JP2002038236A - Low thermal expansion heat-resistant alloy and method for producing the same - Google Patents

Low thermal expansion heat-resistant alloy and method for producing the same

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JP2002038236A JP2000226009A JP2000226009A JP2002038236A JP 2002038236 A JP2002038236 A JP 2002038236A JP 2000226009 A JP2000226009 A JP 2000226009A JP 2000226009 A JP2000226009 A JP 2000226009A JP 2002038236 A JP2002038236 A JP 2002038236A
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惠 飴山
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い室温強度ならびに高温強度を有するとと
もに熱膨張率が低い低熱膨張耐熱合金およびその製造方
法を提供する。 【解決手段】 低熱膨張耐熱合金は、重量%で、ニッケ
ル20〜50%、コバルト25%以下、ニオブ5〜15
%、チタン2〜10%、アルミニウムおよびシリコンの
少なくとも1種1%以下、炭素0.2〜2.0%、残部
が鉄および不可避不純物でなる組成を有する結晶粒径が
5μm以下の混合粉末を作成した後、混合粉末を非酸化
性雰囲気中、900℃〜1300℃の焼結温度で焼結す
ることによって製造することができる。この耐熱合金
は、室温から600℃までの熱膨張係数が12x10-6
/℃以下であるとともに、室温における強度が1000
MPa以上で600℃における強度が800MPa以上
である。
[PROBLEMS] To provide a low-thermal-expansion heat-resistant alloy having high room-temperature strength and high-temperature strength and a low coefficient of thermal expansion, and a method for producing the same. SOLUTION: The low thermal expansion heat-resistant alloy is 20 to 50% of nickel, 25% or less of cobalt, and 5 to 15% of niobium in weight%.
%, 2 to 10% of titanium, at least 1% of at least one of aluminum and silicon, 0.2 to 2.0% of carbon, and a mixed powder having a crystal grain size of 5 μm or less having a balance of iron and unavoidable impurities. After the preparation, the mixed powder can be manufactured by sintering in a non-oxidizing atmosphere at a sintering temperature of 900C to 1300C. This heat-resistant alloy has a thermal expansion coefficient of 12 × 10 −6 from room temperature to 600 ° C.
/ ° C or less and strength at room temperature of 1000
The strength at 600 ° C. at 800 MPa or higher is 800 MPa or higher.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、熱膨張率が低く、
高い室温強度ならびに高温強度を有する低熱膨張耐熱合
金およびその製造方法に関するものである。
The present invention relates to a low thermal expansion coefficient,
The present invention relates to a low thermal expansion heat-resistant alloy having high room temperature strength and high temperature strength and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、ガスタービン部品やセラミッ
クスおよび超硬合金との複合材として、あるいは高温で
精密加工を行うための機器等の部品材料として、常温か
ら約600℃を超える高温に到るまで強度が維持される
とともに、その温度範囲にわたって部品の寸法変化が許
容範囲内に納まるように低い熱膨張係数を示す耐熱合金
が開発され、実用化されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a composite material of a gas turbine component, a ceramic and a cemented carbide, or a component material of a device for performing precision machining at a high temperature, a temperature ranging from a normal temperature to a temperature exceeding about 600 ° C. is reached. Heat-resistant alloys exhibiting a low coefficient of thermal expansion have been developed and put to practical use so that the strength is maintained up to that point and the dimensional change of the component is within an allowable range over the temperature range.

【0003】例えば、日本公開特許公報4−21864
2号は、重量%で炭素0.1%以下、シリコン1%以
下、マンガン1%以下、チタン0.5〜2.5%、ニオ
ブ3.0〜6.0%、ホウ素0.01%以下、アルミニ
ウム1.0%以下を含み、かつニッケル20〜32%お
よびコバルト16%〜30%を48.8≦1.235x
Ni+Co<55.8の範囲で含有し、残部が実質的に
鉄でなる低熱膨張超耐熱合金について記載している。こ
の耐熱合金は、常温から400℃までの平均熱膨張係数
が7.0x10-6/℃以下であり、500℃において1
00kgf/mm 2以上という引張強度特性を有してい
る。
[0003] For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-21864.
No.2 is carbon 0.1% or less, silicon 1% or less by weight%
Bottom, manganese 1% or less, titanium 0.5-2.5%, Nio
Bu 3.0-6.0%, boron 0.01% or less, aluminum
Containing 1.0% or less of nickel and 20-32% of nickel
And 16% to 30% of cobalt at 48.8 ≦ 1.235x
Ni + Co is contained in the range of 55.8, and the balance is substantially
It describes a low thermal expansion super heat resistant alloy made of iron. This
Heat-resistant alloy has an average coefficient of thermal expansion from room temperature to 400 ° C
Is 7.0x10-6/ ° C or lower, and 1 at 500 ° C.
00kgf / mm TwoHas the above tensile strength characteristics
You.

【0004】また、日本特許公報4−1057号は、重
量比で34%ないし55%のニッケル、25%までのコ
バルト、1%ないし2%のチタン、1.5%ないし5.
5%のニオブ、0.25%ないし1%のケイ素、0.1
%以下の炭素、残部が実質的に鉄及び不可避不純物から
なる時効硬化型制御膨張合金について記載している。こ
の制御膨張合金は、常温と屈折温度(329℃)との間に
おいて9.9x10-6/℃以下の熱膨張係数を有し、5
38℃においておよそ100〜110kgf/mm2
引張特性を有している。
Japanese Patent Publication No. 4-1057 discloses that 34% to 55% of nickel, up to 25% of cobalt, 1% to 2% of titanium, 1.5% to 5.
5% niobium, 0.25% to 1% silicon, 0.1
% Of carbon and the balance substantially consisting of iron and inevitable impurities is described. This controlled expansion alloy has a thermal expansion coefficient of 9.9 × 10 −6 / ° C. or less between room temperature and a refraction temperature (329 ° C.).
It has a tensile property of about 100 to 110 kgf / mm 2 at 38 ° C.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、さらに
きびしい高温条件下でも安定して使用可能な低熱膨張耐
熱合金の開発、特に600℃、さらには700℃におけ
る強度特性が改善された低熱膨張耐熱合金の開発が待た
れている。
However, the development of a low thermal expansion heat resistant alloy which can be used stably even under severer high temperature conditions, especially a low thermal expansion heat resistant alloy having improved strength characteristics at 600 ° C., and especially 700 ° C. Development is awaited.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明の目的
は、上記したような温度範囲においても高い強度特性を
有する低熱膨張耐熱合金を提供することにある。すなわ
ち、本願請求項1の低熱膨張耐熱合金は、重量%で、ニ
ッケル20〜50%、コバルト25%以下、ニオブ5〜
15%、チタン2〜10%、アルミニウムおよびシリコ
ンの少なくとも1種1%以下、炭素0.2〜2.0%、
残部が鉄および不可避不純物でなる組成を有し、室温に
おける強度が1000MPa以上で600℃における強
度が800MPa以上であり、室温から600℃までの
熱膨張係数が12x10-6/℃以下であることを特徴と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a low thermal expansion heat-resistant alloy having high strength characteristics even in the above-mentioned temperature range. That is, the low-thermal-expansion heat-resistant alloy according to claim 1 of the present invention has a nickel content of 20 to 50%, a cobalt content of 25% or less, and a niobium content of 5 to 5% by weight.
15%, titanium 2-10%, at least one of aluminum and silicon 1% or less, carbon 0.2-2.0%,
The balance consists of iron and unavoidable impurities, the strength at room temperature is 1000 MPa or more, the strength at 600 ° C. is 800 MPa or more, and the coefficient of thermal expansion from room temperature to 600 ° C. is 12 × 10 −6 / ° C. or less. Features.

【0007】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、低熱膨張耐熱合金の平均結晶粒径は5μm以下、よ
り好ましくは1μm以下であることを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the low thermal expansion heat-resistant alloy has an average crystal grain size of 5 μm or less, more preferably 1 μm or less.

【0008】請求項3の発明は、請求項1もしくは2の
発明において、低熱膨張耐熱合金は、上記した合金組成
を構成する元素でなる金属間化合物及び炭化物の析出物
を含むことを特徴とする。
The invention of claim 3 is characterized in that, in the invention of claim 1 or 2, the low-thermal-expansion heat-resistant alloy contains a precipitate of an intermetallic compound and a carbide which are elements constituting the above-mentioned alloy composition. .

【0009】また、本発明の別の目的は、長時間を要す
る溶体化処理や時効処理を実施することなく高い常温強
度および高温強度を有する低熱膨張耐熱合金を製造する
方法を提供することにある。すなわち、本願請求項4の
低熱膨張耐熱合金の製造方法は、重量%で、ニッケル2
0〜50%、コバルト25%以下、ニオブ5〜15%、
チタン2〜10%、アルミニウムおよびシリコンの少な
くとも1種1%以下、炭素0.2〜2.0%、残部が鉄
および不可避不純物でなる組成となるように混合粉末を
作製する工程と、混合粉末を焼結する工程とを具備する
ことを特徴とする。
Another object of the present invention is to provide a method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy having high ordinary-temperature strength and high-temperature strength without performing a solution treatment or an aging treatment requiring a long time. . That is, the method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to claim 4 of the present application is as follows.
0-50%, cobalt 25% or less, niobium 5-15%,
A step of preparing a mixed powder so that titanium has a composition of 2 to 10%, at least one kind of aluminum and silicon of 1% or less, carbon of 0.2 to 2.0%, and a balance of iron and unavoidable impurities; And a step of sintering.

【0010】請求項5の発明は、請求項4の発明におい
て、混合粉末は、メカニカルアロイング法もしくはメカ
ニカルミリング法によって作製され、結晶粒径が1μm
以下であることを特徴とする。
According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect of the invention, the mixed powder is produced by a mechanical alloying method or a mechanical milling method, and has a crystal grain size of 1 μm.
It is characterized by the following.

【0011】請求項6の発明は、請求項4もしくは5の
発明において、混合粉末は、900〜1300℃の焼結
温度で焼結されることを特徴とする。
The invention of claim 6 is characterized in that, in the invention of claim 4 or 5, the mixed powder is sintered at a sintering temperature of 900 to 1300 ° C.

【0012】請求項7の発明は、請求項4〜6のいずれ
かの発明において、混合粉末は、上記した合金組成を有
する合金の粉末を原料としてメカニカルミリング法によ
って作製されることを特徴とする。
A seventh aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the fourth to sixth aspects, the mixed powder is produced by a mechanical milling method using an alloy powder having the above alloy composition as a raw material. .

【0013】請求項8の発明は、請求項4〜6のいずれ
かの発明において、混合粉末は、上記した合金組成を構
成する各単体元素の粉末を原料としてメカニカルアロイ
ング法によって作製されることを特徴とする。
According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the fourth to sixth aspects of the present invention, the mixed powder is produced by a mechanical alloying method using a powder of each single element constituting the alloy composition as a raw material. It is characterized by.

【0014】請求項9の発明は、請求項4〜6のいずれ
かの発明において、混合粉末は、上記した合金組成を構
成する元素の少なくとも2種以上の合金粉末と残りの各
単体元素の粉末を原料としてメカニカルアロイング法に
よって作製されることを特徴とする請求項10の発明
は、請求項9の発明において、上記した合金粉末は、鉄
−ニッケル−コバルト合金粉末であることを特徴とす
る。
According to a ninth aspect of the present invention, in any one of the fourth to sixth aspects of the present invention, the mixed powder comprises at least two or more alloy powders of the above-mentioned alloy composition and powders of the remaining individual elements. The invention according to claim 10 is characterized in that the alloy powder is manufactured by a mechanical alloying method using as a raw material, wherein the alloy powder is an iron-nickel-cobalt alloy powder in the invention according to claim 9. .

【0015】請求項11の発明は、請求項9の発明にお
いて、上記した合金粉末は、チタン炭化物、ニオブ炭化
物およびコバルト炭化物の少なくとも一種を含むことを
特徴とする。
According to an eleventh aspect, in the ninth aspect, the alloy powder contains at least one of titanium carbide, niobium carbide, and cobalt carbide.

【0016】請求項12の発明は、請求項4〜6のいず
れかの発明において、混合粉末は、上記した合金組成を
構成する元素の少なくとも1種の水素化物粉末と残りの
各単体元素の粉末または上記した合金組成を構成する元
素の少なくとも2種以上の合金粉末と残りの各単体元素
の粉末を原料としてメカニカルアロイング法によって作
製されることを特徴とする。
According to a twelfth aspect of the present invention, in any one of the fourth to sixth aspects of the present invention, the mixed powder is a powder of at least one hydride powder of the elements constituting the alloy composition and a powder of each of the remaining simple elements. Alternatively, it is characterized in that it is produced by a mechanical alloying method using at least two or more alloy powders of the elements constituting the above alloy composition and powders of the remaining individual elements as raw materials.

【0017】請求項13の発明は、請求項12の発明に
おいて、上記した水素化物は、ヘプタンもしくはその他
の炭化水素であることを特徴とする。
According to a thirteenth aspect, in the twelfth aspect, the hydride is heptane or another hydrocarbon.

【0018】請求項14の発明は、請求項12の発明に
おいて、上記した水素化物は、水素化チタンであること
を特徴とする。
According to a fourteenth aspect, in the twelfth aspect, the hydride is titanium hydride.

【0019】請求項15の発明は、請求項4〜14のい
ずれかの発明において、混合粉末は、放電プラズマ焼結
法、ホットプレス焼結法、もしくは金属粉末射出焼結法
によって焼結されることを特徴とする。
According to a fifteenth aspect of the present invention, in any one of the fourth to fourteenth aspects, the mixed powder is sintered by spark plasma sintering, hot press sintering, or metal powder injection sintering. It is characterized by the following.

【0020】請求項16の発明は、請求項4〜15のい
ずれかの発明において、混合粉末を焼結した後、得られ
た焼結体を焼結温度から急冷することを特徴とする。
The invention of claim 16 is characterized in that, in any one of the inventions of claims 4 to 15, after sintering the mixed powder, the obtained sintered body is rapidly cooled from a sintering temperature.

【0021】請求項17の発明は、請求項16の発明に
おいて、上記した焼結体を急冷した後、所定温度におい
てその焼結体に熱間加工を施すことを特徴とする。
According to a seventeenth aspect, in the sixteenth aspect, after the above-described sintered body is rapidly cooled, the sintered body is subjected to hot working at a predetermined temperature.

【0022】請求項18の発明は、請求項16の発明に
おいて、上記した焼結体を急冷した後、所定温度におい
てその焼結体に時効処理を施すことを特徴とする。
The invention of claim 18 is characterized in that, in the invention of claim 16, after the above-mentioned sintered body is rapidly cooled, the sintered body is subjected to an aging treatment at a predetermined temperature.

【0023】請求項19の発明は、請求項4〜15のい
ずれかの発明において、混合粉末を焼結した後、得られ
た焼結体に第1熱処理温度で溶体化処理を施し、さらに
第1熱処理温度から焼結体を急冷した後、第2熱処理温
度で時効処理を施すことを特徴とする。
The invention of claim 19 is the invention according to any one of claims 4 to 15, wherein after sintering the mixed powder, the obtained sintered body is subjected to a solution treatment at a first heat treatment temperature. After quenching the sintered body from the first heat treatment temperature, aging treatment is performed at the second heat treatment temperature.

【0024】請求項20の発明は、請求項4〜15のい
ずれかの発明において、混合粉末を焼結した後、得られ
た焼結体に第1熱処理温度で溶体化処理を施し、さらに
第1熱処理温度から焼結体を急冷した後、第2熱処理温
度で熱間加工を施すことを特徴とする。
According to a twentieth aspect, in any one of the fourth to fifteenth aspects, after sintering the mixed powder, the obtained sintered body is subjected to a solution treatment at a first heat treatment temperature. After quenching the sintered body from the first heat treatment temperature, hot working is performed at the second heat treatment temperature.

【0025】また、本発明のさらなる目的は、長時間を
要する溶体化処理や時効処理を実施することなく粉末冶
金法による特定の条件の下で製造される低熱膨張耐熱合
金を提供することにある。すなわち、本願請求項21の
低熱膨張耐熱合金は、重量%で、ニッケル20〜50
%、コバルト25%以下、ニオブ5〜15%、チタン2
〜10%、アルミニウムおよびシリコンの少なくとも1
種1%以下、炭素0.2〜2.0%、残部が鉄および不
可避不純物でなる組成を有する結晶粒径が5μm以下の
混合粉末を作成し、その混合粉末を非酸化性雰囲気中、
900℃〜1300℃の焼結温度で焼結することによっ
て製造されることを特徴とする。
It is a further object of the present invention to provide a low thermal expansion heat resistant alloy manufactured under specific conditions by powder metallurgy without performing a solution treatment or an aging treatment that requires a long time. . That is, the low-thermal-expansion heat-resistant alloy according to claim 21 of the present invention has a nickel content of 20 to 50 wt%.
%, Cobalt 25% or less, niobium 5-15%, titanium 2
-10%, at least one of aluminum and silicon
A mixed powder having a composition of 1% or less of seeds, 0.2 to 2.0% of carbon, and the balance of iron and unavoidable impurities and having a crystal grain size of 5 μm or less is prepared.
It is manufactured by sintering at a sintering temperature of 900C to 1300C.

【0026】以下、本発明を詳細に説明する。本発明の
低熱膨張耐熱合金は、重量%で、ニッケル20〜50
%、コバルト25%以下、ニオブ5〜15%、チタン2
〜10%、アルミニウムおよびシリコンの少なくとも1
種1%以下、炭素0.2〜2.0%、残部が鉄および不
可避不純物でなる。特に、本発明の低熱膨張耐熱合金の
代表的な合金組成としては、重量%で、ニッケル35%
±1%、コバルト12%±1%、ニオブ約10%±1
%、チタン5%±0.5%、アルミニウム0.05%±
0.02%、シリコン0.5%±0.1%、炭素1.0
%±0.2%、残部が鉄および不可避不純物でなる場合
を挙げることができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail. The low-thermal-expansion heat-resistant alloy of the present invention has a nickel content of 20 to 50% by weight.
%, Cobalt 25% or less, niobium 5-15%, titanium 2
-10%, at least one of aluminum and silicon
1% or less of seeds, 0.2 to 2.0% of carbon, the balance being iron and unavoidable impurities. In particular, a typical alloy composition of the low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention is 35% nickel by weight.
± 1%, cobalt 12% ± 1%, niobium about 10% ± 1
%, Titanium 5% ± 0.5%, aluminum 0.05% ±
0.02%, Silicon 0.5% ± 0.1%, Carbon 1.0
% ± 0.2%, with the balance being iron and unavoidable impurities.

【0027】本発明においては、炭素量を0.2〜2.
0%の範囲とするとともに、ニオブやチタンなどの炭化
物を形成しやすい元素の組成範囲を増加させていること
に特徴がある。これによりNbCやTiCなどの炭化物
とNi−Al,Ni−Ti等(γプライム相等)の金属間
化合物の両方を十分に析出させることが可能となる。こ
のように、上記した炭素量およびニオブやチタンの組成
範囲は、室温から700℃まで(特に600℃まで)の合
金強度を向上させる上で特に重要である。
In the present invention, the carbon content is set to 0.2 to 2.
In addition to the range of 0%, the composition range of elements that easily form carbides such as niobium and titanium is increased. This makes it possible to sufficiently precipitate both carbides such as NbC and TiC and intermetallic compounds such as Ni-Al and Ni-Ti (gamma prime phase). As described above, the above-mentioned carbon content and the composition range of niobium and titanium are particularly important for improving the alloy strength from room temperature to 700 ° C. (particularly, up to 600 ° C.).

【0028】上記合金組成を有する低熱膨張耐熱合金
は、室温において1000MPa以上、好ましくは16
00〜1700MPaの強度と、600℃において80
0MPa以上、好ましくは1200〜1300MPaの
強度を有するともに、室温から600℃までの熱膨張係
数は、12x10-6/℃以下であり、より具体的には8
〜11x10-6/℃の範囲内にあることを特徴とする。
The low-thermal-expansion heat-resistant alloy having the above-mentioned alloy composition is at least 1000 MPa at room temperature, preferably 16 MPa.
Strength of 100 to 1700 MPa and 80 at 600 ° C.
It has a strength of 0 MPa or more, preferably 1200 to 1300 MPa, and has a coefficient of thermal expansion from room temperature to 600 ° C. of 12 × 10 −6 / ° C. or less, more specifically 8 × 10 −6 / ° C.
1111 × 10 −6 / ° C.

【0029】また、上記のような強度特性を安定して提
供する上で、低熱膨張耐熱合金の平均結晶粒径は、5μ
m以下、特に1μm以下であることが好ましい。さら
に、上記した合金組成を構成する元素でなる金属間化合
物及び炭化物の析出微粒子が低熱膨張耐熱合金内に均一
に分散されていることが好ましい。
In order to stably provide the above strength characteristics, the average crystal grain size of the low thermal expansion heat resistant alloy is 5 μm.
m or less, particularly preferably 1 μm or less. Further, it is preferable that the precipitated fine particles of the intermetallic compound and the carbide, which are the elements constituting the above alloy composition, are uniformly dispersed in the low thermal expansion heat resistant alloy.

【0030】本発明の低熱膨張耐熱合金は、重量%で、
ニッケル20〜50%、コバルト25%以下、ニオブ5
〜15%、チタン2〜10%、アルミニウムおよびシリ
コンの少なくとも1種1%以下、炭素0.2〜2.0
%、残部が鉄および不可避不純物でなる組成となるよう
に混合粉末を作製する工程と、混合粉末を焼結する工程
とを含む製造方法により製造することができる。
The low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention comprises,
Nickel 20-50%, Cobalt 25% or less, Niobium 5
-15%, titanium 2-10%, at least one of aluminum and silicon 1% or less, carbon 0.2-2.0
%, With the balance being iron and unavoidable impurities, and producing a mixed powder, and sintering the mixed powder.

【0031】従来の低熱膨張耐熱合金は、上記合金組成
となるように作製された熔融合金を鋳造し、その後溶体
化処理および時効処理を実施して比較的大きな結晶粒に
γ´相などの金属間化合物を析出させて高温強度を確保
している。しかしながら、溶体化処理や時効処理は非常
に長時間を要するものであって、合金の製造効率を下げ
る大きな要因となっている。そこで、本発明の低熱膨張
耐熱合金の製造方法によれば、溶体化処理や時効処理を
行わなくても高い常温強度および高温強度を有する低熱
膨張耐熱合金を改善された製造効率で提供することがで
きるのである。
A conventional low-thermal-expansion heat-resistant alloy is prepared by casting a fusion alloy produced to have the above-described alloy composition, and then performing a solution treatment and an aging treatment to form relatively large crystal grains into a metal such as γ ′ phase. Intermediate compounds are precipitated to ensure high-temperature strength. However, the solution treatment and the aging treatment require a very long time, and are a major factor in lowering the production efficiency of the alloy. Therefore, according to the method for producing a low-thermal-expansion heat-resistant alloy of the present invention, it is possible to provide a low-thermal-expansion heat-resistant alloy having high room-temperature strength and high-temperature strength at an improved production efficiency without performing a solution treatment or an aging treatment. You can.

【0032】混合粉末を作製するにあたっては、メカニ
カルアロイング法もしくはメカニカルミリング法を採用
することが特に好ましい。メカニカルアロイング法と
は、ボールミルや遊星ボールミルなどで機械的な衝撃を
与えながら、2種以上の粉末(2種以上の単体元素粉末
の混合粉末でも、2種以上の合金粉末でも、合金粉末と
単体元素粉末の混合物でも良い)を混合して合金粉末を
作成する方法である。一方、メカニカルミリング法は、
1種の粉末(合金粉末でも単体元素粉末でも良い)に機械
的な衝撃を与えながら微細組織やアモルファスなどの粉
末を作成する方法である。メカニカルミリング法に特に
限定はないが、例えば、アルゴンガス等の不活性ガス雰
囲気中、20〜60時間ボールミル粉砕あるいは遊星ボ
ールミル粉砕する場合を挙げることができる。
In preparing the mixed powder, it is particularly preferable to employ a mechanical alloying method or a mechanical milling method. Mechanical alloying is a method of applying two or more powders (mixed powder of two or more elemental element powders, two or more alloy powders, (A mixture of elemental element powders may be mixed) to produce an alloy powder. On the other hand, the mechanical milling method
This is a method in which a fine structure, amorphous powder, or the like is produced while giving a mechanical impact to one kind of powder (either an alloy powder or a single element powder). The mechanical milling method is not particularly limited, and examples thereof include a case where ball milling or planetary ball milling is performed for 20 to 60 hours in an inert gas atmosphere such as argon gas.

【0033】メカニカルアロイング法もしくはメカニカ
ルミリング法を施す前の原料粉末としては、上記した合
金組成を有する合金をガスアトマイズ法または粗粉砕す
ることにより得た平均粒径200μm以下の合金粉末
や、ガスアトマイズ法、水アトマイズ法あるいは粗粉砕
することにより得た平均粒径200μm以下の上記した
合金組成を構成する各単体元素の粉末を使用することが
できる。
As the raw material powder before the mechanical alloying method or the mechanical milling method, an alloy powder having an average particle diameter of 200 μm or less obtained by gas atomizing or coarsely pulverizing an alloy having the above-mentioned alloy composition, or a gas atomizing method Alternatively, a powder of each single element constituting the above-mentioned alloy composition having an average particle diameter of 200 μm or less obtained by a water atomizing method or coarse pulverization can be used.

【0034】また、上記した合金組成を構成する元素の
少なくとも2種以上の合金粉末と残りの各単体元素の粉
末を原料としてメカニカルアロイング法によって混合粉
末を作製することも好ましい。合金組成を構成する元素
の少なくとも2種以上の合金粉末としては、たとえば、
鉄−ニッケルーコバルト合金であるコバール合金や、チ
タン炭化物、ニオブ炭化物およびコバルト炭化物の少な
くとも一種を使用することが好ましい。
It is also preferable to prepare a mixed powder by a mechanical alloying method using at least two or more alloy powders of the elements constituting the above-mentioned alloy composition and the powders of the remaining individual elements as raw materials. Examples of the alloy powder of at least two or more elements constituting the alloy composition include, for example,
It is preferable to use a Kovar alloy, which is an iron-nickel-cobalt alloy, and at least one of titanium carbide, niobium carbide, and cobalt carbide.

【0035】原料粉末として、低熱膨張合金であるコバ
ール合金を用いることで、メカニカルアロイングの時間
を短縮することができる。また、チタンやニオブなどの
酸化しやすい金属をTiCやNbCなどの炭化物で供給
する場合は、それらの純金属の粉末を原料とする場合に
比較して酸素含有量の少ない混合粉末を作製することが
でき、それにより焼結後に酸素含有量の少ない健全な合
金を得る上で好適である。
By using a Kovar alloy, which is a low thermal expansion alloy, as a raw material powder, the time of mechanical alloying can be reduced. In addition, when easily oxidizable metals such as titanium and niobium are supplied as carbides such as TiC and NbC, a mixed powder having a lower oxygen content should be prepared as compared with the case where powders of these pure metals are used as raw materials. This is suitable for obtaining a sound alloy having a low oxygen content after sintering.

【0036】さらに、上記した合金組成を構成する元素
の少なくとも1種の水素化物粉末と残りの各単体元素の
粉末を原料としてメカニカルアロイング法によって混合
粉末を作製しても良い。この場合、水素化物として、ヘ
プタンもしくはその他の炭化水素や水素化チタンを使用
することが好ましい。例えば、炭素の原料としてヘプタ
ン等の炭化水素や、TiH2などの水素化物を使用して
メカニカルアロイング法により混合粉末を作製する場合
は、平均粒径10〜30μm程度の粉末をポリプロピレ
ン樹脂とワックスあるいはポリアセタール樹脂とワック
スなどを主成分とする有機バインダーと混練して射出成
型用ペレットとし、金型内に射出成形機で射出成形して
成形体を作製し、加熱脱脂により有機バインダーを除去
した後、例えば真空中、約1200〜1300℃の温度
条件で普通焼結することにより本発明の低熱膨張耐熱合
金を製造することができる。このように、普通焼結法を
採用することにより、熱膨張が低く高温まで耐力の高い
複雑な3次元形状を有する合金部品を比較的安価に大量
生産することができる。
Further, a mixed powder may be prepared by a mechanical alloying method using at least one hydride powder of the elements constituting the above-mentioned alloy composition and the powder of the remaining individual elements as raw materials. In this case, it is preferable to use heptane or other hydrocarbons or titanium hydride as the hydride. For example, when a mixed powder is produced by a mechanical alloying method using a hydrocarbon such as heptane or a hydride such as TiH 2 as a carbon material, a powder having an average particle diameter of about 10 to 30 μm is mixed with a polypropylene resin and wax. Alternatively, after kneading with a polyacetal resin and an organic binder mainly composed of wax, etc., to prepare pellets for injection molding, injection molding in a mold with an injection molding machine to produce a molded body, and removing the organic binder by heat degreasing. For example, the low-thermal-expansion heat-resistant alloy of the present invention can be produced by ordinary sintering under a temperature condition of about 1200 to 1300 ° C. in a vacuum. Thus, by employing the ordinary sintering method, it is possible to mass-produce alloy parts having a complicated three-dimensional shape having a low thermal expansion and a high proof stress up to a high temperature at a relatively low cost.

【0037】焼結工程直前の混合粉末は、平均結晶粒径
が5μm以下、特に1μm以下であることが好ましい、
また、焼結は900〜1300℃の焼結温度で実施する
ことが特に好ましい。混合粉末の結晶粒径および焼結温
度が上記範囲にあれば、良好な室温強度および高温強度
を安定して得ることができる。尚、混合粉末を燒結する
にあたっては、放電プラズマ焼結法、ホットプレス焼結
法、もしくは金属粉末射出焼結法を採用することが好ま
しい。一例として、ホットプレス焼結を行う場合は、非
酸化性雰囲気、特に真空雰囲気中で30〜50MPaの
加圧下、1000〜1100℃の焼結温度で10〜20
分間燒結することが好ましい。また、プラズマ焼結を実
施する場合は、真空雰囲気中で30MPaの加圧下、1
000℃の焼結温度で5〜60分間燒結することが好ま
しい。これらの焼結工程により平均粒径が数μm以下、
好ましくは1μm以下で炭化物粒子(NbC等)が均一微
細に析出した合金構造を得ることができる。
The mixed powder immediately before the sintering step has an average crystal grain size of 5 μm or less, particularly preferably 1 μm or less.
It is particularly preferable to perform sintering at a sintering temperature of 900 to 1300 ° C. When the crystal grain size and the sintering temperature of the mixed powder are in the above ranges, good room-temperature strength and high-temperature strength can be stably obtained. In sintering the mixed powder, it is preferable to employ a spark plasma sintering method, a hot press sintering method, or a metal powder injection sintering method. As an example, when hot-press sintering is performed, a sintering temperature of 1000 to 1100 ° C. under a pressure of 30 to 50 MPa in a non-oxidizing atmosphere, particularly a vacuum atmosphere,
It is preferable to sinter for minutes. When plasma sintering is performed, a pressure of 30 MPa is applied in a vacuum atmosphere.
Sintering is preferably performed at a sintering temperature of 000 ° C. for 5 to 60 minutes. By these sintering processes, the average particle size is several μm or less,
Preferably, an alloy structure in which carbide particles (NbC and the like) are uniformly and finely precipitated at 1 μm or less can be obtained.

【0038】ところで、本発明においては、上記した粉
末冶金法により、溶体化処理や時効処理を実施せずとも
高い常温強度および高温強度を有する低熱膨張耐熱合金
を得ることができるが、得られた焼結体に対して溶体化
処理や時効処理を実施することを禁止するものではな
い。すなわち、粉末冶金法によって製造された低熱膨張
耐熱合金には炭化物粒子が均一に析出しており、それ自
体優れた室温強度および600℃における高温強度を有
するものである。しかし、γプライム相等の金属間化合
物の析出が焼結後の冷却速度の設定によっては析出が十
分に生じなかったり、粗大な金属間化合物が析出したり
する恐れがある。そこで、必要に応じて時効処理のみ、
または溶体化処理後に時効処理することで微細な金属間
化合物の析出を促し、低熱膨張耐熱合金の600℃より
高温側(700℃)における強度をさらに改善することが
できるのである。
In the present invention, a low thermal expansion heat-resistant alloy having high ordinary-temperature strength and high-temperature strength can be obtained by the above-mentioned powder metallurgy method without performing solution treatment or aging treatment. It does not prohibit solution treatment or aging treatment on the sintered body. That is, carbide particles are uniformly precipitated in the low-thermal-expansion heat-resistant alloy manufactured by the powder metallurgy method, and itself has excellent room-temperature strength and high-temperature strength at 600 ° C. However, depending on the setting of the cooling rate after sintering, precipitation of an intermetallic compound such as the γ-prime phase may not be sufficiently generated, or a coarse intermetallic compound may be precipitated. Therefore, if necessary, only the aging process,
Alternatively, the aging treatment after the solution treatment promotes the precipitation of fine intermetallic compounds, and can further improve the strength of the low thermal expansion heat-resistant alloy at a temperature higher than 600 ° C. (700 ° C.).

【0039】具体的には、混合粉末を焼結した後、得ら
れた焼結体を焼結温度からガス冷却等により急冷するこ
とが効果的である。例えば、アルゴンや窒素等の不活性
ガスを使用して20℃/分以上の冷却速度で冷却するこ
とが好ましい。これにより、組織の粗大化を効果的に抑
制することができ、室温から700℃までの強度が改善
された合金を得る上で有効である。
Specifically, after sintering the mixed powder, it is effective to rapidly cool the obtained sintered body from the sintering temperature by gas cooling or the like. For example, it is preferable to cool at a cooling rate of 20 ° C./min or more using an inert gas such as argon or nitrogen. Thereby, coarsening of the structure can be effectively suppressed, and this is effective in obtaining an alloy with improved strength from room temperature to 700 ° C.

【0040】また、得られた焼結体をガス冷却等により
焼結温度から急冷した後、所定温度においてその焼結体
に熱間加工を施すことも好ましい。例えば、焼結温度か
らおよそ100℃以下まで急冷した後、約750℃で熱
間鍛造、熱間圧延あるいは熱間押し出し加工等を行うこ
とを例示できる。急冷後に熱間加工することで平均結晶
粒径が数μm以下になるとともに、加工により析出核と
なる転位等の格子欠陥が均一に導入されるので、炭化物
あるいはTi−Alなどの金属間化合物(γ´相など)が
均一微細に析出して室温〜700℃までの強度を更に改
善することができる。尚、熱間加工は、所定の熱間加工
温度まで急冷し、100℃以下まで冷却することなく行
っても良い。
It is also preferable that the obtained sintered body is rapidly cooled from the sintering temperature by gas cooling or the like, and then the sintered body is subjected to hot working at a predetermined temperature. For example, after quenching from the sintering temperature to about 100 ° C. or less, hot forging, hot rolling, hot extrusion, or the like may be performed at about 750 ° C. By hot working after quenching, the average crystal grain size becomes several μm or less, and lattice defects such as dislocations serving as precipitation nuclei are uniformly introduced by the working, so that carbides or intermetallic compounds such as Ti-Al ( γ ′ phase) is uniformly and finely precipitated to further improve the strength from room temperature to 700 ° C. The hot working may be performed by rapidly cooling to a predetermined hot working temperature and without cooling to 100 ° C. or lower.

【0041】さらに、得られた焼結体をガス冷却等によ
り焼結温度から急冷した後、所定温度においてその焼結
体に時効処理を施すことも好ましい。例えば、焼結温度
からおよそ100℃以下まで急冷した後、約750℃で
10時間程度時効処理を実施することを例示できる。急
冷後に時効処理することで平均結晶粒径が数μm以下と
なり、炭化物あるいはTi−Alなどの金属間化合物
(γ´相など)が均一微細に析出して室温〜700℃まで
の強度を更に改善することができる。
Further, it is preferable that the obtained sintered body is rapidly cooled from a sintering temperature by gas cooling or the like, and then the sintered body is subjected to an aging treatment at a predetermined temperature. For example, after quenching from the sintering temperature to about 100 ° C. or less, aging treatment may be performed at about 750 ° C. for about 10 hours. By aging treatment after quenching, the average crystal grain size becomes several μm or less, and carbides or intermetallic compounds such as Ti-Al
(γ ′ phase, etc.) can be uniformly and finely precipitated to further improve the strength from room temperature to 700 ° C.

【0042】また、得られた混合粉末を焼結した後、そ
の焼結体に第1熱処理温度で溶体化処理を施し、さらに
第1熱処理温度から焼結体を急冷した後、第2熱処理温
度で時効処理を施すことも好ましい。例えば、第1熱処
理温度での溶体化処理としては、950℃〜1100℃
の温度で2時間保持することが好ましい。また、第1熱
処理温度から焼結体を急冷する場合は、水焼入れ、油焼
入れあるいはガス焼入れで約100℃以下まで冷却する
ことが好ましい。一方、第2熱処理温度での時効処理と
しては、例えば、750〜850℃の温度で10時間保
持する時効処理を例示することができる。溶体化処理に
続いて急冷した後、時効処理することで炭化物あるいは
Ti−Al等の金属間化合物が均一微細に析出するの
で、得られた合金の室温強度および高温強度(700
℃)を更に改善することができる。
After sintering the obtained mixed powder, the sintered body is subjected to a solution treatment at a first heat treatment temperature, and the sintered body is rapidly cooled from the first heat treatment temperature. It is also preferable to perform aging treatment. For example, the solution treatment at the first heat treatment temperature is 950 ° C. to 1100 ° C.
It is preferable to hold at the temperature of 2 hours. When the sintered body is rapidly cooled from the first heat treatment temperature, it is preferable to cool the sintered body to about 100 ° C. or less by water quenching, oil quenching, or gas quenching. On the other hand, as the aging treatment at the second heat treatment temperature, for example, an aging treatment of maintaining the temperature at 750 to 850 ° C. for 10 hours can be exemplified. After quenching after the solution treatment, aging treatment is performed to precipitate carbides or intermetallic compounds such as Ti-Al uniformly and finely.
° C) can be further improved.

【0043】また、得られた混合粉末を焼結した後、そ
の焼結体に第1熱処理温度で溶体化処理を施し、さらに
第1熱処理温度から焼結体を急冷した後、第2熱処理温
度で熱間加工を施すことも好ましい。例えば、第1熱処
理温度での溶体化処理としては、950℃〜1100℃
の温度で2時間保持することが好ましい。また、第1熱
処理温度から焼結体を急冷する場合は、水焼入れ、油焼
入れあるいはガス焼入れで約100℃以下まで冷却する
ことが好ましい。さらに、第2熱処理温度での熱間加工
としては、例えば、750〜850℃の温度で熱間鍛
造、熱間圧延あるいは熱間押出し加工等を実施すること
を例示できる。溶体化処理に続いて急冷した後、熱間加
工を施すことで炭化物あるいはTi−Al等の金属間化
合物が均一微細に析出するので、得られた合金の室温強
度および高温強度(700℃)をさらに改善することが
できる。尚、熱間加工は、所定の熱間加工温度まで急冷
し、100℃以下まで冷却することなく行っても良い。
After sintering the obtained mixed powder, the sintered body is subjected to a solution treatment at a first heat treatment temperature, and the sintered body is rapidly cooled from the first heat treatment temperature. It is also preferable to perform hot working. For example, the solution treatment at the first heat treatment temperature is 950 ° C. to 1100 ° C.
It is preferable to hold at the temperature of 2 hours. When the sintered body is rapidly cooled from the first heat treatment temperature, it is preferable to cool the sintered body to about 100 ° C. or less by water quenching, oil quenching, or gas quenching. Further, examples of the hot working at the second heat treatment temperature include, for example, performing hot forging, hot rolling, or hot extrusion at a temperature of 750 to 850 ° C. After quenching after the solution treatment, carbides or intermetallic compounds such as Ti-Al are uniformly and finely precipitated by performing hot working, so that the room temperature strength and high temperature strength (700 ° C.) of the obtained alloy are reduced. Further improvements can be made. The hot working may be performed by rapidly cooling to a predetermined hot working temperature and without cooling to 100 ° C. or lower.

【0044】[0044]

【発明の実施の形態】本発明の低熱膨張耐熱合金および
その製造方法を以下の実施例に基いて具体的に説明す
る。 (実施例1)組成が重量%で、ニッケル約35%、コバ
ルト約15%、ニオブ約10%、チタン約5%、アルミ
ニウム約0.1%、炭素約1%、残部が鉄でなる合金を
作成し、この合金を平均粒径が約200μm以下になる
ように粗粉砕した。得られた粉末をステンレスボールと
共にステンレス製ボールミルポットに入れ、アルゴンガ
スをポットに封入して、48時間ボールミル粉砕した。
これにより平均粒径が2〜3μm程度の合金粉末を得
た。この合金粉末を放電プラズマ焼結用のモールドに充
填し、真空中、30MPaの圧力下、1000℃で10
分間放電プラズマ焼結を実施した。このようにして、本
発明の低熱膨張耐熱合金の焼結体を得た。この焼結体を
所定の形状に加工して強度評価用試片を作成した。強度
測定の結果、室温および600℃における0.2%耐力
は、それぞれ1620MPa、1200MPaであっ
た。また、室温から600℃までの熱膨張係数は、8〜
11x10-6/℃の範囲内であった。 (実施例2)組成が重量%で、ニッケル約30%、コバ
ルト約15%、ニオブ約10%、チタン約5%、アルミ
ニウム約0.1%、炭素約1%、残部が鉄となるように
ニッケル、コバルト、ニオブ、チタン、アルミニウム、
および黒鉛の各粉末を秤量し、これらの粉末をステンレ
スボールと共にステンレス製ボールミルポットに入れ、
アルゴンガスをポットに封入して、60時間ボールミル
粉砕した。尚、原料粉末となる各単体金属の粉末として
は、ガスアトマイズ法、水アトマイズ法または粗粉砕に
より作製された平均粒径200μm以下の粉末を使用し
た。このようにして焼結用の混合粉末を得た。この混合
粉末をホットプレス焼結用のモールドに充填し、真空
中、50MPaの圧力下、1100℃で20分間ホット
プレス焼結を実施した。このようにして、本発明の低熱
膨張耐熱合金の焼結体を得た。この焼結体を所定の形状
に加工して強度評価用試片を作成した。測定の結果、室
温および600℃における0.2%耐力は、それぞれ1
650MPa、1125MPaであった。また、室温か
ら600℃までの熱膨張係数は、8〜11x10-6/℃
の範囲内であった。 (実施例3)組成が重量%で、ニッケル約35%、コバ
ルト約15%、ニオブ約10%、チタン約5%、シリコ
ン約0.5%、アルミニウム約0.1%、炭素約1%、
残部が鉄となるようにFe−29%Ni−17%Co合
金粉末(コバール合金粉末)、ニッケル粉末、チタン粉
末、シリコン粉末、アルミニウム粉末、および炭化水素
であるヘプタンを秤量した。投入する原料粉末の配合と
して、ニッケル約15%、ニオブ約10%、チタン約5
%、シリコン約0,5%、アルミニウム約0.1%、ヘ
プタン約5%、残部をコバール合金粉末とした。これら
の粉末をステンレスボールと共にステンレス製ボールミ
ルポットに入れ、アルゴンガスをポットに封入して、4
8時間遊星ボールミルによりメカニカルアロイングを実
施して粉砕した。これにより平均粒径が1μm以下の混
合粉末を得た。この混合粉末を放電プラズマ焼結用のモ
ールドに充填し、真空中、30MPaの圧力下、103
0℃で5分間および60分間放電プラズマ焼結を実施し
た。このようにして、本発明の低熱膨張耐熱合金の焼結
体を得た。これらの焼結体を所定の形状に加工して強度
評価用試片を作成した。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention and a method for producing the same will be specifically described based on the following examples. (Example 1) An alloy composed of about 35% of nickel, about 15% of cobalt, about 10% of niobium, about 5% of titanium, about 0.1% of aluminum, about 1% of carbon, and the balance of iron in weight% The alloy was prepared and coarsely pulverized so that the average particle size was about 200 μm or less. The obtained powder was put into a stainless steel ball mill pot together with a stainless steel ball, argon gas was sealed in the pot, and ball milling was performed for 48 hours.
Thereby, an alloy powder having an average particle size of about 2 to 3 μm was obtained. This alloy powder is filled in a mold for spark plasma sintering, and the pressure is 10 MPa at 1000 ° C. under a pressure of 30 MPa in a vacuum.
Spark plasma sintering was performed for a minute. Thus, a sintered body of the low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention was obtained. This sintered body was processed into a predetermined shape to prepare a test piece for strength evaluation. As a result of the strength measurement, the 0.2% proof stress at room temperature and 600 ° C. was 1620 MPa and 1200 MPa, respectively. The coefficient of thermal expansion from room temperature to 600 ° C. is 8 to
It was within the range of 11 × 10 −6 / ° C. (Example 2) The composition is such that nickel is about 30%, cobalt is about 15%, niobium is about 10%, titanium is about 5%, aluminum is about 0.1%, carbon is about 1%, and the balance is iron. Nickel, cobalt, niobium, titanium, aluminum,
Weigh each powder of graphite and graphite, put these powders in a stainless steel ball mill pot with stainless steel balls,
Argon gas was sealed in the pot and ball milled for 60 hours. In addition, as the powder of each single metal used as a raw material powder, a powder having an average particle diameter of 200 μm or less produced by a gas atomization method, a water atomization method, or coarse pulverization was used. Thus, a mixed powder for sintering was obtained. This mixed powder was filled in a mold for hot press sintering, and hot press sintering was performed at 1100 ° C. for 20 minutes in a vacuum at a pressure of 50 MPa. Thus, a sintered body of the low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention was obtained. This sintered body was processed into a predetermined shape to prepare a test piece for strength evaluation. As a result of the measurement, the 0.2% proof stress at room temperature and 600 ° C. was 1
It was 650 MPa and 1125 MPa. The coefficient of thermal expansion from room temperature to 600 ° C. is 8 to 11 × 10 −6 / ° C.
Was within the range. (Example 3) The composition is about 35% by weight of nickel, about 15% of cobalt, about 10% of niobium, about 5% of titanium, about 0.5% of silicon, about 0.1% of aluminum, about 1% of carbon, about 1% of carbon,
Fe-29% Ni-17% Co alloy powder (Kovar alloy powder), nickel powder, titanium powder, silicon powder, aluminum powder, and heptane as a hydrocarbon were weighed so that the balance was iron. About 15% of nickel, about 10% of niobium, about 5% of titanium
%, About 0.5% of silicon, about 0.1% of aluminum, about 5% of heptane, and the remainder was Kovar alloy powder. These powders were placed in a stainless steel ball mill pot together with stainless steel balls, and argon gas was sealed in the pots.
Pulverization was performed by mechanical alloying for 8 hours using a planetary ball mill. As a result, a mixed powder having an average particle size of 1 μm or less was obtained. This mixed powder was filled in a mold for spark plasma sintering, and the pressure was 30 MPa in a vacuum.
Spark plasma sintering was performed at 0 ° C. for 5 minutes and 60 minutes. Thus, a sintered body of the low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention was obtained. These sintered bodies were processed into a predetermined shape to prepare a test piece for strength evaluation.

【0045】本実施例において得られた合金(焼結時
間:5分および60分)のそれぞれに対して、室温(2
8℃)、400℃、500℃、600℃および700℃
のそれぞれにおいて0.2%耐力を測定した。測定結果
を図1に示す。また、特許公報4−1057号の時効硬
化型制御膨張合金の組成に相当する合金(比較例)の温度
−強度特性の関係を参考までに図1に示す。図1のグラ
フから分かるように、本発明の低熱膨張耐熱合金は、焼
結時間が5分および60分のいずれにおいても600℃
まで約1200MPaもしくはそれ以上の強度が維持さ
れ、特に焼結時間を60分とした場合は700℃におい
てさえ約900MPaの強度を維持できた。
For each of the alloys obtained in this example (sintering time: 5 minutes and 60 minutes), room temperature (2 minutes)
8 ° C), 400 ° C, 500 ° C, 600 ° C and 700 ° C
The 0.2% proof stress was measured in each of. FIG. 1 shows the measurement results. FIG. 1 shows a temperature-strength characteristic relationship of an alloy (comparative example) corresponding to the composition of the age hardening type controlled expansion alloy disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-1057. As can be seen from the graph of FIG. 1, the low-thermal-expansion heat-resistant alloy of the present invention has a sintering time of 600 ° C. for both 5 minutes and 60 minutes.
A strength of about 1200 MPa or more was maintained up to that point, and particularly when the sintering time was 60 minutes, a strength of about 900 MPa could be maintained even at 700 ° C.

【0046】それぞれの温度における本実施例の低熱膨
張耐熱合金の熱膨張係数を測定したところ、8〜11x
10-6/℃の範囲内であった。また、本実施例の低熱膨
張耐熱合金の組織を示すTEM写真の一例を図2に示
す。TEM観察により、平均粒径1μm以下の結晶粒で
なる母相の粒界に析出物粒子(NbC等)が均一微細に分
散しているのが確認された。図3は、本実施例において
得られた合金(焼結時間:5分および60分)のそれぞ
れのX線回折結果である。60分間焼結した場合におい
て、炭化物のピークがより顕著にかつシャープになって
いるのがわかる。 (実施例4)実施例1の混合粉末を実施例1と同じ条件
で焼結した後、得られた焼結体をその焼結温度からアル
ゴンガス冷却により急冷した。この時の冷却速度は、約
20℃/分以上であった。これにより、本実施例の焼結
体の700℃における0.2%耐力は、約820MPa
であった。 (実施例5)実施例1の混合粉末を実施例1と同じ条件
で焼結した後、アルゴンガス冷却により焼結温度から1
00℃以下に急冷し、さらに750℃に加熱してその焼
結体に熱間鍛造を施した。これにより、本実施例の焼結
体の700℃における0.2%耐力は、約950MPa
であった。 (実施例6)実施例1の混合粉末を実施例1と同じ条件
で焼結した後、アルゴンガス冷却により焼結温度から1
00℃以下に急冷し、さらに750℃で10時間時効処
理を実施した。これにより、本実施例の焼結体の700
℃における0.2%耐力は、約1020MPaであっ
た。 (実施例7)実施例2の混合粉末を実施例2と同じ条件
で焼結した後、その焼結体に1000℃で2時間溶体化
処理を施し、さらに水焼き入れにより1000℃から焼
結体を100℃以下に急冷した。その後、800℃で1
0時間時効処理を施した。これにより、本実施例の焼結
体の700℃における0.2%耐力は、約1030MP
aであった。 (実施例8)実施例2の混合粉末を実施例2と同じ条件
で焼結した後、その焼結体に950℃で2時間溶体化処
理を施し、さらに950℃からアルゴンガス冷却により
その焼結体を急冷した。その後、850℃で熱間鍛造を
施した。これにより、本実施例の焼結体の700℃にお
ける0.2%耐力は、約1070MPaであった。
When the coefficient of thermal expansion of the heat-resistant alloy with low thermal expansion of this embodiment at each temperature was measured, it was found to be 8 to 11 ×
It was in the range of 10 -6 / ° C. FIG. 2 shows an example of a TEM photograph showing the structure of the low-thermal-expansion heat-resistant alloy of this example. By TEM observation, it was confirmed that the precipitate particles (NbC, etc.) were uniformly and finely dispersed at the grain boundaries of the parent phase composed of crystal grains having an average particle diameter of 1 μm or less. FIG. 3 shows the results of X-ray diffraction of each of the alloys (sintering times: 5 minutes and 60 minutes) obtained in this example. It can be seen that in the case of sintering for 60 minutes, the peak of carbide is more remarkable and sharp. (Example 4) After sintering the mixed powder of Example 1 under the same conditions as in Example 1, the obtained sintered body was rapidly cooled from its sintering temperature by cooling with argon gas. The cooling rate at this time was about 20 ° C./min or more. Thereby, the 0.2% proof stress at 700 ° C. of the sintered body of the present example is about 820 MPa.
Met. (Example 5) After sintering the mixed powder of Example 1 under the same conditions as in Example 1, the temperature was lowered from the sintering temperature by argon gas cooling.
The sintered body was rapidly cooled to 00 ° C. or lower, further heated to 750 ° C., and subjected to hot forging. Thus, the 0.2% proof stress at 700 ° C. of the sintered body of the present example is about 950 MPa
Met. (Example 6) After sintering the mixed powder of Example 1 under the same conditions as in Example 1, the sintered powder was cooled from the sintering temperature by argon gas cooling.
It was rapidly cooled to 00 ° C. or lower, and further subjected to aging treatment at 750 ° C. for 10 hours. Thereby, 700 of the sintered body of the present example was obtained.
The 0.2% proof stress at ° C. was about 1020 MPa. (Example 7) After sintering the mixed powder of Example 2 under the same conditions as in Example 2, the sintered body is subjected to a solution treatment at 1000 ° C for 2 hours, and further sintered from 1000 ° C by water quenching. The body was quenched below 100 ° C. Then, at 800 ° C, 1
A 0 hour aging treatment was performed. As a result, the 0.2% proof stress at 700 ° C. of the sintered body of this example is about 1030 MPa
a. (Example 8) After sintering the mixed powder of Example 2 under the same conditions as in Example 2, the sintered body was subjected to a solution treatment at 950 ° C for 2 hours, and further sintered at 950 ° C by cooling with argon gas. The body was quenched. Thereafter, hot forging was performed at 850 ° C. Thereby, the 0.2% proof stress at 700 ° C. of the sintered body of this example was about 1070 MPa.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明においては、重量%で、ニッケル
20〜50%、コバルト25%以下、ニオブ5〜15
%、チタン2〜10%、アルミニウムおよびシリコンの
少なくとも1種1%以下、炭素0.2〜2.0%、残部
が鉄および不可避不純物でなる合金組成とすることによ
り、室温において1000MPa以上の強度と600℃
において800MPa以上の強度を有するとともに、室
温から600℃までの熱膨張係数が12x10-6/℃以
下の低熱膨張耐熱合金を提供することができる。
According to the present invention, nickel is 20 to 50%, cobalt is 25% or less, and niobium is 5 to 15% by weight.
%, Titanium 2-10%, at least one of aluminum and silicon 1% or less, carbon 0.2-2.0%, the balance being iron and unavoidable impurities, the strength of which is 1000 MPa or more at room temperature. And 600 ° C
In addition, a low-heat-expansion heat-resistant alloy having a strength of 800 MPa or more and a thermal expansion coefficient from room temperature to 600 ° C. of 12 × 10 −6 / ° C. or less can be provided.

【0048】本発明の低熱膨張耐熱合金の製造方法とし
ては、従来の鋳造法ではなく粉末冶金的手法を採用する
ことが特に好ましく、これにより従来より行われている
長時間の溶体化処理や時効処理を省くことができ、上記
したような高い強度特性および低い熱膨張係数を有する
低熱膨張耐熱合金を改善された製造効率で提供すること
ができる。特に、上記の合金組成を有する結晶粒径が5
μm以下、より好ましくは1μm以下の混合粉末を作成
して、この混合粉末を非酸化性雰囲気中、900℃〜1
300℃の焼結温度で焼結する場合においては、得られ
た合金の母相の結晶粒子径が微細になって上記した特性
を有する低熱膨張耐熱合金を安定して製造することがで
きる。
As a method for producing the low thermal expansion heat-resistant alloy of the present invention, it is particularly preferable to employ a powder metallurgy method instead of a conventional casting method, whereby a long-time solution treatment or aging conventionally performed. Processing can be omitted, and a low-thermal-expansion heat-resistant alloy having high strength characteristics and a low thermal expansion coefficient as described above can be provided with improved production efficiency. In particular, when the crystal grain size having the above alloy composition is 5
μm or less, more preferably 1 μm or less, and prepare the mixed powder in a non-oxidizing atmosphere at 900 ° C. to 1 ° C.
In the case of sintering at a sintering temperature of 300 ° C., the crystal grain size of the mother phase of the obtained alloy becomes fine, and a low-thermal-expansion heat-resistant alloy having the above characteristics can be stably manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例に基づく低熱膨張耐熱合金の
0.2%耐力と温度の関係を示すグラフである。
FIG. 1 is a graph showing the relationship between 0.2% proof stress and temperature of a low thermal expansion heat-resistant alloy according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例に基く低熱膨張耐熱合金のTE
M写真の複写物である。
FIG. 2 shows TE of a low thermal expansion heat-resistant alloy according to an embodiment of the present invention.
It is a copy of an M photograph.

【図3】本発明の実施例に基く低熱膨張耐熱合金のX線
回折チャートである。
FIG. 3 is an X-ray diffraction chart of a low thermal expansion heat-resistant alloy according to an example of the present invention.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B22F 3/105 B22F 3/105 3/14 3/14 D 3/24 3/24 B E C21D 6/00 101 C21D 6/00 101A C22C 38/14 C22C 38/14 Fターム(参考) 4K018 AA30 AB07 AC01 BA03 BA04 BA08 BA20 BC16 DA21 DA31 EA02 EA22 EA31 EA46 FA08 KA07 KA70 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B22F 3/105 B22F 3/105 3/14 3/14 D 3/24 3/24 BE EC21D 6/00 101 C21D 6/00 101A C22C 38/14 C22C 38/14 F term (reference) 4K018 AA30 AB07 AC01 BA03 BA04 BA08 BA20 BC16 DA21 DA31 EA02 EA22 EA31 EA46 FA08 KA07 KA70

Claims (21)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 重量%で、ニッケル20〜50%、コバ
ルト25%以下、ニオブ5〜15%、チタン2〜10
%、アルミニウムおよびシリコンの少なくとも1種1%
以下、炭素0.2〜2.0%、残部が鉄および不可避不
純物でなる組成を有し、室温における強度が1000M
Pa以上で600℃における強度が800MPa以上で
あり、室温から600℃までの熱膨張係数が12x10
-6/℃以下であることを特徴とする低熱膨張耐熱合金。
1% by weight of nickel 20 to 50%, cobalt 25% or less, niobium 5 to 15%, titanium 2 to 10
%, At least one of aluminum and silicon 1%
Hereinafter, it has a composition of 0.2 to 2.0% carbon, the balance being iron and inevitable impurities, and a strength at room temperature of 1000M.
The strength at 600 ° C. is 800 MPa or more at Pa or higher, and the coefficient of thermal expansion from room temperature to 600 ° C. is 12 × 10
A low thermal expansion heat-resistant alloy characterized by having a temperature of -6 / ° C or less.
【請求項2】 上記合金の平均結晶粒径は5μm以下、
より好ましくは1μm以下であることを特徴とする請求
項1に記載の低熱膨張耐熱合金。
2. The alloy has an average crystal grain size of 5 μm or less,
The low thermal expansion heat resistant alloy according to claim 1, wherein the thickness is more preferably 1 µm or less.
【請求項3】 上記合金は、上記合金組成を構成する元
素でなる金属間化合物及び炭化物の析出物を含むことを
特徴とする請求項1あるいは2に記載の低熱膨張耐熱合
金。
3. The low thermal expansion heat-resistant alloy according to claim 1, wherein the alloy contains a precipitate of an intermetallic compound and a carbide which are elements constituting the alloy composition.
【請求項4】 重量%で、ニッケル20〜50%、コバ
ルト25%以下、ニオブ5〜15%、チタン2〜10
%、アルミニウムおよびシリコンの少なくとも1種1%
以下、炭素0.2〜2.0%、残部が鉄および不可避不
純物でなる組成となるように混合粉末を作製する工程
と、前記混合粉末を焼結する工程とを具備することを特
徴とする低熱膨張耐熱合金の製造方法。
4. Nickel 20 to 50%, cobalt 25% or less, niobium 5 to 15%, titanium 2 to 10% by weight
%, At least one of aluminum and silicon 1%
Hereinafter, the method includes a step of preparing a mixed powder so as to have a composition of 0.2 to 2.0% carbon and the balance being iron and unavoidable impurities, and a step of sintering the mixed powder. Manufacturing method of low thermal expansion heat resistant alloy.
【請求項5】 上記混合粉末は、メカニカルアロイング
法もしくはメカニカルミリング法によって作製され、結
晶粒径が1μm以下であることを特徴とする請求項4に
記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
5. The method according to claim 4, wherein the mixed powder is prepared by a mechanical alloying method or a mechanical milling method, and has a crystal grain size of 1 μm or less.
【請求項6】 上記混合粉末は、900〜1300℃の
焼結温度で焼結されることを特徴とする請求項4もしく
は5に記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
6. The method according to claim 4, wherein the mixed powder is sintered at a sintering temperature of 900 to 1300 ° C.
【請求項7】 上記混合粉末は、上記合金組成を有する
合金の粉末を原料としてメカニカルミリング法によって
作製されることを特徴とする請求項4〜6のいずれかに
記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
7. The method for producing a heat-resistant alloy with low thermal expansion according to claim 4, wherein the mixed powder is produced by a mechanical milling method using an alloy powder having the alloy composition as a raw material. Method.
【請求項8】 上記混合粉末は、上記合金組成を構成す
る各単体元素の粉末を原料としてメカニカルアロイング
法によって作製されることを特徴とする請求項4〜6の
いずれかに記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
8. The low thermal expansion according to claim 4, wherein the mixed powder is produced by a mechanical alloying method using a powder of each element constituting the alloy composition as a raw material. Manufacturing method of heat-resistant alloy.
【請求項9】 上記混合粉末は、上記合金組成を構成す
る元素の少なくとも2種以上の合金粉末と残りの各単体
元素の粉末を原料としてメカニカルアロイング法によっ
て作製されることを特徴とする請求項4〜6のいずれか
に記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
9. The mixed powder is manufactured by a mechanical alloying method using at least two or more alloy powders of the elements constituting the alloy composition and powders of the remaining individual elements as raw materials. Item 7. The method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to any one of Items 4 to 6.
【請求項10】 上記合金粉末は、鉄−ニッケル−コバ
ルト合金粉末であることを特徴とする請求項9に記載の
低熱膨張耐熱合金の製造方法。
10. The method according to claim 9, wherein the alloy powder is an iron-nickel-cobalt alloy powder.
【請求項11】 上記合金粉末は、チタン炭化物、ニオ
ブ炭化物およびコバルト炭化物の少なくとも一種を含む
ことを特徴とする請求項9に記載の低熱膨張耐熱合金の
製造方法。
11. The method according to claim 9, wherein the alloy powder contains at least one of titanium carbide, niobium carbide and cobalt carbide.
【請求項12】 上記混合粉末は、上記合金組成を構成
する元素の少なくとも1種の水素化物粉末と残りの各単
体元素の粉末または上記合金組成を構成する元素の少な
くとも2種以上の合金粉末と残りの各単体元素の粉末を
原料としてメカニカルアロイング法によって作製される
ことを特徴とする請求項4〜6のいずれかに記載の低熱
膨張耐熱合金の製造方法。
12. The mixed powder comprises at least one hydride powder of the elements constituting the alloy composition and powder of the remaining individual elements or at least two or more alloy powders of the elements constituting the alloy composition. The method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to any one of claims 4 to 6, wherein the alloy is produced by a mechanical alloying method using the remaining powders of the individual elements as raw materials.
【請求項13】 上記水素化物は、ヘプタンもしくはそ
の他の炭化水素であることを特徴とする請求項12に記
載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
13. The method according to claim 12, wherein the hydride is heptane or another hydrocarbon.
【請求項14】 上記水素化物は、水素化チタンである
ことを特徴とする請求項12に記載の低熱膨張耐熱合金
の製造方法。
14. The method according to claim 12, wherein the hydride is titanium hydride.
【請求項15】 上記混合粉末は、放電プラズマ焼結
法、ホットプレス焼結法、もしくは金属粉末射出焼結法
によって焼結されることを特徴とする請求項4〜14の
いずれかに記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
15. The method according to claim 4, wherein the mixed powder is sintered by spark plasma sintering, hot press sintering, or metal powder injection sintering. Manufacturing method of low thermal expansion heat resistant alloy.
【請求項16】 上記混合粉末を焼結した後、得られた
焼結体を焼結温度から急冷することを特徴とする請求項
4〜15のいずれかに記載の低熱膨張耐熱合金の製造方
法。
16. The method according to claim 4, wherein after sintering the mixed powder, the obtained sintered body is rapidly cooled from a sintering temperature. .
【請求項17】 上記焼結体を急冷した後、所定温度に
おいて上記焼結体に熱間加工を施すことを特徴とする請
求項16に記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
17. The method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to claim 16, wherein after rapidly cooling the sintered body, the sintered body is subjected to hot working at a predetermined temperature.
【請求項18】 上記焼結体を急冷した後、所定温度に
おいて上記焼結体に時効処理を施すことを特徴とする請
求項16に記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
18. The method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to claim 16, wherein after rapidly cooling the sintered body, the sintered body is subjected to an aging treatment at a predetermined temperature.
【請求項19】 上記混合粉末を焼結した後、得られた
焼結体に第1熱処理温度で溶体化処理を施し、さらに第
1熱処理温度から前記焼結体を急冷した後、第2熱処理
温度で時効処理を施すことを特徴とする請求項4〜15
のいずれかに記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
19. After sintering the mixed powder, the obtained sintered body is subjected to a solution treatment at a first heat treatment temperature, and the sintered body is rapidly cooled from the first heat treatment temperature. The aging treatment is performed at a temperature.
The method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to any one of the above.
【請求項20】 上記混合粉末を焼結した後、得られた
焼結体に第1熱処理温度で溶体化処理を施し、さらに第
1熱処理温度から前記焼結体を急冷した後、第2熱処理
温度で熱間加工を施すことを特徴とする請求項4〜15
のいずれかに記載の低熱膨張耐熱合金の製造方法。
20. After sintering the mixed powder, the obtained sintered body is subjected to a solution treatment at a first heat treatment temperature, and the sintered body is rapidly cooled from the first heat treatment temperature. The hot working is performed at a temperature.
The method for producing a low thermal expansion heat-resistant alloy according to any one of the above.
【請求項21】 重量%で、ニッケル20〜50%、コ
バルト25%以下、ニオブ5〜15%、チタン2〜10
%、アルミニウムおよびシリコンの少なくとも1種1%
以下、炭素0.2〜2.0%、残部が鉄および不可避不
純物でなる組成を有する結晶粒径が5μm以下の混合粉
末を作成し、前記混合粉末を非酸化性雰囲気中、900
℃〜1300℃の焼結温度で焼結することによって製造
される低熱膨張耐熱合金。
21. 20% by weight of nickel, 25% or less of cobalt, 5% to 15% of niobium, 2% to 10% of titanium by weight%.
%, At least one of aluminum and silicon 1%
Hereinafter, a mixed powder having a composition of 0.2 to 2.0% carbon and a balance of iron and unavoidable impurities and having a crystal grain size of 5 μm or less is prepared, and the mixed powder is mixed in a non-oxidizing atmosphere at 900 ppm.
A low-thermal-expansion heat-resistant alloy produced by sintering at a sintering temperature of 1C to 1300C.
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CN115043590A (en) * 2022-06-17 2022-09-13 贵州航天电器股份有限公司 Application of glass powder in packaging electronic components or motors
CN117020198A (en) * 2023-10-08 2023-11-10 华南理工大学 Kovar alloy metal injection molding feed

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CN115043590B (en) * 2022-06-17 2023-12-05 贵州航天电器股份有限公司 Application of glass powder in packaging electronic components or motors
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