JP2586729B2 - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体記憶装置に関し、特に読出専用メモリ
に適する半導体記憶装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a semiconductor memory device suitable for a read-only memory.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のこの種の半導体記憶装置の一つである読出専用
メモリ(ROM)の一例を第4図に示す。
FIG. 4 shows an example of a read-only memory (ROM) which is one of the conventional semiconductor memory devices of this kind.

第4図において、従来の半導体記憶装置は、アドレス
バッファ回路1と、Xデコーダ回路2と、Yデコーダ回
路3と、メモリセルアレイ部4と、デジット線を選択す
るYセレクタ5と、センスアンプ6と、出力バッファ回
路7とから構成されていた。
In FIG. 4, the conventional semiconductor memory device includes an address buffer circuit 1, an X decoder circuit 2, a Y decoder circuit 3, a memory cell array unit 4, a Y selector 5 for selecting a digit line, and a sense amplifier 6. , And the output buffer circuit 7.

メモリセルアレイ部4は、複数個のメモリセルがマト
リクス状に配置されて構成されるが、ここでは、説明の
便宜上、選択されたメモリセルM1の1つのみを示す。
The memory cell array unit 4 is configured by arranging a plurality of memory cells in a matrix, but here, for convenience of explanation, only one selected memory cell M1 is shown.

ここで、選択メモリセルM1のゲートには読出電圧VG
印加され、また、ドレインはデジット線Y1に接続されて
いる。このデジット線は、センスアンプ6の入力に接続
されている。
Here, the read voltage V G is applied to the gate of a selected memory cell M1, also, the drain is connected to the digit line Y1. This digit line is connected to the input of the sense amplifier 6.

記憶操作時に、メモリセルM1は、しきい値電圧VTをロ
ーレベル“L"であるVTL、または、ハイレベル“H"であ
るVTHのいずれかに選択的に設定することにより、“1"
または“0"の情報の記憶が可能である。
At the time of the storage operation, the memory cell M1 selectively sets the threshold voltage V T to either V TL at the low level “L” or V TH at the high level “H”, whereby “ 1 "
Alternatively, information of “0” can be stored.

ここで、メモリセルM1のしきい値電圧VTL,VTH、およ
び、読出時のゲート電圧VGを次のように設定する。
Here, the threshold voltage V TL, V TH of the memory cell M1, and sets the gate voltage V G at the time of reading, as follows.

すなわち、VTL<VG<VTHである。That is, V TL <V G <V TH .

もし、読出時に選択メモリセルM1のしきい値電圧がV
TLであれば、VTL<VGより、メモリセルM1は導通し、デ
ジット線Y1に電流が流れることにより、デジット線Y1の
電圧が降下する。したがって、出力はローレベル“L"と
なる。
If the threshold voltage of the selected memory cell M1 is V
If TL, from V TL <V G, the memory cell M1 is conductive and by flowing current to the digit line Y1, the voltage of the digit line Y1 drops. Therefore, the output becomes low level “L”.

上述のように、導通状態となるメモリセルをオンビッ
トという。
As described above, a memory cell that is turned on is called an on-bit.

一方、読出時に選択メモリセルM1のしきい値電圧がV
THであれば、VTH>VGより、メモリセルM1は非導通であ
り、デジット線Y1には電流が流れず、デジット線Y1の電
圧が上昇する。したがって、出力はハイレベル“H"とな
る。
On the other hand, when reading, the threshold voltage of the selected memory cell M1 is V
If TH, than V TH> V G, the memory cell M1 is non-conducting, no current flows through the digit line Y1, the voltage of the digit line Y1 is raised. Therefore, the output becomes high level “H”.

上述のように、非導通状態となるメモリセルをオフビ
ットという。
As described above, a memory cell that is turned off is called an off bit.

なお、オンビット選択時と、オフビット選択時に生じ
るデジット線の電圧差は微少であるので、この電圧差を
センスアンプ回路部6により所要のレベルの出力O1を得
るよう増幅することは周知の通りである。
Since the voltage difference between the digit lines generated when the on-bit is selected and when the off-bit is selected is very small, it is well known that this voltage difference is amplified by the sense amplifier circuit unit 6 so as to obtain an output O1 of a required level. It is.

以上のように、記憶時にメモリセルの高低2値のしき
い値電圧に対し、のいずれか1値を選択的に設定するこ
とにより、“L"または、“H"からなる1ビットのデータ
を記憶、読出ができる。
As described above, by selectively setting one of the high and low binary threshold voltages of the memory cell at the time of storage, 1-bit data consisting of “L” or “H” can be stored. Can store and read.

最近、半導体技術の進歩により、一つのトランジスタ
に多数、たとえば、4つのしきい値電圧を任意に設定す
ることができるようになってきている。
Recently, with the progress of semiconductor technology, it has become possible to arbitrarily set a large number, for example, four threshold voltages in one transistor.

このような素子があれば、一つのメモリセルで、たと
えば、しきい値を4つの値で設定した2ビットセルが考
えられる。
With such an element, a 2-bit cell in which a threshold value is set to four values can be considered as one memory cell.

そうすると、単純に考えても、メモリの実装密度を2
倍にできることになり、大容量化、高集積度化された半
導体記憶装置を容易に提供できることになる。
Then, even if it is simply considered, the mounting density of the memory is 2
Therefore, a semiconductor memory device having a large capacity and a high degree of integration can be easily provided.

しかし、このような2ビットセルができたとしても具
体的な読出回路がないので、このような半導体記憶装置
は実用化はされていなかった。
However, even if such a 2-bit cell is formed, there is no specific readout circuit, and thus such a semiconductor memory device has not been put to practical use.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

上述した従来の半導体記憶装置は、2ビット以上の複
ビットセルに対する具体的な読出回路がまだないため、
このような、たとえば、2ビットセルを用いた大容量の
高集積度メモリは、未だ、アイディア段階に止まってお
り製品化はされていないという欠点があった。
Since the conventional semiconductor memory device described above does not yet have a specific read circuit for a multi-bit cell of 2 bits or more,
Such a large-capacity, high-integration memory using, for example, 2-bit cells has a disadvantage that it is still at the idea stage and has not been commercialized.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明の半導体記憶装置は、一つのメモリセルで少な
くとも4値のしきい値電圧の各電位のレベルに対応する
2ビット以上のデータを記憶する複ビットセルからなる
半導体記憶装置において、 前記しきい値電圧の中間の電圧である基準読出電圧を
出力する基準読出電圧出力回路と、 前記基準読出電圧により前記メモリセルから読出した
読出出力の電圧と前記基準読出電圧とを比較し、前記し
きい値電圧が前記基準読出電圧に対し高しきい値電圧ま
たはか低しきい値電圧のいずれであるかを判定するしき
い値電圧判定回路と、 前記高低両しきい値電圧に対応する高低それぞれの読
出電圧を出力する高および低読出電圧出力回路とを有す
るものである。
The semiconductor memory device according to the present invention is a semiconductor memory device comprising a multi-bit cell storing two or more bits of data corresponding to each potential level of at least four threshold voltages in one memory cell. A reference read voltage output circuit that outputs a reference read voltage that is an intermediate voltage, a voltage of a read output read from the memory cell by the reference read voltage and the reference read voltage, and a threshold voltage A threshold voltage determination circuit for determining whether the reference read voltage is a high threshold voltage or a low threshold voltage; and high and low read voltages corresponding to the high and low threshold voltages, respectively. And a high and low read voltage output circuit for outputting the same.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は、本発明の第一の実施例を示すブロック図で
ある。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.

第1図において、本発明の半導体記憶装置は、アドレ
スバッファ回路1と、Xデコーダ回路2と、Yデコーダ
回路3と、メモリセルアレイ部4と、デジット線を選択
するYセレクタ5と、センスアンプ6と、二つの出力バ
ッファ回路7,10と、ワード制御部8と、データラッチ回
路9とから構成されている。
In FIG. 1, the semiconductor memory device of the present invention comprises an address buffer circuit 1, an X decoder circuit 2, a Y decoder circuit 3, a memory cell array unit 4, a Y selector 5 for selecting a digit line, and a sense amplifier 6 , Two output buffer circuits 7 and 10, a word control section 8, and a data latch circuit 9.

データラッチ回路9は、データラッチ信号DLの制御に
より次のアドレス切換までデータを保持する機能を持
つ。
The data latch circuit 9 has a function of holding data until the next address switching by controlling the data latch signal DL.

ワード制御部8は、ワード制御信号SWの制御により、
データラッチ9からの出力信号S1を受けて、メモリセル
に印加する読出電圧を低レベル読出電圧VGLまたは高レ
ベル読出電圧VGHのいずれかに選択制御する回路であ
る。
The word control unit 8 controls the word control signal SW to
A circuit which receives an output signal S1 from the data latch 9 and selectively controls a read voltage applied to a memory cell to either a low-level read voltage VGL or a high-level read voltage VGH .

以上以外の構成要素については、以下に説明するメモ
リセルアレイ部を除き前述の従来の技術で説明したもの
と共通である。
The components other than those described above are the same as those described in the above-described conventional technique except for the memory cell array section described below.

メモリセルアレイ部4は、複数個のメモリセルがマト
リクス状に配置されて構成されるが、ここでは、説明の
便宜上、選択されたメモリセルM1の1つのみを示す。
The memory cell array unit 4 is configured by arranging a plurality of memory cells in a matrix, but here, for convenience of explanation, only one selected memory cell M1 is shown.

また、メモリセルM1は、1つにつき、2ビットのデー
タ、“LL",“LH",“HL",“HH"のうちの一つを記憶す
る、いわゆる、2ビットセルである。
The memory cell M1 is a so-called 2-bit cell that stores 2-bit data, one of “LL”, “LH”, “HL”, and “HH”.

この種の2ビットセルは、トランジスタのしきい値電
圧を4つ設定することにより実現できる。
This type of 2-bit cell can be realized by setting four threshold voltages of transistors.

たとえば、読出専用メモリ(ROM)を例にとると、一
般的なマスクROM用のメモリセルでは、周知のイオン注
入方式で、所望の4つのしきい値を、2枚のマスクと、
2種の不純物の混入により以下のようにして設定でき
る。
For example, taking a read-only memory (ROM) as an example, in a memory cell for a general mask ROM, desired four thresholds are set by two well-known ion implantation methods,
It can be set as follows by mixing two types of impurities.

メモリセルは、P形基板にN形拡散層を形成した構成
とする。
The memory cell has a configuration in which an N-type diffusion layer is formed on a P-type substrate.

まず、第1の工程は、第1のマスクを用いて、燐等の
5族の元素を混入する。
First, in a first step, a Group 5 element such as phosphorus is mixed using a first mask.

次に、第2のマスク用いて、硼素等の3族の元素を混
入する。
Next, a Group 3 element such as boron is mixed with the second mask.

不純物の混入の有無により、それぞれの工程において
しきい値の2値の設定が可能であり、これに2工程行う
ことにより、しきい値の4値の設定ができる。
Depending on the presence or absence of impurities, two threshold values can be set in each step. By performing two steps, four threshold values can be set.

こうして設定した4値のしきい値、VTLL,VTLH,VTHL,V
THHの一例は、次のようになる。
The four threshold values thus set, V TLL , V TLH , V THL , V
An example of THH is as follows.

すなわち、VTLL=−3V<VTLH=1V<VTHL=3V<VTHH
7Vである。
That is, V TLL = −3V <V TLH = 1V <V THL = 3V <V THH =
7V.

次に、読出電圧VGについては、接地電位GNDと電源電
圧VCの範囲で当然任意に設定できる。
Next, the read voltage V G, can of course arbitrarily set within the range of the ground potential GND and the power supply voltage VC.

本実施例では、次の3つの読出電圧、すなわち、基準
読出電圧VGM,低レベル読出電圧VGL,高レベル読出電圧V
GHをそれぞれ設定する。
In this embodiment, the following three read voltages are used: a reference read voltage V GM , a low-level read voltage V GL , and a high-level read voltage V
Set GH respectively.

これらのしきい値電圧および読出電圧との関係は以下
のようになる。すなわち、VTLL<VGL<VTLH<VGM<VTHL
<VGH<VTHHである。
The relationship between the threshold voltage and the read voltage is as follows. That is, V TLL <V GL <V TLH <V GM <V THL
<V GH <V THH .

第2図に、以上の4値のしきい値電圧を持つ、2ビッ
トメモリセルのデータを上記3つの読出電圧で読出す場
合の真理値表を示す。
FIG. 2 shows a truth table in the case where data of a 2-bit memory cell having the above four threshold voltages is read with the above three read voltages.

次に、本実施例の動作について説明する。 Next, the operation of the present embodiment will be described.

第3図は、第1図で示す本実施例の回路のタイムチャ
ートである。
FIG. 3 is a time chart of the circuit of the present embodiment shown in FIG.

まず、選択メモリセルM1のしきい値がVTLLまたはVTLH
の場合は、基準読出電圧VGMに対し、VTLL,VTL<VGMであ
る。したがって、メモリセルM1はオンビットとなり、出
力信号S1が低レベル“L"となり出力バッファ回路7は
“出力O1としてL"を出力する。
First, threshold V TLL or V TLH of the selected memory cell M1
For the relative reference read voltage V GM, a V TLL, V TL <V GM . Therefore, the memory cell M1 is turned on, the output signal S1 becomes low level "L", and the output buffer circuit 7 outputs "L" as the output O1.

ここでデータラッチ回路9は、データラッチ信号DLの
制御により次のアドレス切換までこのデータ“L"を保持
し、出力信号S1を出力し続ける。
Here, the data latch circuit 9 holds this data "L" until the next address switching under the control of the data latch signal DL, and continues to output the output signal S1.

続いて、出力信号S1のレベルから選択メモリセルM1の
出力が“L"であることが判別された後、このレベル情報
を受けワード制御信号SWによりワード制御部8は、低レ
ベル読出電圧VGLをメモリセルM1のゲートに印加する。
Subsequently, after it is determined from the level of the output signal S1 that the output of the selected memory cell M1 is “L”, the word control signal SW receives the level information and the word control unit 8 causes the low-level read voltage V GL to be output. Is applied to the gate of the memory cell M1.

この結果、VTLL<VGL<VTLHとなるから、メモリセルM
1のしきい値電圧が、VTLLの場合、メモリセルM1は、オ
ンビットとなり、出力信号S2が“L"となり、出力バッフ
ァ回路10は出力O2として“L"を出力する。
As a result, since V TLL <V GL <V TLH , the memory cell M
When the threshold voltage of 1 is VTLL , the memory cell M1 is turned on, the output signal S2 becomes “L”, and the output buffer circuit 10 outputs “L” as the output O2.

また、メモリセルM1のしきい値電圧がVTLHの場合、メ
モリセルM1は、オフビットとなり、出力信号S2が“H"と
なり、出力バッファ回路10は“H"を出力する。
When the threshold voltage of the memory cell M1 is VTLH , the memory cell M1 becomes an off bit, the output signal S2 becomes "H", and the output buffer circuit 10 outputs "H".

次に、選択メモリセルM1のしきい値電圧がVTHL,VTHH
の場合は、基準読出電圧VGMに対し、VGM<VTHL,VTHH
ある。したがって、メモリセルM1はオフビットとなり、
出力信号S1は高レベル“H"となり、出力バッファ回路7
は出力O1として高レベル“H"を出力する。
Next, the threshold voltages of the selected memory cell M1 are V THL and V THH
In the case of, V GM <V THL , V THH with respect to the reference read voltage V GM . Therefore, the memory cell M1 becomes an off bit,
The output signal S1 becomes high level “H” and the output buffer circuit 7
Outputs a high level "H" as the output O1.

前述の場合と同様に、ここでデータラッチ回路9は、
次のアドレス切換までこのデータ“H"を保持する。
As in the case described above, the data latch circuit 9
This data “H” is held until the next address switching.

続いて、出力信号S1のレベルから選択メモリセルM1の
出力が“H"であることが判別された後、このレベル情報
によりワード制御部8は、高レベル読出電圧VGHをメモ
リセルM1のゲートに印加する。
Subsequently, after it is determined from the level of the output signal S1 that the output of the selected memory cell M1 is "H", the word control unit 8 sends the high-level read voltage VGH to the gate of the memory cell M1 based on this level information. Is applied.

この結果、VTHL<VGH<VTHHとなるから、メモリセルM
1のしきい値電圧が、VTHLの場合、メモリセルM1は、オ
ンビットとなり、出力信号S2が“L"となり、出力バッフ
ァ回路10は出力O2として“L"を出力する。
As a result, since V THL <V GH <V THH , the memory cell M
When the threshold voltage of 1 is V THL , the memory cell M1 is turned on, the output signal S2 becomes “L”, and the output buffer circuit 10 outputs “L” as the output O2.

また、メモリセルM1のしきい値電圧がVTHHの場合、メ
モリセルM1は、オフビットとなり、出力信号S2が“H"と
なり、出力バッファ回路10は、出力O2として“H"を出力
する。
When the threshold voltage of the memory cell M1 is V THH , the memory cell M1 becomes an off bit, the output signal S2 becomes “H”, and the output buffer circuit 10 outputs “H” as the output O2.

以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は上記実
施例に限られることなく種々の変形が可能である。
The embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明は、複ビットメモリセルの
読出回路を具体化するという効果がある。
As described above, the present invention has an effect of realizing a read circuit of a multi-bit memory cell.

したがって、複ビットセルを用いる大容量高集積度の
半導体記憶装置が実用化できるという効果がある。
Therefore, there is an effect that a large-capacity and high-integration semiconductor memory device using a multi-bit cell can be put to practical use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例を示すブロック図、第2図は
第1図で示した回路の真理値を示す図、第3図は第1図
で示した回路の動作タイムチャート、第4図は従来の半
導体記憶装置の一例を示すブロック図である。 1……アドレスバッファ回路、2……Xデコーダ回路、
3……Yデコーダ回路、4……メモリセルアレイ部、5
……Yセレクタ、6……センスアンプ、7,10……出力バ
ッファ回路、8……ワード制御部、9……データラッチ
回路。
1 is a block diagram showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing truth values of the circuit shown in FIG. 1, FIG. 3 is an operation time chart of the circuit shown in FIG. FIG. 4 is a block diagram showing an example of a conventional semiconductor memory device. 1 ... address buffer circuit, 2 ... X decoder circuit,
3... Y decoder circuit, 4... Memory cell array section, 5
... Y selector, 6 sense amplifier, 7, 10 output buffer circuit, 8 word control unit, 9 data latch circuit.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】一つのメモリセルで少なくとも4値のしき
い値電圧の各電位のレベルに対応する2ビット以上のデ
ータを記憶する複ビットセルからなる半導体記憶装置に
おいて、 前記しきい値電圧の中間の電圧である基準読出電圧を出
力する基準読出電圧出力回路と、 前記基準読出電圧により前記メモリセルから読出した読
出出力の電圧と前記基準読出電圧とを比較し、前記しき
い値電圧が前記基準読出電圧に対し高しきい値電圧また
はか低しきい値電圧のいずれであるかを判定するしきい
値電圧判定回路と、 前記高低両しきい値電圧に対応する高低それぞれの読出
電圧を出力する高および低読出電圧出力回路とを有する
ことを特徴とする半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device comprising a multi-bit cell storing two or more bits of data corresponding to each potential level of at least four threshold voltages in one memory cell, wherein the intermediate value of the threshold voltage A reference read voltage output circuit for outputting a reference read voltage, which is a voltage of the reference read voltage, comparing a voltage of a read output read from the memory cell with the reference read voltage and the reference read voltage; A threshold voltage determination circuit for determining whether the read voltage is a high threshold voltage or a low threshold voltage; and outputting a high and low read voltage corresponding to the high and low threshold voltages. A semiconductor memory device having high and low read voltage output circuits.
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