭に識別できるように、白色などの明
色塗料で形成されている。また半田ブリッジ２６も明る
い金属質である。したがってカメラ１により観察した場
合、図示するように枠体２４ａと半田ブリッジ２６は暗
い背景の中に明るく観察される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】半田ブリッジ２６の有
無は、リード２１とリード２１の間を矢印方向に光学走
査を行って、明るく輝く部分が有るか否かにより判定さ
れる。ところが枠体２４ａは半田ブリッジ２６と同様に
明るく輝くため、この枠体２４ａが半田ブリッジ２６と
誤認されてしまう問題点があった。
無は、リード２１とリード２１の間を矢印方向に光学走
査を行って、明るく輝く部分が有るか否かにより判定さ
れる。ところが枠体２４ａは半田ブリッジ２６と同様に
明るく輝くため、この枠体２４ａが半田ブリッジ２６と
誤認されてしまう問題点があった。
【０００６】このような問題は、半田ブリッジの有無の
検査以外の場合にも発生する。すなわち、例えば基板４
上を光学走査して、明るく輝く回路パターン２３を手懸
りにして、カメラ１による半田の外観検査等の為の検査
エリアを設定するような場合、明るく輝くシルク印刷部
２４を回路パターン２３と誤認し、誤った位置に検査エ
リアを設定してしまう場合がある。
検査以外の場合にも発生する。すなわち、例えば基板４
上を光学走査して、明るく輝く回路パターン２３を手懸
りにして、カメラ１による半田の外観検査等の為の検査
エリアを設定するような場合、明るく輝くシルク印刷部
２４を回路パターン２３と誤認し、誤った位置に検査エ
リアを設定してしまう場合がある。
【０００７】このように基板をカメラにより観察して、
輝度分布から様々な光学検査を行う場合、シルク印刷部
２４は半田ブリッジ２６や回路パターン２３と同様に明
るく輝くため、画像ノイズとなって誤検査が生じてしま
う。このような問題点を解消するためには、シルク印刷
部を輝度の低い暗色塗料で形成すればよいのであるが、
暗色塗料で印刷すると、作業者の視認が困難になるとい
う問題点が発生する。
輝度分布から様々な光学検査を行う場合、シルク印刷部
２４は半田ブリッジ２６や回路パターン２３と同様に明
るく輝くため、画像ノイズとなって誤検査が生じてしま
う。このような問題点を解消するためには、シルク印刷
部を輝度の低い暗色塗料で形成すればよいのであるが、
暗色塗料で印刷すると、作業者の視認が困難になるとい
う問題点が発生する。
【０００８】そこで本発明は、カメラによる基板の観察
時に、ノイズとなるシルク印刷部を画像データから除去
して、必要とする画像データを入手できる手段を提供す
ることを目的とする。
時に、ノイズとなるシルク印刷部を画像データから除去
して、必要とする画像データを入手できる手段を提供す
ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このために本発明の半田
ブリッジの検査方法は、回路パターンに電子部品のリー
ドを半田付けした基板の観察方法であって、第１の光源
から基板に垂直に照明光を照射してカメラで観察し、リ
ードの間のシルク印刷部で反射した光と半田ブリッジの
中央部で反射した光を含む画像データを第１の画像メモ
リに記憶するステップと、第２の光源から基板に斜上方
から照明光を照射してカメラで観察し、リードの間のシ
ルク印刷部で反射した光と半田ブリッジの傾斜面で反射
した光を含む画像データを第２の画像メモリに記憶する
ステップと、画像間演算部により上記第１の画像メモリ
と上記第２の画像メモリに記憶された画像データの画像
間演算を行ってシルク印刷部の画像を除去すると共に、
前記半田ブリッジの中央部と前記傾斜部で反射した光を
含んだ半田ブリッジの画像を残すステップと、リードと
リードの間に設定された検査エリア内を光学走査するこ
とにより、半田ブリッジの有無をＣＰＵで判定するステ
ップとを含む。
ブリッジの検査方法は、回路パターンに電子部品のリー
ドを半田付けした基板の観察方法であって、第１の光源
から基板に垂直に照明光を照射してカメラで観察し、リ
ードの間のシルク印刷部で反射した光と半田ブリッジの
中央部で反射した光を含む画像データを第１の画像メモ
リに記憶するステップと、第２の光源から基板に斜上方
から照明光を照射してカメラで観察し、リードの間のシ
ルク印刷部で反射した光と半田ブリッジの傾斜面で反射
した光を含む画像データを第２の画像メモリに記憶する
ステップと、画像間演算部により上記第１の画像メモリ
と上記第２の画像メモリに記憶された画像データの画像
間演算を行ってシルク印刷部の画像を除去すると共に、
前記半田ブリッジの中央部と前記傾斜部で反射した光を
含んだ半田ブリッジの画像を残すステップと、リードと
リードの間に設定された検査エリア内を光学走査するこ
とにより、半田ブリッジの有無をＣＰＵで判定するステ
ップとを含む。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、光の照射角度を切り替えて
基板に照射光を照射し、カメラに取り込まれた画像デー
タを第１の画像メモリと第２の画像メモリに記憶し、更
に画像間演算部により画像データを演算して、印刷部に
よるノイズが除去された画像データを得る。
基板に照射光を照射し、カメラに取り込まれた画像デー
タを第１の画像メモリと第２の画像メモリに記憶し、更
に画像間演算部により画像データを演算して、印刷部に
よるノイズが除去された画像データを得る。
【００１１】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図５，図６を参照しながら、まず、本発明の
原理の説明を行う。図５は基板の観察装置の全体図であ
る。基板４にはシルク印刷部Ａと、回路パターンや半田
と同材質の鏡面性を有する金属質の検査対象物Ｂが形成
されている。このシルク印刷部Ａと検査対象物Ｂは本発
明の原理を説明するための検査モデルであって、検査対
象物Ｂの内部にシルク印刷部Ａが形成されている。
説明する。図５，図６を参照しながら、まず、本発明の
原理の説明を行う。図５は基板の観察装置の全体図であ
る。基板４にはシルク印刷部Ａと、回路パターンや半田
と同材質の鏡面性を有する金属質の検査対象物Ｂが形成
されている。このシルク印刷部Ａと検査対象物Ｂは本発
明の原理を説明するための検査モデルであって、検査対
象物Ｂの内部にシルク印刷部Ａが形成されている。
【００１２】光学系は、基板４を上方から観察するカメ
ラ１と、２個のリング状の光源２，３を備えている。第
１の光源２は上方から垂直若しくは略垂直に基板４に向
って照明光を照射する。また第２の光源３は、第１の光
源２よりも大形であって、斜上方から基板４に照明光を
照射する。後述するように光源２，３の点消灯を切り替
えることにより、照明光の照射角度を切り替える。第１
の光源２は、基板４のカメラ１の視野内における検査エ
リアに対して、できるだけ急角度で、望ましく垂直に光
を照射する。このため、この第１の光源２としては、リ
ング状の光源や、面光源が使用される。また第２の光源
３は、側方から基板４の検査エリアに均一に光を照射す
る。このため第２の光源３としては、リング状の光源が
使用される。なお光源は１個だけ設け、その光源を上下
動させることにより、基板４に対する光の照射角度を変
えるようにしてもよく、照射角度の切り替え手段は本実
施例に限定されてない。
ラ１と、２個のリング状の光源２，３を備えている。第
１の光源２は上方から垂直若しくは略垂直に基板４に向
って照明光を照射する。また第２の光源３は、第１の光
源２よりも大形であって、斜上方から基板４に照明光を
照射する。後述するように光源２，３の点消灯を切り替
えることにより、照明光の照射角度を切り替える。第１
の光源２は、基板４のカメラ１の視野内における検査エ
リアに対して、できるだけ急角度で、望ましく垂直に光
を照射する。このため、この第１の光源２としては、リ
ング状の光源や、面光源が使用される。また第２の光源
３は、側方から基板４の検査エリアに均一に光を照射す
る。このため第２の光源３としては、リング状の光源が
使用される。なお光源は１個だけ設け、その光源を上下
動させることにより、基板４に対する光の照射角度を変
えるようにしてもよく、照射角度の切り替え手段は本実
施例に限定されてない。
【００１３】カメラ１は、第１の画像メモリ１１と、第
２の画像メモリ１２に接続されている。第１の画像メモ
リ１１は、第１の光源２から基板４に光を照射した場合
の画像データＭ１を記憶する。また第２の画像メモリ１
２は、第２の光源３から基板４に光を照射した場合の画
像データＭ２を記憶する。１３は画像間演算部であっ
て、画像データＭ１と、画像データＭ２を組み合わせ、
演算された画像データＭ３を第３の画像メモリ１４に記
憶させる。１５はＣＰＵであり種々の制御や演算を行
う。
２の画像メモリ１２に接続されている。第１の画像メモ
リ１１は、第１の光源２から基板４に光を照射した場合
の画像データＭ１を記憶する。また第２の画像メモリ１
２は、第２の光源３から基板４に光を照射した場合の画
像データＭ２を記憶する。１３は画像間演算部であっ
て、画像データＭ１と、画像データＭ２を組み合わせ、
演算された画像データＭ３を第３の画像メモリ１４に記
憶させる。１５はＣＰＵであり種々の制御や演算を行
う。
【００１４】検査対象物Ｂは鏡面性を有しており、した
がって第１の光源２から垂直に照射された光ａは直上に
反射されてカメラ１に入射し、カメラ１に明るく観察さ
れる。またシルク印刷部Ａは白色塗料などの明色の素材
により印刷されており、第１の光源２から垂直に照射さ
れた光ｂは直上に乱反射されてカメラ１に入射し、カメ
ラ１に明るく観察される。また基板４に照射された光ｃ
は基板４に吸収され、基板４は暗く観察される。図６
（ａ）においてＭ１は、上記のようにして第１の光源２
から垂直に照明光を照射してカメラ１に取り込まれた画
像データであって、この画像データは第１の画像メモリ
１１に記憶される。図示するように、シルク印刷部Ａと
検査対象物Ｂは影線で示す暗い背景の中に明るく観察さ
れ、シルク印刷部Ａがノイズとなって検査対象物Ｂと識
別できない。
がって第１の光源２から垂直に照射された光ａは直上に
反射されてカメラ１に入射し、カメラ１に明るく観察さ
れる。またシルク印刷部Ａは白色塗料などの明色の素材
により印刷されており、第１の光源２から垂直に照射さ
れた光ｂは直上に乱反射されてカメラ１に入射し、カメ
ラ１に明るく観察される。また基板４に照射された光ｃ
は基板４に吸収され、基板４は暗く観察される。図６
（ａ）においてＭ１は、上記のようにして第１の光源２
から垂直に照明光を照射してカメラ１に取り込まれた画
像データであって、この画像データは第１の画像メモリ
１１に記憶される。図示するように、シルク印刷部Ａと
検査対象物Ｂは影線で示す暗い背景の中に明るく観察さ
れ、シルク印刷部Ａがノイズとなって検査対象物Ｂと識
別できない。
【００１５】図５において、第２の光源３を点灯した場
合、斜上方から検査対象物Ｂに照射された光ｄは斜上方
に反射され、カメラ１には入射しないので、カメラ１に
暗く観察される。またシルク印刷部Ａに照射された光ｅ
は乱乱射され、カメラ１に入射して明るく観察される。
また基板４に照射された光ｆは基板４に吸収され、暗く
観察される。図６（ｂ）においてＭ２は、この場合の画
像データであって、第２の画像メモリ１２に記憶され
る。これらの画像データＭ１，Ｍ２，Ｍ３は「０」，
「１」の２値化データであり、図中に「０」，「１」を
記載している。
合、斜上方から検査対象物Ｂに照射された光ｄは斜上方
に反射され、カメラ１には入射しないので、カメラ１に
暗く観察される。またシルク印刷部Ａに照射された光ｅ
は乱乱射され、カメラ１に入射して明るく観察される。
また基板４に照射された光ｆは基板４に吸収され、暗く
観察される。図６（ｂ）においてＭ２は、この場合の画
像データであって、第２の画像メモリ１２に記憶され
る。これらの画像データＭ１，Ｍ２，Ｍ３は「０」，
「１」の２値化データであり、図中に「０」，「１」を
記載している。
【００１６】図６（ｃ）において、Ｍ３は、上記画像デ
ータＭ１から画像データＭ２を引算して得られる画像デ
ータであり、第３の画像メモリ１４に記憶される。この
引算は画像間演算部１３により行われる。図中に示すよ
うに、シルク印刷部Ａは「１」−「１」＝「０」であ
り、検査対象物Ｂは「１」−「０」＝「１」である。し
たがって検査対象物Ｂとシルク印刷部Ａは「１」と
「０」に明確に識別され、シルク印刷部Ａが検査対象物
Ｂのノイズとなることはない。
ータＭ１から画像データＭ２を引算して得られる画像デ
ータであり、第３の画像メモリ１４に記憶される。この
引算は画像間演算部１３により行われる。図中に示すよ
うに、シルク印刷部Ａは「１」−「１」＝「０」であ
り、検査対象物Ｂは「１」−「０」＝「１」である。し
たがって検査対象物Ｂとシルク印刷部Ａは「１」と
「０」に明確に識別され、シルク印刷部Ａが検査対象物
Ｂのノイズとなることはない。
【００１７】次に図１及び図２を参照しながら、上記原
理を利用した半田ブリッジの検査方法を説明する。この
基板４は、図８に示す基板４と同じものであり、その説
明は省略する。なおシルク印刷部２４ａは図５のシルク
印刷部Ａに相当し、また半田２２や半田ブリッジ２６は
検査対象物Ｂに相当する。
理を利用した半田ブリッジの検査方法を説明する。この
基板４は、図８に示す基板４と同じものであり、その説
明は省略する。なおシルク印刷部２４ａは図５のシルク
印刷部Ａに相当し、また半田２２や半田ブリッジ２６は
検査対象物Ｂに相当する。
【００１８】この場合も、図５及び図６を参照しながら
説明した場合と同様に、第１の光源２から垂直に照明光
を照射してカメラ１で観察し、その画像データＭ１を画
像メモリ１１に記憶する。また第２の光源３を点灯して
斜上方から照明光を照射してカメラ１で観察し、その画
像データＭ２を画像メモリ１２に記憶する。図２
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、各々の画像データＭ１，Ｍ
２と、画像間演算部１３で演算された画像データＭ３を
示している。図中、Ｑはカメラ１の検査エリアであり、
リード２１とリード２１の間に設定されている。
説明した場合と同様に、第１の光源２から垂直に照明光
を照射してカメラ１で観察し、その画像データＭ１を画
像メモリ１１に記憶する。また第２の光源３を点灯して
斜上方から照明光を照射してカメラ１で観察し、その画
像データＭ２を画像メモリ１２に記憶する。図２
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、各々の画像データＭ１，Ｍ
２と、画像間演算部１３で演算された画像データＭ３を
示している。図中、Ｑはカメラ１の検査エリアであり、
リード２１とリード２１の間に設定されている。
【００１９】図３は、第１の光源２から垂直に照明光を
照射した場合の反射特性を示している。図示するように
半田ブリッジ２６の上面は内凹状であり、中央部２６ａ
に入射した光ａは真上に反射されてカメラ１に入射し、
明るく観察されるが、側部の傾斜面に入射した光ｂは斜
上方へ反射されてカメラ１には入射しないので暗く観察
される。また図５を参照しながら説明したように、シル
ク印刷部２４ａは光を真上に反射し、明るく観察され
る。したがって図２の画像データＭ１が得られる。この
画像データＭ１に示されるように、半田ブリッジ２６は
その中央部２６ａのみが明るく観察される。
照射した場合の反射特性を示している。図示するように
半田ブリッジ２６の上面は内凹状であり、中央部２６ａ
に入射した光ａは真上に反射されてカメラ１に入射し、
明るく観察されるが、側部の傾斜面に入射した光ｂは斜
上方へ反射されてカメラ１には入射しないので暗く観察
される。また図５を参照しながら説明したように、シル
ク印刷部２４ａは光を真上に反射し、明るく観察され
る。したがって図２の画像データＭ１が得られる。この
画像データＭ１に示されるように、半田ブリッジ２６は
その中央部２６ａのみが明るく観察される。
【００２０】図４は第２の光源３により斜上方から照明
光を照射した場合の反射特性を示している。半田ブリッ
ジ２６の断面形状は山形であり、したがってその右側面
に入射した光ｃは真上へ反射されてカメラ１に入射し、
明るく観察されるが、上面に入射した光ｄは斜上方へ反
射されカメラ１に入射しないので暗く観察される。また
シルク印刷部２４ａは光を乱反射し、明るく観察され
る。したがって図２の画像データＭ２が得られる。この
画像データＭ２に示されるように、半田ブリッジ２６の
右側面２６ｂのみが円弧状に明るく観察される。図中、
「１」，「０」は２値化値である。
光を照射した場合の反射特性を示している。半田ブリッ
ジ２６の断面形状は山形であり、したがってその右側面
に入射した光ｃは真上へ反射されてカメラ１に入射し、
明るく観察されるが、上面に入射した光ｄは斜上方へ反
射されカメラ１に入射しないので暗く観察される。また
シルク印刷部２４ａは光を乱反射し、明るく観察され
る。したがって図２の画像データＭ２が得られる。この
画像データＭ２に示されるように、半田ブリッジ２６の
右側面２６ｂのみが円弧状に明るく観察される。図中、
「１」，「０」は２値化値である。
【００２１】したがって画像間演算部１３により図６で
示した場合と同様の演算を行うことにより、図２の画像
データＭ３が得られる。この画像データＭ３からは、半
田ブリッジ２６の有無判定のノイズとなるシルク印刷部
２４ａの画像データは除去されて、半田ブリッジ２６の
画像データのみが残っており、したがってこの検査エリ
アＱ内を矢印方向に光学走査することにより、半田ブリ
ッジ２６の有無をＣＰＵ１５により判定する。
示した場合と同様の演算を行うことにより、図２の画像
データＭ３が得られる。この画像データＭ３からは、半
田ブリッジ２６の有無判定のノイズとなるシルク印刷部
２４ａの画像データは除去されて、半田ブリッジ２６の
画像データのみが残っており、したがってこの検査エリ
アＱ内を矢印方向に光学走査することにより、半田ブリ
ッジ２６の有無をＣＰＵ１５により判定する。
【００２２】本発明は上記実施例に限定されないのであ
って、要はノイズとなるシルク印刷部の画像データを検
査エリアから除去できるように、カメラによる画像の取
り込みと、画像間演算部による演算を行えばよいもので
ある。
って、要はノイズとなるシルク印刷部の画像データを検
査エリアから除去できるように、カメラによる画像の取
り込みと、画像間演算部による演算を行えばよいもので
ある。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、明
るい輝度特性を有するが故に、光学検査等のノイズとな
るシルク印刷部の画像データを除去し、半田ブリッジの
有無の光学検査を行うことができる。
るい輝度特性を有するが故に、光学検査等のノイズとな
るシルク印刷部の画像データを除去し、半田ブリッジの
有無の光学検査を行うことができる。
【図１】本発明に係る基板の観察装置の全体図
【図２】本発明に係る画像データ図
【図３】本発明に係る光反射特性を示す側面図
【図４】本発明に係る光反射特性を示す側面図
【図５】本発明に係る基板の観察装置の全体図
【図６】本発明に係る画像データ図
【図７】従来の基板の平面図
【図８】従来の基板の観察装置の正面図
【図９】従来の画像データ図
１ カメラ ２ 第１の光源 ３ 第２の光源 ４ 基板 １１ 第１の画像メモリ １２ 第２の画像メモリ １４ 画像間演算部 ２４ シルク印刷部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/24 G01N 21/88 G06T 7/00
Claims (1)
- 【請求項１】回路パターンに電子部品のリードを半田付
けした基板の観察方法であって、第１の光源から基板に
垂直に照明光を照射してカメラで観察し、リードの間の
シルク印刷部で反射した光と半田ブリッジの中央部で反
射した光を含む画像データを第１の画像メモリに記憶す
るステップと、第２の光源から基板に斜上方から照明光
を照射してカメラで観察し、リードの間のシルク印刷部
で反射した光と半田ブリッジの傾斜面で反射した光を含
む画像データを第２の画像メモリに記憶するステップ
と、画像間演算部により上記第１の画像メモリと上記第
２の画像メモリに記憶された画像データの画像間演算を
行ってシルク印刷部の画像を除去すると共に、前記半田
ブリッジの中央部と前記傾斜部で反射した光を含んだ半
田ブリッジの画像を残すステップと、リードとリードの
間に設定された検査エリア内を光学走査することによ
り、半田ブリッジの有無をＣＰＵで判定するステップと
を含むことを特徴とする半田ブリッジの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07668792A JP3309420B2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 半田ブリッジの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07668792A JP3309420B2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 半田ブリッジの検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05280946A JPH05280946A (ja) | 1993-10-29 |
| JP3309420B2 true JP3309420B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=13612371
Family Applications (1)
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